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一種打線結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號(hào):12537766閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種打線結(jié)構(gòu),所述結(jié)構(gòu)包括:

框架,所述框架上設(shè)有至少一個(gè)焊點(diǎn);

晶圓,所述晶圓設(shè)置在所述框架上,所述晶圓上設(shè)有金屬薄膜;以及

至少一個(gè)連接線,所述連接線設(shè)置于所述框架與所述晶圓之間,并構(gòu)成了所述焊點(diǎn)與所述金屬薄膜的電性連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的打線結(jié)構(gòu),其特征在于,所述晶圓的上表面向上順序設(shè)有鈦?zhàn)丫雍退鼋饘俦∧ぁ?/p>

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的打線結(jié)構(gòu),其特征在于,所述晶圓上設(shè)有晶圓金屬焊盤,所述晶圓金屬焊盤上方設(shè)有鈍化層,所述鈍化層覆蓋所述晶圓的上表面并露出所述晶圓金屬焊盤,所述鈦?zhàn)丫釉O(shè)置在所述鈍化層上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的打線結(jié)構(gòu),其特征在于,所述鈍化層與所述鈦?zhàn)丫又g設(shè)有緩沖層,所述緩沖層覆蓋所述鈍化層的上表面并露出所述晶圓金屬焊盤。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的打線結(jié)構(gòu),其特征在于,所述緩沖層為聚酰亞胺膠層。

6.根據(jù)權(quán)利要求3-5任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的打線結(jié)構(gòu),其特征在于,所述鈍化層為氮化硅層。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的打線結(jié)構(gòu),其特征在于,所述連接線為鍵合線。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的打線結(jié)構(gòu),其特征在于,所述金屬薄膜為鋁金屬薄膜。

9.根據(jù)權(quán)利要求8權(quán)利要求所述的打線結(jié)構(gòu),其特征在于,所述鋁金屬薄膜的厚度是1μm以上。

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