本實(shí)用新型涉及一種真空共晶爐，特別涉及一種焊接效果好、焊接質(zhì)量穩(wěn)定的帶有甲酸保護(hù)功效的真空共晶爐，屬于焊接加工設(shè)備領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

真空共晶爐是芯片焊接加工領(lǐng)域中的一種常見加工設(shè)備，其采用真空腔體的方式，將芯片放置在腔體內(nèi)的加熱臺(tái)上，利用加熱臺(tái)的升溫和降溫過程，完成芯片焊接。其中，升溫過程多采用加熱管件進(jìn)行直接加熱，加熱臺(tái)升溫迅速，以形成所需的加熱曲線，保證焊接質(zhì)量。降溫過程則采用冷卻管件進(jìn)行快速降溫，最大限度的使加熱臺(tái)溫度迅速降低，方便焊點(diǎn)固化和后期芯片快速裝卸，提高生產(chǎn)效率。

現(xiàn)有真空共晶爐可滿足常規(guī)狀態(tài)下的芯片焊接需要，但隨著芯片尺寸縮小、焊點(diǎn)增多，以及受使用環(huán)境和使用狀態(tài)的影響，對(duì)芯片焊接質(zhì)量的要求越來越高，于是，改進(jìn)焊接工藝，提高焊接質(zhì)量和焊接穩(wěn)定性就成為必然。

甲酸，俗名蟻酸，是無色、有刺激性氣味、易揮發(fā)的液體，弱電解質(zhì)，熔點(diǎn)8.6℃，沸點(diǎn)100.8℃，酸性很強(qiáng)，有腐蝕性，能刺激皮膚起泡，存在于蜂類、某些蟻類和毛蟲的分泌物中，是有機(jī)化工原料，可用作消毒劑和防腐劑。甲酸氣自身在高溫下不僅能通過化學(xué)反應(yīng)消耗氧氣形成無氧焊接，而且能通過還原反應(yīng)使被氧化的金屬表面還原，形成清潔金屬表面的作用。

鑒于甲酸的還原作用，設(shè)計(jì)一種高效、安全的帶有甲酸注入系統(tǒng)的真空共晶爐，就成為本實(shí)用新型想要解決的問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型旨在提供一種焊接質(zhì)量好，焊接性能穩(wěn)定、可靠的帶有甲酸注入系統(tǒng)的真空共晶爐，以滿足芯片焊接和實(shí)際使用的需要。

本實(shí)用新型是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的：

一種帶有甲酸注入系統(tǒng)的真空共晶爐，包括真空共晶爐本體，還包括一套甲酸注入系統(tǒng)，甲酸注入系統(tǒng)包括進(jìn)氣通道、出氣通道以及連接在進(jìn)氣通道和出氣通道之間的儲(chǔ)液裝置；進(jìn)氣通道上按進(jìn)氣方向順序設(shè)有流量計(jì)、進(jìn)氣耐腐蝕閥、調(diào)壓閥、安全閥和進(jìn)氣單向閥，進(jìn)氣通道的出口與儲(chǔ)液裝置連通；出氣通道上按出氣方向順序設(shè)有出氣單向閥和出氣耐腐蝕閥，出氣通道的出口與真空共晶爐本體的內(nèi)腔連通，出氣通道的入口與儲(chǔ)液裝置連通，儲(chǔ)液裝置內(nèi)出氣通道的入口高于進(jìn)氣通道的出口。

所述儲(chǔ)液裝置包括石英杯、防護(hù)罩、上蓋、底座、上蓋密封墊、減震墊、高液位檢測(cè)開關(guān)和低液位檢測(cè)開關(guān)；石英杯卡持在上蓋和底座之間，上蓋和底座與石英杯的接觸面上分別設(shè)有凹坑，上蓋的凹坑內(nèi)設(shè)有上蓋密封墊，底座的凹坑內(nèi)設(shè)有減震墊，上蓋和底座之間通過螺栓緊固連接；上蓋上設(shè)有進(jìn)液口，出氣通道的入口和進(jìn)氣通道的出口分別穿過上蓋和上蓋密封墊與石英杯的內(nèi)腔連通；防護(hù)罩圍繞在石英杯的圓周方向上，防護(hù)罩分別與上蓋和底座固定連接；高液位檢測(cè)開關(guān)和低液位檢測(cè)開關(guān)分別與石英杯相對(duì)應(yīng)，并且分別設(shè)置在防護(hù)罩上。

一種帶有甲酸注入系統(tǒng)的真空共晶爐，還包括一個(gè)安裝架，安裝架固定在底座上。

所述防護(hù)罩上還設(shè)有觀察窗。

本實(shí)用新型所述的一種帶有甲酸注入系統(tǒng)的真空共晶爐的有益效果包括：

1、利用甲酸注入系統(tǒng)向真空共晶爐本體的內(nèi)腔中注入甲酸氣體，通過氣體甲酸的還原性對(duì)真空共晶爐內(nèi)的焊接元器件進(jìn)行還原處理，并在甲酸氣化耗氧過程中形成無氧焊接，有效提高了芯片焊接質(zhì)量和焊接穩(wěn)定性；

2、石英杯采用嵌套的方式卡持在上蓋和底座之間，連接緊固、組裝方便、注液靈活；

3、防護(hù)罩對(duì)石英杯的使用過程進(jìn)行了有效保護(hù)，避免了過壓狀態(tài)下石英杯可能破裂帶來的傷害；

4、減震墊、高液位檢測(cè)開關(guān)、低液位檢測(cè)開關(guān)以及觀察窗的結(jié)構(gòu)設(shè)置，有效提高了儲(chǔ)液裝置使用的安全性，防止了可能產(chǎn)生的各類危險(xiǎn)情況的發(fā)生；

5、進(jìn)氣通道上調(diào)壓閥、安全閥和進(jìn)氣單向閥的結(jié)構(gòu)設(shè)置，保證了帶壓狀態(tài)下氮?dú)獾目煽剌斎?，增?qiáng)了整個(gè)系統(tǒng)的使用安全性；

6、整體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單、合理，安裝靈活，使用方便。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型中甲酸注入系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型中儲(chǔ)液裝置的剖視結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖1、圖2對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的描述：

本實(shí)用新型所述的一種帶有甲酸注入系統(tǒng)的真空共晶爐，包括真空共晶爐本體和一套與真空共晶爐本體連通的甲酸注入系統(tǒng)。甲酸注入系統(tǒng)用于向真空共晶爐本體的內(nèi)腔注入甲酸氣體，以提高內(nèi)腔中芯片的焊接質(zhì)量。

甲酸注入系統(tǒng)包括進(jìn)氣通道1、出氣通道9以及連接在進(jìn)氣通道1和出氣通道9之間的儲(chǔ)液裝置。儲(chǔ)液裝置內(nèi)用于存放液體甲酸，進(jìn)氣通道1用于向儲(chǔ)液裝置引人帶有壓力的氮?dú)猓鰵馔ǖ?則將氣體甲酸引入到真空共晶爐本體的內(nèi)腔中。其中，為確保進(jìn)氣和出氣過程的安全性、可靠性和可控性，在進(jìn)氣通道1上按進(jìn)氣方向順序設(shè)有流量計(jì)2、進(jìn)氣耐腐蝕閥3、調(diào)壓閥4、安全閥5和進(jìn)氣單向閥6。在出氣通道9上按出氣方向順序設(shè)有出氣單向閥7和出氣耐腐蝕閥8。出氣通道9的出口與真空共晶爐本體的內(nèi)腔連通，出氣通道的入口23和進(jìn)氣通道的出口18分別與儲(chǔ)液裝置連通。為便于甲酸氣體流出儲(chǔ)液裝置，儲(chǔ)液裝置內(nèi)出氣通道的入口23高于進(jìn)氣通道的出口18。

由于甲酸具有易揮發(fā)性和腐蝕性，儲(chǔ)液裝置包括耐腐蝕的石英杯19、防護(hù)罩10、上蓋15、底座16、上蓋密封墊20、減震墊21、高液位檢測(cè)開關(guān)13、低液位檢測(cè)開關(guān)14和安裝架17。其中，上蓋15和底座16的內(nèi)表面上分別設(shè)有凹坑，石英杯19的頂部和底部分別卡持在兩個(gè)凹坑中，上蓋15和底座16之間通過角部的四個(gè)螺栓22緊固連接，避免了石英杯19在前、后、左、右、上、下方向的晃動(dòng)。為保證密封性，在上蓋15的凹坑內(nèi)還設(shè)有上蓋密封墊20，在底座16的凹坑內(nèi)設(shè)有減震墊21，對(duì)石英杯19減震的同時(shí)還可對(duì)石英杯頂部開口處進(jìn)行密封，避免了可能產(chǎn)生的氣體泄漏現(xiàn)象。上蓋15上除設(shè)有可使甲酸倒入的進(jìn)液口12外，出氣通道的入口23和進(jìn)氣通道的出口18還分別穿過上蓋15和上蓋密封墊20與石英杯19的空腔連通，氮?dú)夂蜌饣蟮募姿釟怏w可分別由相應(yīng)地進(jìn)氣通道1和出氣通道9進(jìn)、出石英杯19。為確保壓力狀態(tài)下石英杯19使用的安全性，在石英杯19的圓周方向上還圍繞有防護(hù)罩10，防護(hù)罩10分別與上蓋15和底座16固定連接。防護(hù)罩10上設(shè)有高液位檢測(cè)開關(guān)13和低液位檢測(cè)開關(guān)14，高液位檢測(cè)開關(guān)13和低液位檢測(cè)開關(guān)14分別與石英杯內(nèi)液面允許的最高位置和最低位置相對(duì)應(yīng)，以便對(duì)液體甲酸的存量進(jìn)行監(jiān)控。為方便使用過程，在防護(hù)罩10的側(cè)面還設(shè)有觀察窗11，觀察窗11與石英杯19的位置相對(duì)應(yīng)。為方便固定整個(gè)儲(chǔ)液裝置，在底座16上還設(shè)有安裝架17，安裝架17可與外界支撐體相連接，從而消除了石英杯19可能存在的傾斜問題，提高了整個(gè)甲酸注入系統(tǒng)使用的安全性。

當(dāng)需要向真空共晶爐本體的內(nèi)腔中沖入甲酸氣體時(shí)，先打開出氣耐腐蝕閥8，再打開進(jìn)氣耐腐蝕閥3，帶有壓力的氮?dú)庠诹髁坑?jì)2、進(jìn)氣耐腐蝕閥3、調(diào)壓閥4、安全閥5和進(jìn)氣單向閥6的限制和調(diào)控下由進(jìn)氣通道1送人到石英杯19中，因?yàn)榧姿針O易揮發(fā)，在大量氮?dú)鉀_入的過程中甲酸揮發(fā)更快，氣體甲酸經(jīng)出氣通道9被帶入到真空共晶爐本體的內(nèi)腔中，完成甲酸作用下真空共晶爐的保護(hù)焊接，沖入的氮?dú)饣蛘邭怏w甲酸流量可以通過流量計(jì)2進(jìn)行控制。當(dāng)不需要沖入甲酸氣體時(shí)，首先關(guān)閉進(jìn)氣耐腐蝕閥3，然后關(guān)閉出氣耐腐蝕閥8，以確保管路中氮?dú)夂图姿峄旌蠚怏w被徹底抽空，一次充氣過程完成。

當(dāng)然，使用過程中，通過高液位檢測(cè)開關(guān)13和低液位檢測(cè)開關(guān)14可對(duì)石英杯內(nèi)液體甲酸的注入量進(jìn)行監(jiān)控，防止了液體甲酸加入過多溢出，或者高過氮?dú)庾⑷肟?，造成充氮過程中石英杯19內(nèi)液體沸騰；而液體甲酸注入過少，則會(huì)產(chǎn)生虧甲酸現(xiàn)象，影響焊接質(zhì)量。觀察窗11的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可方便隨時(shí)觀察石英杯內(nèi)液體的變化情況，為及時(shí)添加甲酸和安全使用提供了方便。