本實用新型涉及硅片倒角設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種硅片倒角機(jī)用硅片真空夾持裝置。

背景技術(shù)：

當(dāng)前，企業(yè)在對硅片進(jìn)行倒角時采用的夾持裝置為電磁式，這種夾持裝置結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜，而且維修困難，價格較昂貴，存在不足。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的是提供一種硅片倒角機(jī)用硅片真空夾持裝置，為克服上述的不足，采用真空夾持的方式，這種方式不僅結(jié)構(gòu)簡單，易于維修，而且性價比高。

本實用新型的技術(shù)方案：

一種硅片倒角機(jī)用硅片真空夾持裝置，包括電機(jī)、蝸桿、蝸輪、轉(zhuǎn)軸、轉(zhuǎn)體、轉(zhuǎn)盤；其中：電機(jī)與蝸桿同軸連接，蝸桿與蝸輪嚙合連接，蝸輪通過轉(zhuǎn)軸與轉(zhuǎn)體固定連接，轉(zhuǎn)體與轉(zhuǎn)盤固定連接，轉(zhuǎn)盤邊緣設(shè)有外支撐環(huán)，轉(zhuǎn)盤中部與內(nèi)支撐環(huán)固定連接，內(nèi)支撐環(huán)與密封環(huán)固定連接，轉(zhuǎn)盤內(nèi)部設(shè)有出氣口，出氣口與接頭之間設(shè)有密封墊圈，接頭通過排氣管與真空泵連通。

一種硅片倒角機(jī)用硅片真空夾持裝置，其中：密封環(huán)采用硅膠材質(zhì)。

一種硅片倒角機(jī)用硅片真空夾持裝置，其中：內(nèi)支撐環(huán)內(nèi)部設(shè)有通孔。

一種硅片倒角機(jī)用硅片真空夾持裝置，其中：轉(zhuǎn)體內(nèi)部設(shè)有排氣口。

本實用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：本裝置采用真空夾持的方式，這種方式不僅結(jié)構(gòu)簡單，易于維修，而且性價比高。

附圖說明

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意簡圖。

附圖標(biāo)記：電機(jī)1、蝸桿2、蝸輪3、轉(zhuǎn)軸4、轉(zhuǎn)體5、轉(zhuǎn)盤6、外支撐環(huán)7、內(nèi)支撐環(huán)8、密封環(huán)9、通孔10、出氣口11、密封墊圈12、接頭13、真空泵14、排氣管15、排氣口16。

具體實施方式

實施例1、一種硅片倒角機(jī)用硅片真空夾持裝置，包括電機(jī)1、蝸桿2、蝸輪3、轉(zhuǎn)軸4、轉(zhuǎn)體5、轉(zhuǎn)盤6；其中：電機(jī)1與蝸桿2同軸連接，蝸桿2與蝸輪3嚙合連接，蝸輪3通過轉(zhuǎn)軸4與轉(zhuǎn)體5固定連接，轉(zhuǎn)體5與轉(zhuǎn)盤6固定連接，轉(zhuǎn)盤6邊緣設(shè)有外支撐環(huán)7，轉(zhuǎn)盤6中部與內(nèi)支撐環(huán)8固定連接，內(nèi)支撐環(huán)8與密封環(huán)9固定連接，轉(zhuǎn)盤6內(nèi)部設(shè)有出氣口11，出氣口11與接頭13之間設(shè)有密封墊圈12，接頭13通過排氣管15與真空泵14連通。

實施例2、一種硅片倒角機(jī)用硅片真空夾持裝置，其中：密封環(huán)9采用硅膠材質(zhì)，有利于提高密封性，增加夾持的穩(wěn)定性。其余同實施例1。

實施例3、一種硅片倒角機(jī)用硅片真空夾持裝置，其中：內(nèi)支撐環(huán)8內(nèi)部設(shè)有通孔10，可使內(nèi)部各處氣壓相等，防止壓力不均導(dǎo)致硅片破裂。其余同實施例1。

實施例4、一種硅片倒角機(jī)用硅片真空夾持裝置，其中：轉(zhuǎn)體5內(nèi)部設(shè)有排氣口16，便于排氣。其余同實施例1。

工作原理：

將硅片放置于密封環(huán)9之上，啟動真空泵14，真空泵14抽取由硅片、轉(zhuǎn)盤6、外支撐環(huán)7、內(nèi)支撐環(huán)8四者之間構(gòu)成的空間內(nèi)的空氣并形成真空，進(jìn)而使硅片貼附于密封環(huán)9之上，達(dá)到真空夾持的目的，被抽取的空氣依次經(jīng)過出氣口11、密封墊圈12、接頭13、排氣管15并被排出，最終從排氣口16排到外界，同時，電機(jī)1帶動蝸桿2旋轉(zhuǎn)，蝸桿2帶動蝸輪3旋轉(zhuǎn)，蝸輪3通過轉(zhuǎn)軸4帶動轉(zhuǎn)體5旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)體5帶動轉(zhuǎn)盤6旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)盤6帶動外支撐環(huán)7旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而帶動密封環(huán)9與硅片轉(zhuǎn)動，實現(xiàn)進(jìn)給，從而進(jìn)行倒角加工，動作結(jié)束。