本實(shí)用新型屬于太陽能電池片制造領(lǐng)域，具體地說，涉及一種多晶濕法刻蝕設(shè)備。

背景技術(shù)：

多晶濕法刻蝕設(shè)備是一種鏈?zhǔn)蕉嗑Ч杵逑丛O(shè)備。該清洗設(shè)備具有二合一功能，能夠?qū)崿F(xiàn)濕法刻邊和去除磷硅玻璃(切斷電池片表面PN結(jié)，使電池片正面和背面絕緣，以及腐蝕表面擴(kuò)散層)。隨著這種設(shè)備的出現(xiàn)，等離子刻蝕設(shè)備被逐漸淘汰，太陽能電池片生產(chǎn)工藝被逐漸優(yōu)化。

現(xiàn)有的多晶濕法刻蝕設(shè)備大多采用“水上漂”的濕法刻蝕技術(shù)對硅片的背面和硅片的四個(gè)側(cè)邊進(jìn)行刻蝕。但是這種技術(shù)缺乏對硅片擴(kuò)散面(上表面)的保護(hù)，硅片在刻蝕槽(保持8℃的工藝槽)內(nèi)行進(jìn)過程中容易受到刻蝕槽內(nèi)水霧結(jié)露的影響，容易出現(xiàn)邊緣刻蝕線過寬的現(xiàn)象或在硅片上表面產(chǎn)生氣泡狀黑點(diǎn)的現(xiàn)象。出現(xiàn)了上述狀況的硅片就需要返工操作，這種返工片統(tǒng)稱為刻蝕黑框，行業(yè)內(nèi)通常將刻蝕黑框的返工率作為評價(jià)產(chǎn)品良率的一項(xiàng)重要指標(biāo)。

為了解決或降低多晶濕法刻蝕設(shè)備的刻蝕黑框返工問題，業(yè)界技術(shù)人員提出了兩種解決方法：

1、增加擴(kuò)散面(上表面)水膜保護(hù)技術(shù)。采用這種方法能夠有效解決多晶濕法刻蝕設(shè)備的刻蝕黑框返工問題。但是這種設(shè)備單臺的改造費(fèi)用在20萬左右，成本高；后期耗酸量比常規(guī)方法至少增加20％，隱形的大額運(yùn)營成本支出多。相對改善的黑框返工率來說，改造總成本已經(jīng)遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過了改善的收益，失去大規(guī)模推廣的意義。

2、在多晶濕法刻蝕設(shè)備蓋板上加裝“浴霸燈”。這種方法也可以起到減少刻蝕黑框返工的作用，但是這屬于非對癥下藥，并不能有效并可控地減少刻蝕黑框返工的問題，且該方法電能能耗高，成本高。

因此，目前急需一種能夠既能有效控制解決在濕法刻蝕過程中形成的刻蝕黑框問題，降低生產(chǎn)成本，利于大規(guī)模生產(chǎn)與推廣的濕法刻蝕設(shè)備。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了在有效降低黑框返工率和有效降低生產(chǎn)成本之間尋求平衡，本實(shí)用新型提供了一種多晶濕法刻蝕設(shè)備。該設(shè)備成本低、工藝簡單、溫控精確合理，能有效解決黑框返工率高的問題。

根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)方面，提供一種多晶濕法刻蝕設(shè)備，所述多晶濕法刻蝕設(shè)備包括：

純水進(jìn)管、熱交換裝置、至少一個(gè)多晶濕法刻蝕機(jī)、純水出管；

所述純水進(jìn)管與所述熱交換裝置相連通；

所述熱交換裝置通過降溫純水出水管與所述多晶濕法刻蝕機(jī)相連通；

所述多晶濕法刻蝕機(jī)通過純水出支管與所述純水出管相連接；

所述熱交換裝置包括：換熱器、板換冷凍水回水管、板換冷凍水進(jìn)水管；

所述板換冷凍水進(jìn)水管與所述換熱器連通；

所述板換冷凍水回水管與所述換熱器連通；

在所述板換冷凍水進(jìn)水管上設(shè)置有板換冷凍水進(jìn)水比例電磁閥，所述板換冷凍水進(jìn)水比例電磁閥用于控制所述板換冷凍水進(jìn)水管與所述換熱器之間的通斷和/或冷凍水的進(jìn)水量；

所述純水進(jìn)管上設(shè)置有板換純水進(jìn)水手閥，所述板換純水進(jìn)水手閥用于控制所述純水進(jìn)管與所述換熱器之間的通斷；

所述降溫純水出水管上設(shè)置有板換純水回水手閥，所述板換純水回水手閥用于控制所述降溫純水出水管與所述換熱器之間的通斷；

在所述降溫純水出水管和所述純水進(jìn)管之間設(shè)置有純水旁管，所述純水旁管上設(shè)置有純水旁通閥，所述純水旁通閥用于控制所述純水旁管的通斷。

根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)具體實(shí)施方式，所述多晶濕法刻蝕設(shè)備包括兩個(gè)多晶濕法刻蝕機(jī)。

根據(jù)本實(shí)用新型的另一個(gè)具體實(shí)施方式，所述降溫純水出水管通過純水進(jìn)支管與所述多晶濕法刻蝕機(jī)相連通，每個(gè)所述多晶濕法刻蝕機(jī)對應(yīng)一根所述純水進(jìn)支管。

根據(jù)本實(shí)用新型的又一個(gè)具體實(shí)施方式，所述熱交換裝置為板式熱交換裝置。

在實(shí)際應(yīng)用過程中，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)刻蝕黑框數(shù)量在夏季會(huì)明顯增多。在對比夏季和其它季節(jié)的差別后，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)在恒溫恒濕的車間里只有純水進(jìn)水溫度會(huì)隨著季節(jié)變化而變化。由于純水在到達(dá)濕法刻蝕設(shè)備的輸送過程中不可避免的產(chǎn)生溫度變化，夏季會(huì)吸熱升溫，冬季則相反。純水進(jìn)水的溫度隨外界溫度變化，變化幅度可達(dá)7℃-10℃。

濕法刻蝕設(shè)備對純水的要求為20℃，一旦超過20℃會(huì)在8℃的工藝槽區(qū)域內(nèi)出現(xiàn)結(jié)露和水霧的情況。結(jié)露會(huì)導(dǎo)致設(shè)備蓋板內(nèi)側(cè)的露水滴濺在工藝槽內(nèi)的酸液中，對正面無保護(hù)的硅片擴(kuò)散面(上表面)產(chǎn)生濺射狀的氣泡狀黑點(diǎn)。水霧則會(huì)導(dǎo)致在工藝槽行進(jìn)過程中，硅片的上表面變得更加潮濕，使酸液更容易沿著硅片邊緣翻到硅片擴(kuò)散面(上表面)，形成≧3mm的刻蝕黑框。因此，溫度較高的夏季的刻蝕黑框返工率較高。

本發(fā)明通過在純水進(jìn)水主管道上增加熱交換裝置，將純水進(jìn)水溫度在進(jìn)入濕法刻蝕設(shè)備前降低至設(shè)備需求的20℃以內(nèi)。從而消除溫度過高而導(dǎo)致的工藝槽結(jié)露起霧的現(xiàn)象，降低刻蝕黑框返工率。

經(jīng)反復(fù)試驗(yàn)后證實(shí)，采用本實(shí)用新型提供的多晶濕法刻蝕設(shè)備，可顯著消除高溫導(dǎo)致的濕法刻蝕設(shè)備工藝槽內(nèi)結(jié)露起霧的現(xiàn)象。能夠使刻蝕黑框返工率降低0.07％，每月節(jié)省1575元的返工成本，提升產(chǎn)品良率。將設(shè)備運(yùn)行率提升0.72％，每月可增加34200片的產(chǎn)能。

附圖說明

通過閱讀參照以下附圖所作的對非限制性實(shí)施例所作的詳細(xì)描述，本實(shí)用新型的其它特征、目的和優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得更明顯：

圖1所示為根據(jù)本實(shí)用新型提供的一種多晶濕法刻蝕設(shè)備的一個(gè)具體實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2所示為根據(jù)本實(shí)用新型提供的一種多晶濕法刻蝕設(shè)備中的熱交換裝置的一個(gè)具體實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖中相同或相似的附圖標(biāo)記代表相同或相似的部件。

具體實(shí)施方式

下文的公開提供了許多不同的實(shí)施例或例子用來實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的不同結(jié)構(gòu)。為了簡化本實(shí)用新型的公開，下文中對特定例子的部件和設(shè)置進(jìn)行描述。此外，本實(shí)用新型可以在不同例子中重復(fù)參考數(shù)字和/或字母。這種重復(fù)是為了簡化和清楚的目的，其本身不指示所討論各種實(shí)施例和/或設(shè)置之間的關(guān)系。應(yīng)當(dāng)注意，在附圖中所圖示的部件不一定按比例繪制。本實(shí)用新型省略了對公知組件和處理技術(shù)及工藝的描述以避免不必要地限制本實(shí)用新型。

參考圖1和圖2，本實(shí)用新型提供的多晶濕法刻蝕設(shè)備包括：純水進(jìn)管1、熱交換裝置6、至少一個(gè)多晶濕法刻蝕機(jī)3和純水出管5。優(yōu)選的，所述多晶濕法刻蝕設(shè)備包括兩個(gè)多晶濕法刻蝕機(jī)3。優(yōu)選的，所述熱交換裝置6為板式熱交換裝置。

所述純水進(jìn)管1與所述熱交換裝置6相連通。所述熱交換裝置6通過降溫純水出水管7與所述多晶濕法刻蝕機(jī)3相連通。當(dāng)有多個(gè)多晶濕法刻蝕機(jī)3時(shí)，所述降溫純水出水管7通過純水進(jìn)支管2與所述多晶濕法刻蝕機(jī)3相連通，每個(gè)所述多晶濕法刻蝕機(jī)3對應(yīng)一根所述純水進(jìn)支管2。所述多晶濕法刻蝕機(jī)3通過純水出支管4與所述純水出管相連接。

所述熱交換裝置6包括：換熱器61、板換冷凍水回水管62、板換冷凍水進(jìn)水管63。所述板換冷凍水進(jìn)水管63與所述換熱器61連通；所述板換冷凍水回水管62與所述換熱器61連通。

在所述板換冷凍水進(jìn)水管63上設(shè)置有板換冷凍水進(jìn)水比例電磁閥64，所述板換冷凍水進(jìn)水比例電磁閥64用于控制所述板換冷凍水進(jìn)水管63與所述換熱器61之間的通斷和/或冷凍水的進(jìn)水量。

所述純水進(jìn)管1上設(shè)置有板換純水進(jìn)水手閥11，所述板換純水進(jìn)水手閥11用于控制所述純水進(jìn)管1與所述換熱器61之間的通斷。所述降溫純水出水管7上設(shè)置有板換純水回水手閥71，所述板換純水回水手閥71用于控制所述降溫純水出水管7與所述換熱器61之間的通斷。

在所述降溫純水出水管7和所述純水進(jìn)管1之間設(shè)置有純水旁管8，所述純水旁管8上設(shè)置有純水旁通閥81，所述純水旁通閥81用于控制所述純水旁管8的通斷。

具體地，在外界溫度較高時(shí)(如夏季)，將板換純水進(jìn)水手閥11打開，純水旁管8關(guān)閉，外圍供給的純水通過純水進(jìn)管1進(jìn)入熱交換裝置6。

同時(shí)，作為熱交換介質(zhì)的冷凍水通過板換冷凍水進(jìn)水管63進(jìn)入熱交換裝置6，該冷凍水在熱交換裝置6的內(nèi)部與純水進(jìn)行熱交換。為了對進(jìn)入的冷凍水的水量以及溫度進(jìn)行有效控制，在所述板換冷凍水進(jìn)水管63上設(shè)置有板換冷凍水進(jìn)水比例電磁閥64。該板換冷凍水進(jìn)水比例電磁閥64需根據(jù)外圍供給的純水和實(shí)際設(shè)定純水溫度值的關(guān)系確定開啟比例：溫差大，板換冷凍水進(jìn)水比例電磁閥6開度大；反之亦然。降到設(shè)定溫后，打開板換純水回水手閥71，純水通過降溫純水出水管7流出，以便作為多晶濕法刻蝕機(jī)3的純水進(jìn)水。

當(dāng)外界溫度較為適宜時(shí)，將純水旁通閥81打開，將板換純水進(jìn)水手閥11、板換冷凍水進(jìn)水比例電磁閥64和板換純水回水手閥71關(guān)閉，即可恢復(fù)外圍直接供水，即純水從純水進(jìn)管1經(jīng)過純水旁管8直接進(jìn)入降溫純水出水管7。降溫純水出水管7中流出的純水可以直接或者通過純水進(jìn)支管2流入多晶濕法刻蝕機(jī)對硅片進(jìn)行濕法刻蝕。

本實(shí)用新型提供的多晶濕法刻蝕設(shè)備能夠?qū)M(jìn)入多晶濕法刻蝕機(jī)的純水進(jìn)行降溫，減少了黑框返工率；通過特殊的管路設(shè)計(jì)能夠?qū)崿F(xiàn)自由切換純水流向的效果，根據(jù)不同的外界溫度選擇不同的純水流向，能夠大幅提高生產(chǎn)效率；該設(shè)備制造成本和生產(chǎn)成本低，易于大規(guī)模推廣。

雖然關(guān)于示例實(shí)施例及其優(yōu)點(diǎn)已經(jīng)詳細(xì)說明，應(yīng)當(dāng)理解在不脫離本實(shí)用新型的精神和所附權(quán)利要求限定的保護(hù)范圍的情況下，可以對這些實(shí)施例進(jìn)行各種變化、替換和修改。對于其他例子，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)容易理解在保持本實(shí)用新型保護(hù)范圍內(nèi)的同時(shí)，工藝步驟的次序可以變化。