本實用新型涉及晶圓承盤，特別是涉及一種自定位晶圓承盤。

背景技術(shù)：

隨著今日晶圓制程技術(shù)的日新月異，晶圓的儲存與制程中繼，也必須更加的便利和有效率，并且朝向更精密的方向前進。鑒于過去晶圓的儲存方式和承盤結(jié)構(gòu)，是由單純的方框或簡單的圓槽所構(gòu)成，對于晶圓儲存時的方向，沒有規(guī)律性和定位性。是故，在存放和取用晶圓時，常為了方向性的關(guān)系，耗費時間和工作程序，造成人力和成本的提升，增加了成本，減少了很多效率。

習(xí)知的晶圓承盤，如中國臺灣專利第M502244號新型專利案，包含：一承盤本體，該承盤本體的一面具有復(fù)數(shù)承載平面，各該承載平面供以容置復(fù)數(shù)晶圓；各該承載平面的周圍有二擋止部，該擋止部的高度高于該承載平面的高度；該二擋止部間具有一限位肋，該限位肋的高度高于該承載平面的高度；以及該承載平面的周圍具有至少二限位部，各該限位部面對承載平面一側(cè)的形狀與該承載平面周緣的形狀相呼應(yīng)。上述晶圓承盤的構(gòu)造，由于該限位部面對該承載平面一側(cè)的形狀，與該承載的晶圓平面周緣相呼應(yīng)，使置放于其上的晶圓是以面接觸的狀態(tài)與該承載平面接觸，如此容易導(dǎo)致該晶圓與該承載平面接觸的一面磨損，而造成良率的降低。另外，當(dāng)該晶圓承盤受到震動影響時，容易使該晶圓的一端翹起而遭致?lián)p壞，換言之，習(xí)知晶圓承盤的穩(wěn)定性也堪慮。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的主要目的在于提供一種自定位晶圓承盤，以改善一般晶圓的承托的穩(wěn)定性及仍待改善的缺陷。

為達前述的目的，本實用新型提供一種自定位晶圓承盤，包含：一基底部；至少一第一容置結(jié)構(gòu)，設(shè)置于該基底部的一側(cè)；其中該至少一第一容置結(jié)構(gòu)具有一由該基底部突出以圈圍出一第一晶圓槽的圓環(huán)以及復(fù)數(shù)個設(shè)置于該圓環(huán)上的第一限位件；該圓環(huán)的內(nèi)部側(cè)有朝向該圓環(huán)中心傾斜的一弧斜面以及一平斜面；各該第一限位件的頂端具有一位于該圓環(huán)頂側(cè)的限位部，而兩相鄰的限位部與該圓環(huán)頂側(cè)之間則分別形成一第一限位凹槽；以及至少一第二容置結(jié)構(gòu)，設(shè)置于該基底部的另一側(cè)；其中該至少一對應(yīng)的第二容置結(jié)構(gòu)具有一由該基底部 突出以圈圍出一第二晶圓槽的圓環(huán)以及復(fù)數(shù)個設(shè)置于該圓環(huán)上的第二限位件；該圓環(huán)的內(nèi)部側(cè)有朝向該圓環(huán)中心傾斜的一弧斜面以及一平斜面；各該第二限位件的頂端具有一位于該圓環(huán)頂側(cè)的限位部，而兩相鄰的限位部與該圓環(huán)頂側(cè)之間則分別形成一第二限位凹槽；其中，該等第一限位件與該等第二限位件成交錯設(shè)置，使該等第一限位件的限位部分別對應(yīng)于該等第二限位凹槽，而該等第二限位件的限位部分別對應(yīng)于該等第一限位凹槽。

在一實施例中，該基底部設(shè)有至少一穿孔，其兩端分別貫通至對應(yīng)的該第一晶圓槽與該第二晶圓槽。

在一實施例中，各該第一限位件的限位部的內(nèi)側(cè)具有一導(dǎo)斜面與該弧斜面以及該平斜面連接。

在一實施例中，該等第一限位件的其中一者位于該平斜面的上方，其上的導(dǎo)斜面為一平斜面。

在一實施例中，各該第二限位件的限位部的內(nèi)側(cè)具有一導(dǎo)斜面與該弧斜面以及該平斜面連接。

在一實施例中，該等第二限位件的二者具有一部份位于該平斜面的上方，其上的導(dǎo)斜面具有一部分為一平斜面，與該平斜面連接。

在一實施例中，各該第一容置結(jié)構(gòu)的圓環(huán)與第二容置結(jié)構(gòu)的圓環(huán)具有相同的直徑。

由于各該平斜面的防止旋轉(zhuǎn)與定位，與各該弧斜面的容置與限位，造成了該晶圓置放時的方向性與限位性，又由于重力與各該平斜面及各該弧斜面斜度的關(guān)系，造成因自重而下滑，致使限止的概念，使本實用新型實現(xiàn)了不需精密定位機器及高技術(shù)性人工，就能精密定位晶圓的放置，幫助減少高端設(shè)備成本、人力耗損，與勞動力耗損，這個使晶圓制程中繼及存放的過程更具人性化的結(jié)果，我們可以預(yù)期綠能產(chǎn)業(yè)的實現(xiàn)，將會向前邁進一大步。

附圖說明

圖1為本實用新型一較佳實施例的晶圓承盤的立體圖。

圖2為本實用新型一較佳實施例的晶圓承盤的另一立體圖。

圖3為本實用新型一較佳實施例，以示意斜面與晶圓的放置狀態(tài)的示意圖。

圖4為本實用新型一較佳實施例的俯視圖。

圖5為本實用新型的4-4剖視圖，用以表現(xiàn)線接觸的示意圖。

圖6為本實用新型的4-4剖視的局部放大圖，以表示晶圓滑動承靠的示意圖。

圖7為本實用新型一較佳實施例，表示限位部與限位凹槽對應(yīng)結(jié)合的示意圖。

圖8為本實用新型的7-7剖面圖，用以表示晶圓與晶圓槽的容置狀態(tài)的示意圖。

附圖中符號標(biāo)記說明：

10為基底部；20為第一容置結(jié)構(gòu)；21為圓環(huán)；211為第一晶圓槽；212為弧斜面；213為平斜面；22為第一限位件；221為限位部；222為導(dǎo)斜面；23為第一限位凹槽；30為第二容置結(jié)構(gòu)；31為圓環(huán)；311為第二晶圓槽；312為弧斜面；313為平斜面；32為第二限位件；321為限位部；322為導(dǎo)斜面；33為第二限位凹槽；40為穿孔；50為晶圓；51為平面邊緣；52為弧面邊緣。

具體實施方式

下面將結(jié)合附圖對本實用新型的技術(shù)方案進行清楚、完整的描述，顯然，所描述的實施例是本實用新型的一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├绢I(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

本實用新型提供一種晶圓承托結(jié)構(gòu)，請配合參閱圖1至圖2所示，包含一基底部10，在該基底部10的一側(cè)面上設(shè)有復(fù)數(shù)個第一容置結(jié)構(gòu)20(圖標(biāo)僅顯示一個第一容置結(jié)構(gòu))，另一側(cè)面上則設(shè)有復(fù)數(shù)個與該等第一容置結(jié)構(gòu)20等數(shù)量且呈對應(yīng)的第二容置結(jié)構(gòu)30(圖標(biāo)僅顯示一個第二容置結(jié)構(gòu))。該基底部10設(shè)有復(fù)數(shù)個穿孔40(圖標(biāo)僅顯示一個穿孔)，分別貫通兩側(cè)對應(yīng)的第一容置結(jié)構(gòu)20與第二容置結(jié)構(gòu)30。

請配合參閱圖1所示，各該第一容置結(jié)構(gòu)20具有一由該基底部10突出以圈圍出一第一晶圓槽211的圓環(huán)21以及四個設(shè)置于該圓環(huán)外側(cè)面的第一限位件22。該圓環(huán)21的內(nèi)側(cè)有朝向該圓環(huán)21中心傾斜的一弧斜面212以及一平斜面213。各該第一限位件22的頂端具有一位于該圓環(huán)頂側(cè)的限位部221，而各該限位部221的內(nèi)側(cè)具有一導(dǎo)斜面222與該弧斜面212或該平斜面213連接。該四限位部221的其中一者位于該平斜面213的上方，其上的導(dǎo)斜面222為平斜面，且與該平斜面213連接，其余三者的導(dǎo)斜面222為弧斜面，且與該弧斜面212連接。該兩相鄰的限位部221與該圓環(huán)21頂側(cè)之間則形成一第一限位凹槽23。

請配合參閱圖2所示，各該第二容置結(jié)構(gòu)30具有一由該基底部10突出以圈圍出一第二晶圓槽311的圓環(huán)31以及四個設(shè)置于該圓環(huán)外側(cè)面的第二限位件32。該圓環(huán)31的內(nèi)側(cè)有朝向該圓環(huán)31中心傾斜的一弧斜面312以及一平斜面313。各該第二限位件32的頂端具有一位于該圓環(huán)頂側(cè)的限位部321，而各該限位部321的內(nèi)側(cè)具有一導(dǎo)斜面322與該弧斜面312或該平斜面313連接。該四限位部321的其中二者各具有一部份位于該平斜面313的上方， 其上的導(dǎo)斜面322的一部分為平斜面，與該平斜面313連接，其余的部分為弧斜面，與該弧斜面312連接，其余二者的導(dǎo)斜面322為弧斜面，且與該弧斜面312連接。兩相鄰的限位部321與該圓環(huán)31頂側(cè)之間則形成一第二限位凹槽33。該等第一限位件22與該等第二限位件32成交錯設(shè)置，亦即該等第一限位件22的限位部221分別對應(yīng)于該等第二限位凹槽33，而該等第二限位件32的限位部321分別對應(yīng)于該等第一限位凹槽23。此外，該基底部10的穿孔40分別貫通至對應(yīng)的該第一晶圓槽211與該第二晶圓槽311，且各該第一容置結(jié)構(gòu)20的圓環(huán)21與第二容置結(jié)構(gòu)30的圓環(huán)31具有相同的直徑。

請配合參閱圖3至圖5所示，當(dāng)將一具有一平面邊緣51與一弧面邊緣52的晶圓50置放于該第一容置結(jié)構(gòu)20的第一晶圓槽211中時，該晶圓50的平面邊緣51對應(yīng)該平斜面213，該弧面邊緣52對應(yīng)該弧斜面212的部分，使該晶圓50定位于該第一容置結(jié)構(gòu)20的第一晶圓槽211中而不會旋轉(zhuǎn)。并且因該弧斜面212以及該平斜面213呈傾斜的狀態(tài)，使該晶圓50自動滑動至適當(dāng)?shù)奈恢枚ㄎ?，且該晶圓50與該弧斜面212以及該平斜面213構(gòu)成的線接觸狀態(tài)，可減少摩擦與不當(dāng)接觸的損害。

請參閱圖6所示，當(dāng)該晶圓50受外力作用、震動或是其他因素而造成一端翹起時(如圖中虛線所示)，該晶圓會受到該限位部221的拘束而不致掉出，并且翹起的一端會沿著該限位部221的導(dǎo)斜面222滑回該弧斜面212或該平斜面213而達到自定位的功效。

請配合參閱圖7所示，本實用新型的自定位晶圓承盤可相互堆疊在一起，堆疊情況說明如下：下面的自定位晶圓承盤的四第一限位件22的限位部221，會與上面的自定位晶圓承盤的四第二限位凹槽33對應(yīng)結(jié)合；下面的自定位晶圓承盤的四第一限位凹槽23會與上面的自定位晶圓承盤的四第二限位件32的限位部321對應(yīng)結(jié)合，其中下面的自定位晶圓承盤的一第一限位件22的限位部221，具有一導(dǎo)斜面222的平斜面的那一個，會與上面的自定位晶圓承盤的二限位部321，為導(dǎo)斜面322包含平斜面與弧斜面的那兩個，該二限位部321中間的一第二限位凹槽33作結(jié)合，作對正方向之用。再堆疊時，亦同。

請配合參閱圖8所示，自定位晶圓承盤堆疊完的該第一晶圓槽211與該第二晶圓槽311，合并形成一空間，藉由該空間的各該平斜面與各該弧斜面，可使該晶圓50依靠，精確復(fù)位更容易，且震動時，也不會彈跳出去。另外，由于該第一容置結(jié)構(gòu)20與該第二容置結(jié)構(gòu)30具有相同的尺寸，當(dāng)翻轉(zhuǎn)堆疊在一起的自定位晶圓承盤后，也僅會讓該晶圓50由該第一容置結(jié)構(gòu)20的第一晶圓槽211掉到另一個自定位晶圓承盤的第二容置結(jié)構(gòu)30的第二晶圓槽311中，同樣具有相同的作用。

綜上所論，由于各該平斜面與各該弧斜面配合的防止了旋轉(zhuǎn)，與造成限縮定位，致使了 晶圓置放時的方向性與限位性。又由于重力與平斜面及弧斜面斜度的關(guān)系，造成因自重而下滑，致使限止的概念，使本實用新型實現(xiàn)了不需精密定位機器及高技術(shù)性人工，就能精密定位晶圓的放置，幫助減少高端設(shè)備成本、人力耗損，與勞動力耗損，包括眼力和手部精細定位的動作，這個使晶圓制程中繼及存放的過程更具人性化的結(jié)果，我們可以預(yù)期綠能產(chǎn)業(yè)的實現(xiàn)，將會向前邁進一大步。

綜上所述，上述各實施例及附圖僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限定本實用新型的保護范圍，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進等，皆應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍內(nèi)。