本實(shí)用新型涉及太陽能電池生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種板式PECVD設(shè)備。

背景技術(shù)：

目前，在太陽能電池片生產(chǎn)過程中，需要在電池片的表面鍍一層氮化硅(SiN)薄膜，這層薄膜可以減少太陽光的反射率，提高光電轉(zhuǎn)換效率，還具有良好的抗氧化和絕緣性能，良好的掩蔽金屬和水離子擴(kuò)散的能力，化學(xué)穩(wěn)定性良好，除氫氟酸和熱磷酸能緩慢腐蝕外，其他酸基本不可腐蝕。因而帶有特氣管路的板式PECVD(等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法)設(shè)備應(yīng)運(yùn)而生，在工藝過程中，特氣(包括氨氣和硅烷)通過特氣管路的特氣管孔輸送到工藝腔參與反應(yīng)。

現(xiàn)有技術(shù)中的板式PECVD設(shè)備，其包括一石墨框，石墨框包括石墨邊框1，石墨邊框1的內(nèi)部設(shè)置有多個(gè)方格形狀的方格孔2，每個(gè)方格孔2內(nèi)放置一片硅片，而在石墨框的上方還設(shè)置有特氣管路3，每一行的方格孔2對(duì)應(yīng)一根整體式的特氣管路3用于供氣，在加工時(shí)，由于每根特氣管路3是一個(gè)整體，沒有辦法調(diào)整列間膜厚/折射率的差異，導(dǎo)致板式PECVD設(shè)備的石墨框內(nèi)各列間電池片的膜厚/折射率均勻性較差。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提出一種板式PECVD設(shè)備，能夠便于調(diào)整列間膜厚/折射率的差異，提高石墨框內(nèi)各列間電池片的膜厚/折射率均勻性。

為達(dá)此目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：

一種板式PECVD設(shè)備，包括石墨框、以及設(shè)置于所述石墨框的上方的特氣管路，所述石墨框包括內(nèi)部中空的石墨邊框，所述石墨邊框的內(nèi)部設(shè)有若干個(gè)承載硅片的方格孔，對(duì)應(yīng)于同一行的多個(gè)所述方格孔的所述特氣管路包括位于同一行且間隔設(shè)置的多個(gè)子特氣管路，多個(gè)所述子特氣管路分別獨(dú)立供氣。

其中，同一行所述方格孔中，一個(gè)所述方格孔對(duì)應(yīng)設(shè)置有一個(gè)所述子特氣管路。

其中，同一行所述方格孔中，位于中間段的若干個(gè)所述方格孔對(duì)應(yīng)設(shè)置有一個(gè)所述子特氣管路，位于首段和尾段的若干個(gè)所述方格孔分別對(duì)應(yīng)設(shè)置有另一個(gè)所述子特氣管路。

優(yōu)選的，同一行所述方格孔的數(shù)量為5個(gè)。

進(jìn)一步優(yōu)選的，位于中間段的所述方格孔的數(shù)量為1個(gè)，對(duì)應(yīng)的，位于首段和尾段的所述方格孔的數(shù)量分別為2個(gè)。

進(jìn)一步優(yōu)選的，位于中間段的所述方格孔的數(shù)量為3個(gè)，對(duì)應(yīng)的，位于首段和尾段的所述方格孔的數(shù)量分別為1個(gè)。

其中，每一個(gè)所述子特氣管路至少設(shè)置有三個(gè)特氣孔，每一個(gè)所述方格孔至少對(duì)應(yīng)三個(gè)所述特氣孔。

本實(shí)用新型的有益效果為：

本實(shí)用新型的板式PECVD設(shè)備，包括石墨框、以及設(shè)置于所述石墨框的上方的特氣管路，所述石墨框包括內(nèi)部中空的石墨邊框，所述石墨邊框的內(nèi)部設(shè)有若干個(gè)承載硅片的方格孔，對(duì)應(yīng)于同一行的多個(gè)所述方格孔的所述特氣管路包括位于同一行且間隔設(shè)置的多個(gè)子特氣管路，多個(gè)所述子特氣管路分別獨(dú)立供氣；其通過設(shè)置多個(gè)子特氣管路分別對(duì)應(yīng)同行的多個(gè)方格孔中的硅片，且每個(gè)特氣管路又獨(dú)立供氣，也即將現(xiàn)有技術(shù)中的一整段式的特氣管路替換為分段式設(shè)計(jì)，因而當(dāng)一行中的某一列的膜厚/折射率發(fā)生異常時(shí)，就可以通過調(diào)整對(duì)應(yīng)的子特氣管路的氣體流量，來調(diào)整對(duì)應(yīng)的膜厚/折射率，從而達(dá)到改善均勻性的目的。

附圖說明

圖1是現(xiàn)有技術(shù)中的板式PECVD設(shè)備的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是圖1中的特氣管路的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是本實(shí)用新型的板式PECVD設(shè)備的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4是圖3中的特氣管路的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5是本實(shí)用新型的板式PECVD設(shè)備的特氣管路的另一種實(shí)施方式的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖6是本實(shí)用新型的板式PECVD設(shè)備的特氣管路的再一種實(shí)施方式的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1-石墨邊框；2-方格孔；3-特氣管路。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖并通過具體實(shí)施方式來進(jìn)一步說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案。

實(shí)施例一

如圖3所示，一種板式PECVD設(shè)備，包括石墨框、以及設(shè)置于所述石墨框的上方的特氣管路3，所述石墨框包括內(nèi)部中空的石墨邊框1，所述石墨邊框1的內(nèi)部設(shè)有若干個(gè)承載硅片的方格孔2，對(duì)應(yīng)于同一行的多個(gè)所述方格孔2的所述特氣管路3包括位于同一行且間隔設(shè)置的多個(gè)子特氣管路，多個(gè)所述子特氣管路分別獨(dú)立供氣。

該板式PECVD設(shè)備通過設(shè)置多個(gè)子特氣管路分別對(duì)應(yīng)同行的多個(gè)方格孔中的硅片，且每個(gè)特氣管路又獨(dú)立供氣，也即將現(xiàn)有技術(shù)中的一整段式的特氣管路替換為分段式設(shè)計(jì)，因而當(dāng)一行中的某一列的膜厚/折射率發(fā)生異常時(shí)，就可以通過調(diào)整對(duì)應(yīng)的子特氣管路的氣體流量，來調(diào)整對(duì)應(yīng)的膜厚/折射率，從而達(dá)到改善均勻性的目的。

優(yōu)選的，如圖4所示，同一行所述方格孔2中，一個(gè)所述方格孔2對(duì)應(yīng)設(shè)置有一個(gè)所述子特氣管路。進(jìn)一步優(yōu)選的，石墨邊框1中的方格孔2一般為5列，也即每行5個(gè)，這時(shí)，在本實(shí)施例中，子特氣管路的數(shù)量對(duì)應(yīng)方格孔2的數(shù)量，其也為5個(gè)，也可以說，子特氣管路的數(shù)量與同一行中方格孔的數(shù)量(或者方格孔的列數(shù))相同，從而可以達(dá)到子特氣管路與方格孔一一對(duì)應(yīng)，每個(gè)子特氣管路用于為同一列的方格孔中的硅片供氣，當(dāng)其中一列的膜厚/折射率需要調(diào)整時(shí)，可以單獨(dú)調(diào)整該列方格孔對(duì)應(yīng)的子特氣管路，從而不影響其他列的方格孔對(duì)應(yīng)的子特氣管路的工作。

優(yōu)選的，每一個(gè)所述子特氣管路至少設(shè)置有三個(gè)特氣孔，每一個(gè)所述方格孔2至少對(duì)應(yīng)三個(gè)所述特氣孔。且每個(gè)方格孔對(duì)應(yīng)的子特氣管路的特氣孔的數(shù)量一致，這樣可以進(jìn)一步保證列間膜厚/折射率的一致性。

實(shí)施例二

在本實(shí)施例中，與實(shí)施例一的不同之處在于，同一行所述方格孔2中，位于中間段的若干個(gè)所述方格孔2對(duì)應(yīng)設(shè)置有一個(gè)所述子特氣管路，位于首段和尾段的若干個(gè)所述方格孔2分別對(duì)應(yīng)設(shè)置有另一個(gè)所述子特氣管路。優(yōu)選的，同一行所述方格孔2的數(shù)量為5個(gè)。

如圖5所示，作為本實(shí)施方式的一種優(yōu)選，位于中間段的所述方格孔2的數(shù)量為1個(gè)，對(duì)應(yīng)的，位于首段和尾段的所述方格孔2的數(shù)量分別為2個(gè)。也就是說，位于中間段的一個(gè)方格孔對(duì)應(yīng)有一個(gè)子特氣管路，而位于首段的兩個(gè)方格孔對(duì)應(yīng)另一個(gè)子特氣管路，位于尾段的兩個(gè)方格孔對(duì)應(yīng)再一個(gè)子特氣管路。

如圖6所示，作為本實(shí)施方式的另一種優(yōu)選，位于中間段的所述方格孔2的數(shù)量為3個(gè)，對(duì)應(yīng)的，位于首段和尾段的所述方格孔2的數(shù)量分別為1個(gè)。也就是說，位于中間段的三個(gè)方格孔對(duì)應(yīng)有一個(gè)子特氣管路，而位于首段的一個(gè)方格孔對(duì)應(yīng)另一個(gè)子特氣管路，位于尾段的一個(gè)方格孔對(duì)應(yīng)再一個(gè)子特氣管路。

綜上所述，本實(shí)用新型的板式PECVD設(shè)備，由于特氣管路的設(shè)置方式不同，其進(jìn)氣的控制方式也不同，從而將整體式變?yōu)榉侄问?，使?列間的膜厚/折射率差異可以隨時(shí)分別進(jìn)行調(diào)整，來達(dá)到改善列與列之間膜厚/折射率均勻性的目的。

以上結(jié)合具體實(shí)施例描述了本實(shí)用新型的技術(shù)原理。這些描述只是為了解釋本實(shí)用新型的原理，而不能以任何方式解釋為對(duì)本實(shí)用新型保護(hù)范圍的限制?；诖颂幍慕忉專绢I(lǐng)域的技術(shù)人員不需要付出創(chuàng)造性的勞動(dòng)即可聯(lián)想到本實(shí)用新型的其它具體實(shí)施方式，這些方式都將落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。