本實用新型涉及濕法處理設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種用于洗刷基板的滾刷和基板傳送裝置。

背景技術(shù)：

在液晶顯示器(LCD)和有機發(fā)光二極管顯示器(OLED)的生產(chǎn)過程中，需要使用濕法處理設(shè)備參與一些工序的生產(chǎn)。例如在液晶顯示器和有機發(fā)光二極管顯示器的陣列基板制作過程中，通常采用濕法刻蝕(wet etch)進行金屬層的刻蝕，其中包括柵線(Gate)層、源極/漏極(S/D，Source/Drain)層、氧化銦錫(ITO，Indium Tin Oxides)層的刻蝕等等。

利用濕法處理設(shè)備制作基板時，基板會通過傳送滾輪(Roller)輸送至相應的濕法處理設(shè)備(如濕法刻蝕設(shè)備、剝離清洗設(shè)備等)上。傳送滾輪轉(zhuǎn)動以將承載在傳送滾輪上的基板向前傳送，依次完成各個工藝過程，主要包括濕法刻蝕過程、清洗噴淋過程、干燥過程等等。

然而，如圖1所示，隨著機臺的使用，基板11在設(shè)備中進行工藝傳送后，基板11的背面會出現(xiàn)滾輪印跡(Roller Mark)11a。為了改善滾輪印跡，在設(shè)備的傳送系統(tǒng)中會安裝滾刷(Roller Brush)，滾刷上套設(shè)安裝有刷毛，通過刷毛對基板的背面進行洗刷，以消除基板背面的滾輪印跡。

現(xiàn)有技術(shù)中，刷毛是卷成中心圓筒狀套設(shè)在滾刷軸上，采用單一刷毛，刷洗效果不太理想，且在刷洗過程中刷毛容易出現(xiàn)磨損，只能通過調(diào)節(jié)滾刷的壓入量，以對基板背面進行洗刷。但是，滾輪印跡依然清晰可見。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的在于提供一種用于洗刷基板的滾刷和基板傳送裝置，以解決現(xiàn)有滾刷在洗刷基板背面的滾輪印跡時刷洗效果不太理想，刷毛容易出現(xiàn)磨損的問題。

本實用新型提供一種用于洗刷基板的滾刷，包括滾刷軸，所述滾刷軸上纏繞有第一刷毛和第二刷毛，所述第一刷毛和所述第二刷毛以螺旋方式交替纏繞在所述滾刷軸的外表面上，所述第一刷毛和所述第二刷毛為不同材質(zhì)的刷毛。

進一步地，所述第一刷毛和所述第二刷毛沿著所述滾刷軸的軸線方向上相互交替錯開，所述第一刷毛和所述第二刷毛將所述滾刷軸的整個外表面包裹住。

進一步地，所述第一刷毛和所述第二刷毛為不同的尼龍材質(zhì)刷毛。

進一步地，所述第一刷毛和所述第二刷毛在所述滾刷軸上的纏繞方向與所述滾刷軸的軸線方向呈30°～60°的夾角。

進一步地，所述第一刷毛和所述第二刷毛在所述滾刷軸上的纏繞方向與所述滾刷軸的軸線方向呈45°夾角。

本實用新型還提供一種基板傳送裝置，包括平臺支架和設(shè)置在所述平臺支架上的傳送滾輪和滾刷，所述滾刷為上述的用于洗刷基板的滾刷。

進一步地，所述傳送滾輪在所述平臺支架上跨越不同工位設(shè)置。

進一步地，所述滾刷在所述平臺支架上設(shè)置于所述傳送滾輪的下游位置。

進一步地，所述滾刷的數(shù)量為一個，所述滾刷軸上纏繞有所述第一刷毛和所述第二刷毛的部分的軸向長度等于或大于所述基板的寬度。

進一步地，所述滾刷的轉(zhuǎn)動方向與所述傳送滾輪的轉(zhuǎn)動方向相反。

本實施例提供的用于洗刷基板的滾刷和基板傳送裝置，在對基板背面洗刷的過程中，滾刷轉(zhuǎn)動時，同一洗刷位置會經(jīng)歷第一刷毛和第二刷毛這兩種不同刷毛的交替洗刷，而第一刷毛和第二刷毛由不同材質(zhì)的刷毛組成，改變了原有單一刷毛的洗刷方式，增加了不同刷毛與基板背面的交替接觸，能更有效去除基板背面的滾輪印跡，增強了洗刷效果，由于兩種刷毛交替洗刷，相較單一刷毛還能延長刷毛的使用壽命。

附圖說明

圖1為傳送之后出現(xiàn)在基板背面的滾輪印跡的示意圖。

圖2為本實用新型實施例中用于洗刷基板的滾刷的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為圖2中沿著平行于滾刷軸方向的截面示意圖。

圖4為圖2中沿著垂直于滾刷軸方向的截面示意圖。

圖5為本實用新型實施例中基板傳送裝置的平面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖6為圖5中滾刷用于刷洗基板時的工作示意圖。

具體實施方式

為更進一步闡述本實用新型為達成預定實用新型目的所采取的技術(shù)方式及功效，以下結(jié)合附圖及實施例，對本實用新型的具體實施方式、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細說明如后。

圖2為本實用新型實施例中用于洗刷基板的滾刷的立體結(jié)構(gòu)示意圖，圖3為圖2中沿著平行于滾刷軸方向的截面示意圖，圖4為圖2中沿著垂直于滾刷軸方向的截面示意圖，請同時參圖2至圖4，本實施例提供的用于洗刷基板的滾刷(Roller Brush)20包括滾刷軸(Roller Brush Shaft)21，滾刷軸21上纏繞有第一刷毛22和第二刷毛23，第一刷毛22和第二刷毛23以螺旋方式交替纏繞在滾刷軸21的外表面上，使第一刷毛22和第二刷毛23沿著滾刷軸21的軸線方向上相互交替錯開，由第一刷毛22和第二刷毛23將滾刷軸21的整個外表面包裹住，第一刷毛22和第二刷毛23為不同材質(zhì)的刷毛。

在一個實例中，第一刷毛22和第二刷毛23為不同的尼龍材質(zhì)刷毛。

在一個實例中，第一刷毛22和第二刷毛23在滾刷軸21上的纏繞方向與滾刷軸21的軸線方向呈30°～60°的夾角，優(yōu)選為45°夾角。

如圖4所示，在對基板背面洗刷的過程中，滾刷20轉(zhuǎn)動時，同一洗刷位置會經(jīng)歷第一刷毛22和第二刷毛23這兩種不同刷毛的交替洗刷，而第一刷毛22和第二刷毛23由不同材質(zhì)的刷毛組成，改變了原有單一刷毛的洗刷方式，增加了不同刷毛與基板背面的交替接觸，能更有效去除基板背面的滾輪印跡(Roller Mark)，增強了洗刷效果，由于兩種刷毛交替洗刷，相較單一刷毛還能延長刷毛的使用壽命。

另外，滾刷20在使用一段時間后，可能會出現(xiàn)某一局部洗刷位置的刷毛磨損較其他洗刷位置嚴重的情況，此時可將第一刷毛22和第二刷毛23取下，對換纏繞位置(即由原來從滾刷軸的A端朝向B端纏繞，改為從滾刷軸的B端朝向A端纏繞)繼續(xù)使用，直至最后更換新的刷毛為止，從而延長刷毛使用壽命，降低使用成本。

本實用新型還提供一種基板傳送裝置，圖5為本實用新型實施例中基板傳送裝置的平面結(jié)構(gòu)示意圖，圖6為圖5中滾刷用于刷洗基板時的工作示意圖，請參圖4-5，本實施例提供的基板傳送裝置包括平臺支架50和設(shè)置在平臺支架50上的傳送滾輪(Roller)30和滾刷(Roller Brush)20。

傳送滾輪30用于承載基板40(例如玻璃基板)并將基板40帶動傳送。根據(jù)濕法處理中不同工序的需要，傳送滾輪30可以在平臺支架50上跨越不同工位設(shè)置，使得基板40可以通過傳送滾輪30分別傳送至不同的工位。

平臺支架50上于傳送滾輪30的下游設(shè)置滾刷20，用于對基板40的背面進行洗刷，以去除基板40背面的滾輪印跡(Roller Mark)。本實施例中，滾刷20的數(shù)量為一個，滾刷軸21上纏繞有第一刷毛22和第二刷毛23的部分的軸向長度等于或大于基板40的寬度(參圖5)，因此通過一個滾刷20即可實現(xiàn)對基板40整個背面的洗刷。

傳送滾輪30和滾刷20在驅(qū)動裝置(如電機)帶動下轉(zhuǎn)動，由傳送滾輪30將基板40傳送，基板40在傳送至下游時由滾刷20實現(xiàn)對基板40背面洗刷，洗刷過后的基板40可以進入下一道制程(例如水洗制程、干燥制程等)。

本實施例中，滾刷20的轉(zhuǎn)動方向可以設(shè)置為與傳送滾輪30的轉(zhuǎn)動方向相反，例如傳送滾輪30為順時針轉(zhuǎn)動將基板40向前傳送時，則滾刷20逆時針轉(zhuǎn)動(參圖6)，以在基板40向前傳送時，增加第一刷毛22和第二刷毛23與基板40之間的摩擦力，從而對基板40背面進行更有效的洗刷。

本實施例提供的基板40傳送裝置，可應用于基板40制作的濕法處理設(shè)備中，包括濕法刻蝕設(shè)備、清洗剝離設(shè)備等等。

本實用新型實施例提供的用于洗刷基板的滾刷和基板傳送裝置，在對基板背面洗刷的過程中，滾刷轉(zhuǎn)動時，同一洗刷位置會經(jīng)歷第一刷毛和第二刷毛這兩種不同刷毛的交替洗刷，而第一刷毛和第二刷毛由不同材質(zhì)的刷毛組成，改變了原有單一刷毛的洗刷方式，增加了不同刷毛與基板背面的交替接觸，能更有效去除基板背面的滾輪印跡，增強了洗刷效果，由于兩種刷毛交替洗刷，相較單一刷毛還能延長刷毛的使用壽命。

以上所述，僅是本實用新型的較佳實施例而已，并非對本實用新型作任何形式上的限制，雖然本實用新型已以較佳實施例揭露如上，然而并非用以限定本實用新型，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本實用新型技術(shù)方案范圍內(nèi)，當可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動或修飾為等同變化的等效實施例，但凡是未脫離本實用新型技術(shù)方案內(nèi)容，依據(jù)本實用新型的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。