本實(shí)用新型一種晶圓超凈空間隔離盒，屬于晶圓生產(chǎn)加工領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

單晶硅圓片由普通硅砂拉制提煉，經(jīng)過溶解、提純、蒸餾一系列措施制成單晶硅棒，單晶硅棒經(jīng)過拋光、切片之后，就成為了晶圓。晶圓是最常用的半導(dǎo)體材料,按其直徑分為4英寸、5英寸、6英寸、8英寸、12英寸等規(guī)格。

晶圓的加工生產(chǎn)指的是在晶圓上進(jìn)行電路的加工與制作，其基本處理步驟通常是晶圓先經(jīng)過適當(dāng)?shù)那逑粗?，接著進(jìn)行氧化及沈積，最后進(jìn)行微影、蝕刻及離子植入等反覆步驟。整個(gè)過程都在FAB無塵車間進(jìn)行。

晶圓超凈空間隔離盒擔(dān)負(fù)著晶圓在無塵車間內(nèi)各加工站點(diǎn)的周轉(zhuǎn)與運(yùn)作，同時(shí)與機(jī)械加工設(shè)備配合實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)空間完全隔離的專用盒體，為晶圓的加工生產(chǎn)提供一個(gè)超凈的無塵空間。盒體底蓋設(shè)計(jì)有鎖定與開啟操作的轉(zhuǎn)盤，轉(zhuǎn)盤通過轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)底座內(nèi)的兩個(gè)支腳實(shí)現(xiàn)底蓋的開啟與鎖定。底座的兩個(gè)支腳長(zhǎng)時(shí)間和轉(zhuǎn)盤接觸后會(huì)摩擦破損，摩擦產(chǎn)生的細(xì)小顆粒也會(huì)污染晶圓盒超凈環(huán)境，破損后會(huì)影響盒體的正常工作。

其次，現(xiàn)有的盒體的側(cè)壁把柄沒有保護(hù)措施，人在搬運(yùn)過程中吧發(fā)生歪斜，導(dǎo)致盒體滑落，損害晶圓。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型針對(duì)上述不足提供了一種晶圓超凈空間隔離盒。

本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案：

本實(shí)用新型所述的一種晶圓超凈空間隔離盒，包括盒體，所述盒體的底部設(shè)有底座，所述的底座上設(shè)有凸起的中心圓座，沿中心圓座的徑向兩側(cè)延伸出支腳，支腳尾部設(shè)有圓柱體，所述的圓柱體可旋轉(zhuǎn)。

本實(shí)用新型所述的晶圓超凈空間隔離盒，所述的盒體上側(cè)壁設(shè)有提取把手。

本實(shí)用新型所述的晶圓超凈空間隔離盒，所述的把手包括扣架，把柄，防滑孔；所述的扣架的兩端設(shè)有卡扣，扣架的架身上設(shè)有把柄，把柄內(nèi)設(shè)有防滑孔。

本實(shí)用新型所述的的晶圓超凈空間隔離盒，所述的底座轉(zhuǎn)盤可旋轉(zhuǎn)圓柱體由PEEK材質(zhì)制成。

有益效果

本實(shí)用新型提供的晶圓超凈空間隔離盒，減少了轉(zhuǎn)盤與底座的摩擦，減少了細(xì)小顆粒的生成。

本實(shí)用新型提供的晶圓超凈空間隔離盒，采用安全可靠的把柄，方便拿取盒體，保證安全。

附圖說明

圖1本實(shí)用新型的盒體示意圖；

圖2是本實(shí)用新型的底座結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本實(shí)用新型的底座剖面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本實(shí)用新型的把手結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明實(shí)施例的目的和技術(shù)方案更加清楚，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；谒枋龅谋景l(fā)明的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在無需創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍：

一種晶圓超凈空間隔離盒，包括盒體，所述盒體的底部設(shè)有底座1，所述的底座上設(shè)有凸起的中心圓座2，沿中心圓座的徑向兩側(cè)延伸出支腳3，支腳尾部設(shè)有圓柱體4，圓柱體4可旋轉(zhuǎn)。圓柱體4為獨(dú)立的旋轉(zhuǎn)柱體，當(dāng)上方轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)其接觸面與圓柱體4接觸將摩擦面的摩擦力轉(zhuǎn)變?yōu)樾D(zhuǎn)的轉(zhuǎn)動(dòng)面，繼而代減少了摩擦。

晶圓超凈空間隔離盒轉(zhuǎn)盤上的可旋轉(zhuǎn)圓柱體4由金屬Peek材質(zhì)制成。

盒體上側(cè)壁設(shè)有提取把手；把手包括扣架5，把柄6，防滑孔7；所述的扣架的兩端設(shè)有卡扣8，扣架5的架身上設(shè)有把柄6，把柄內(nèi)設(shè)有防滑孔7。卡扣8的頂端設(shè)有圓形的接觸柱9.

底座由PEEK材質(zhì)制成。

以上所述，僅為本發(fā)明較佳的具體實(shí)施方式，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。