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一種具有高品質(zhì)因數(shù)的三維電感器結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號(hào):11686470閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開一種具有高品質(zhì)因數(shù)的三維電感器結(jié)構(gòu)。該三維電感器由多個(gè)元件單元構(gòu)成,電感元件的輸入輸出端口位于基底頂部的金屬層;元件單元包括位于基底頂部的金屬層、兩個(gè)圓環(huán)狀的硅通孔陣列、位于基底底部的重新布局層;其中兩個(gè)圓環(huán)狀的硅通孔陣列左右對(duì)稱設(shè)置。本實(shí)用新型運(yùn)用金屬線連接兩個(gè)圓環(huán)中的硅通孔,相較與傳統(tǒng)硅通孔構(gòu)造的電感器具有較大的電感值,同時(shí)充分利用正互感值(同圓環(huán)中硅通孔的電流流向都相同,金屬層和重新布局層中金屬線中電流流向分別相同),增強(qiáng)電感值。

技術(shù)研發(fā)人員:趙文生;鄭杰;陳世昌;徐魁文;王高峰
受保護(hù)的技術(shù)使用者:杭州電子科技大學(xué)
文檔號(hào)碼:201620923695
技術(shù)研發(fā)日:2016.08.22
技術(shù)公布日:2017.07.21

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