本實用新型涉及自動化檢測技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種晶元片多探針檢測頭。

背景技術(shù)：

晶元(Wafer)，是生產(chǎn)集成電路所用的載體，多指單晶硅圓片，也叫晶元芯片。普通硅砂拉制提煉，經(jīng)過溶解、提純、蒸餾一系列措施制成單晶硅棒，單晶硅棒經(jīng)過拋光、切片之后，就成為了晶元片。一個圓盤狀的晶元片上分布有很多一格格的晶元，晶元呈陣列排布，晶元在封裝制造成芯片之前需要對其性能進行檢測，由于一個晶元片上存在成百上千個晶元，人工通過探針對每個晶元進行檢測，工作量非常大，而且容易漏檢。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型為了解決現(xiàn)有技術(shù)中晶元片檢測效率低的問題，提供了一種能適用于自動檢測設備，極大提高檢測效率的晶元片多探針檢測頭。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案：

一種晶元片多探針檢測頭，包括探針座，所述探針座的上端中心設有凹腔，所述凹腔底部設有若干探針定位通孔，所述探針定位通孔內(nèi)設有探針，所述探針的下端伸出探針座底面，所述凹腔的底面設有與探針一一對應連接的導電片，所述的導電片與凹腔底面之間螺栓連接，每個導電片上均設有導電柱，所述凹腔的內(nèi)壁上設有環(huán)形階梯面，所述的環(huán)形階梯面上設有線路板，所述的線路板與導電柱之間電連接，所述凹腔的開口端設有端蓋，端蓋與凹腔開口端之間螺紋連接，所述端蓋的上側(cè)面中心設有連接柱；所述探針座的底面中心設有限位柱。連接柱與自動檢測設備上的升降機構(gòu)連接，晶元片安裝在滑動支架上，探針座向下移動一次，所有的探針與晶元片表面的晶元彈性接觸、檢測，然后探針座上移，滑動支架帶動晶元片移動一段距離，探針座下降檢測，依次循環(huán)，將晶元片上的所有晶元都檢測一次，檢測后直接從自動化檢測設備上讀取檢測結(jié)果，極大的提高了晶元片的檢測效率；線路板、探針上端電連接都被封裝在凹腔內(nèi)，防水、防塵性能好，整體穩(wěn)定性好；限位柱用于限定探頭的伸縮形變量，探針形變量太小，探針與晶元接觸不穩(wěn)定，探針形變量太大容易損壞，限位柱對探針起到保護作用。

作為優(yōu)選，所述限位柱與探針座之間螺紋連接，所述限位柱的外側(cè)套設有調(diào)節(jié)套，所述的限位柱為螺柱，所述調(diào)節(jié)套與限位柱之間螺紋連接，所述調(diào)節(jié)套的側(cè)面設有限位螺栓，所述調(diào)節(jié)套的下端設有緩沖墊片。調(diào)節(jié)套在限位柱上轉(zhuǎn)動，從而可以調(diào)節(jié)限位高度，能適用于不同探針的限位，通用性強。

作為優(yōu)選，所述凹腔的側(cè)面設有引線孔，線路板上的數(shù)據(jù)線穿過引線孔，數(shù)據(jù)線的外端設有數(shù)據(jù)插頭，所述的引線孔內(nèi)設有防水套。線路板上的數(shù)據(jù)線從引線孔處伸出，數(shù)據(jù)接頭與自動化設備上的接口直接連接，實現(xiàn)數(shù)據(jù)傳遞；防水套對引線孔密封，起到防水作用，防止外界的水汽進入凹腔內(nèi)導致探針短路。

作為優(yōu)選，所述端蓋的下側(cè)面邊緣與線路板邊緣處設有密封圈。密封圈起到密封作用，防止外界水分進入凹腔內(nèi)造成短路。

作為優(yōu)選，所述的探針與探針定位通孔的內(nèi)壁之間設有防水膠。為了便于探針的安裝，探針與探針定位通孔之間間隙配合，這樣就會導致探針晃動，防水膠一方面對探針完全定位，防止探針晃動，另一方面起到防水作用，防止外界水汽從探針與探針定位通孔之間的間隙內(nèi)進入凹腔。

作為優(yōu)選，所有探針的檢測端面為球面，所有探針的檢測端面共面。檢測端面與晶元接觸檢測，球面能確保與晶元接觸良好。

作為優(yōu)選，所述的探針座由電木制成。電木的化學名稱叫酚醛塑料，電木具有良好的機械強度、絕緣性、耐熱性、耐腐蝕性，探針座采用電木制成，能確保探針之間相互絕緣，穩(wěn)定性好。

因此，本實用新型與自動檢測設備連接使用，極大提高晶元片的檢測效率；同時自身密封性能好，防水防塵性能好，穩(wěn)定性好，確保晶元的檢測精度。

附圖說明

圖1為本實用新型的一種結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為圖1的剖視圖。

圖中：探針座1、凹腔2、探針定位通孔3、探針4、導電片5、防水膠6、導電柱7、環(huán)形階梯面8、線路板9、端蓋10、密封圈11、連接柱12、引線孔13、數(shù)據(jù)線14、數(shù)據(jù)插頭15、防水套16、限位柱17、調(diào)節(jié)套18、限位螺栓19、緩沖墊片20。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步描述：

如圖1和圖2所示的一種晶元片多探針檢測頭，包括探針座1，探針座由電木制成，探針座1的上端中心設有凹腔2，凹腔底部設有若干探針定位通孔3，探針定位通孔內(nèi)設有探針4，本實施例中的探針有16根，呈4X4的矩陣分布，探針的下端伸出探針座底面，探針的檢測端面為球面，所有探針的檢測端面共面；凹腔的底面設有與探針一一對應連接的導電片5，探針與導電片之間焊接連接，導電片與凹腔底面之間螺栓連接，每個導電片上均設有導電柱7，探針與探針定位通孔的內(nèi)壁之間設有防水膠6，凹腔的內(nèi)壁上設有環(huán)形階梯面8，環(huán)形階梯面上設有線路板9，線路板與導電柱之間電連接，凹腔的開口端設有端蓋10，端蓋與凹腔開口端之間螺紋連接，端蓋的下側(cè)面邊緣與線路板邊緣處設有密封圈11，端蓋的上側(cè)面中心設有連接柱12；凹腔的側(cè)面設有引線孔13，線路板上的數(shù)據(jù)線14穿過引線孔，數(shù)據(jù)線的外端設有數(shù)據(jù)插頭15，引線孔內(nèi)設有防水套16；探針座的底面中心設有限位柱17，限位柱與探針座之間螺紋連接，限位柱的外側(cè)套設有調(diào)節(jié)套18，限位柱為螺柱，調(diào)節(jié)套與限位柱之間螺紋連接，調(diào)節(jié)套的側(cè)面設有限位螺栓19，調(diào)節(jié)套的下端設有緩沖墊片20。

結(jié)合附圖，本實用新型的使用方法如下：連接柱12與自動檢測設備上的升降機構(gòu)連接，根據(jù)探針長度通過調(diào)節(jié)套調(diào)節(jié)限位柱的高度，晶元片安裝在滑動支架上，探針座向下移動一次，所有的探針與晶元片表面的晶元彈性接觸、檢測，然后探針座上移，滑動支架帶動晶元片移動一段距離，探針座下降檢測，依次循環(huán)，將晶元片上的所有晶元都檢測一次，檢測后直接從自動化檢測設備上讀取檢測結(jié)果，極大的提高了晶元片的檢測效率；線路板、探針與導電片的連接都被完全封裝在凹腔內(nèi)，受外界干擾小，防水、防塵性能好，同時線路板與凹腔底面、線路板與端蓋之間都存在間隙，便于線路板散熱。