技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開一種酸槽清洗裝置，所述酸槽清洗裝置包括酸槽、用于對(duì)所述酸槽中的晶舟進(jìn)行升降的升降裝置，所述升降裝置設(shè)置于所述酸槽外側(cè)，并且與所述晶舟連接。在酸槽清洗裝置發(fā)生故障時(shí)，利用升降裝置控制晶舟的升降，實(shí)現(xiàn)晶舟迅速離開酸槽或進(jìn)入酸槽，避免酸槽中酸液與晶舟中晶圓接觸時(shí)間過久對(duì)晶圓造成的損傷。

技術(shù)研發(fā)人員：干懷渝
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中芯國際集成電路制造（天津）有限公司;中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
文檔號(hào)碼：201620648965
技術(shù)研發(fā)日：2016.06.22
技術(shù)公布日：2016.12.14