本實用新型涉及到半導(dǎo)體硅拋光工藝中所用到的臥式背封爐，具體的說是一種臥式背封爐蝶閥清潔工裝。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體硅拋光片生產(chǎn)過程中有一道重要的工藝就是背封工藝。背封工藝就是采用低壓化學(xué)氣象淀積LPCVD原理在硅片背面生長一層二氧化硅或多晶硅薄膜。執(zhí)行背封工藝主流設(shè)備有一種是低壓臥式背封爐。工作原理即將硅片放入石英管內(nèi)，用真空泵對爐管進行抽氣，制造真空環(huán)境然后再通入氣體，并通過蝶閥的開合角度控制石英管內(nèi)的壓力。適當(dāng)?shù)臍怏w配合適當(dāng)?shù)臏囟仍谔囟ǖ膲毫Νh(huán)境下進行反應(yīng)，在硅片背面生成一層二氧化硅或多晶硅薄膜。

在生產(chǎn)過程中為調(diào)節(jié)石英管內(nèi)的壓力，需要真空泵一直進行抽氣并通過調(diào)節(jié)蝶閥的角度使石英管內(nèi)的壓力維持在設(shè)定值。因此在生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的二氧化硅或多晶硅會附著在蝶閥內(nèi)壁形成結(jié)晶。當(dāng)結(jié)晶過多，就會影響蝶閥的性能，造成密閉不嚴(yán)等問題，使石英管內(nèi)的壓力不能達(dá)到工藝要求。此時要對蝶閥內(nèi)的晶體進行清理。在生產(chǎn)過程中石英管內(nèi)的溫度高達(dá)七百攝氏度，而蝶閥與石英管相連通溫度也在一百攝氏度以上。因此用常規(guī)的方法即將蝶閥圓筒內(nèi)壁的結(jié)晶敲碎然后用吸塵器吸出的方法無法使用。因為溫度過高會迅速燒壞吸塵器，而且大顆粒也無法吸出。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

為解決蝶閥圓筒內(nèi)壁附著的二氧化硅或多晶硅結(jié)晶不容易清理的問題，本實用新型提供了一種臥式背封爐蝶閥清潔工裝，通過設(shè)置一導(dǎo)柱和設(shè)置在導(dǎo)柱一端的扇形敲擊板，從而深入到蝶閥圓筒內(nèi)壁中敲碎并取出晶體，克服了溫度過高，清理困難的問題，縮短了維護時間，提高了生產(chǎn)效率。

本實用新型為解決上述技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案為：一種臥式背封爐蝶閥清潔工裝，包括一圓柱形的導(dǎo)柱和通過螺紋連接在導(dǎo)柱一端的扇形敲擊板，所述扇形敲擊板為一直線和圓弧線圍成的扇形，且圓弧線與蝶閥圓筒的內(nèi)壁貼合，所述導(dǎo)柱的端部焊接在扇形敲擊板直線邊的中部，且導(dǎo)柱的上端與直線邊平齊，以使手持導(dǎo)柱時，扇形敲擊板的弧形尖端位于最下方。

所述扇形敲擊板與導(dǎo)柱同側(cè)表面的最低處設(shè)置有弧形推板，且弧形推板的外輪廓線與扇形敲擊板的弧形輪廓線重合。

所述扇形敲擊板上設(shè)置有卡槽，所述的弧形推板通過該卡槽設(shè)置在扇形敲擊板上。

所述扇形敲擊板與導(dǎo)柱異側(cè)表面的最低處設(shè)置有弧形配重塊，且弧形配重塊的外輪廓線與扇形敲擊板的弧形輪廓線重合。

所述扇形敲擊板上設(shè)置有卡槽，所述的弧形配重塊通過該卡槽設(shè)置在扇形敲擊板上。

所述導(dǎo)柱和扇形敲擊板的材質(zhì)為表面經(jīng)過拋光處理的不銹鋼。

有益效果：本實用新型通過設(shè)計一與蝶閥圓筒內(nèi)壁匹配的扇形敲擊板，并將該扇形敲擊板用于導(dǎo)柱固定，從而深入到蝶閥圓筒內(nèi)壁中敲擊內(nèi)壁的結(jié)晶，由于扇形敲擊板的圓弧線與蝶閥圓筒的內(nèi)壁貼合，從而可以將內(nèi)壁各處的晶體敲碎，并全部帶出，克服了溫度過高，清理困難的問題，縮短了維護時間，提高了生產(chǎn)效率。

附圖說明

圖1為本實用新型的正視圖；

圖2為圖1的俯視圖；

圖3為圖1的左視圖；

圖4為圖1的右視圖；

圖5為蝶閥的圓筒結(jié)構(gòu)示意圖

附圖標(biāo)記：1、導(dǎo)柱，2、扇形敲擊板，3、弧形推板，4、弧形配重塊，5、碟板。

具體實施方式

如圖所示，一種臥式背封爐蝶閥清潔工裝，包括一圓柱形的導(dǎo)柱1和通過螺紋連接在導(dǎo)柱1一端的扇形敲擊板2，所述扇形敲擊板2為一直線和圓弧線圍成的扇形，且圓弧線與蝶閥圓筒的內(nèi)壁貼合，所述導(dǎo)柱1的端部焊接在扇形敲擊板2直線邊的中部，且導(dǎo)柱1的上端與直線邊平齊，以使手持導(dǎo)柱1時，扇形敲擊板2的弧形尖端位于最下方。

以上為本實用新型的基本實施方式，可在以上基礎(chǔ)上做進一步的改進、優(yōu)化和限定：

如，所述扇形敲擊板2與導(dǎo)柱1同側(cè)表面的最低處設(shè)置有弧形推板3，且弧形推板3的外輪廓線與扇形敲擊板2的弧形輪廓線重合，從而更有效的將敲碎的結(jié)晶帶出圓筒；

進一步的，所述扇形敲擊板2上設(shè)置有卡槽，所述的弧形推板3通過該卡槽設(shè)置在扇形敲擊板2上，從而根據(jù)需要決定是否安裝弧形推板3；

又如，所述扇形敲擊板2與導(dǎo)柱1異側(cè)表面的最低處設(shè)置有弧形配重塊4，且弧形配重塊4的外輪廓線與扇形敲擊板2的弧形輪廓線重合，從而便于擊碎結(jié)晶；

進一步的，所述扇形敲擊板2上設(shè)置有卡槽，所述的弧形配重塊4通過該卡槽設(shè)置在扇形敲擊板2上，從而根據(jù)需要決定是否安裝弧形推板3；

最后，所述導(dǎo)柱1和扇形敲擊板2的材質(zhì)為表面經(jīng)過拋光處理的不銹鋼。