本專利申請(qǐng)要求提交于2015年9月15日的美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)No.62/218,735的權(quán)益，并且該專利申請(qǐng)的公開(kāi)內(nèi)容全文以引用的方式并入本文。然而，當(dāng)本公開(kāi)與任何引用的專利申請(qǐng)沖突時(shí)，本公開(kāi)應(yīng)當(dāng)被賦予優(yōu)先權(quán)。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及微電子制造和封裝，更具體地涉及引線接合。

背景技術(shù)：

引線接合是微電子制造和封裝行業(yè)常用的互連技術(shù)。更具體地講，引線接合器(也稱為引線接合機(jī))在要電互連的相應(yīng)位置之間形成引線互連，例如，用以將半導(dǎo)體器件的焊盤(pán)連接至引線框架或載體。引線接合機(jī)還可用于形成導(dǎo)電凸塊(在與引線環(huán)的連接當(dāng)中可以采用，也可以不采用所述凸塊)。

引線接合器的超聲系統(tǒng)包括超聲發(fā)生器和換能器。發(fā)生器在給定頻率下向換能器提供電能。換能器通常包括驅(qū)動(dòng)器，，例如，壓電元件(例如，壓電晶體、壓電陶瓷等)的疊堆。將電能施加于驅(qū)動(dòng)器，驅(qū)動(dòng)器將電能轉(zhuǎn)化為機(jī)械能。機(jī)械能傳輸?shù)胶附庸ぞ呒舛?，該焊接工具尖端以所施加的電能?duì)應(yīng)的振幅振蕩。

常規(guī)引線接合工藝涉及以下步驟：(1)將引線設(shè)置為與焊盤(pán)接觸，并且將焊接工具放置到引線上面；(2)焊接工具對(duì)引線施加壓力，迫使引線緊靠焊盤(pán)；(3)超聲發(fā)生器將高頻功率信號(hào)施加于換能器，換能器將該信號(hào)轉(zhuǎn)換為超聲波振動(dòng)，從而使焊接工具在焊盤(pán)的平面內(nèi)振蕩；(4)引線和焊盤(pán)之間的摩擦被克服，并且引線刮擦焊盤(pán)的表面，從而導(dǎo)致引線和/或焊盤(pán)的局部軟化和塑性流動(dòng)；(5)在刮擦幾毫秒后，切斷換能器的電源，這使焊接工具和引線的運(yùn)動(dòng)停止，并且允許在引線和焊盤(pán)之間形成焊接；以及(6)提起焊接工具，使之離開(kāi)目前接合的引線。

某些因素可導(dǎo)致接合存在缺陷。例如，如果焊盤(pán)或引線不干凈，換能器可能通電時(shí)間太長(zhǎng)(可導(dǎo)致材料過(guò)熱或襯底斷裂)，或可能存在襯底不對(duì)齊或彎曲，則不能適當(dāng)?shù)匦纬山雍?。襯底彎曲可導(dǎo)致焊接工具尖端的振蕩振幅減小，襯底彎曲的原因可能在于襯底層之間的熱失配所導(dǎo)致的翹曲。襯底翹曲時(shí)形成的氣隙可使超聲波振動(dòng)分散于整個(gè)襯底和氣隙，這減少了引線焊接工具尖端的摩擦力，降低了壓力接合強(qiáng)度和/或促使不適當(dāng)?shù)慕雍习l(fā)生。因此，引線可能從焊盤(pán)或襯底的表面剝離。諸如半導(dǎo)體芯片、集成電路(IC)、電阻器、晶體管、電容器等的電組件和襯底之間的不當(dāng)或錯(cuò)誤電連接可導(dǎo)致發(fā)生所述錯(cuò)誤連接的裝置或設(shè)備的功能故障。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型技術(shù)的各種實(shí)施例可包括用于改善接合的方法和設(shè)備，并且可與被構(gòu)造成支撐襯底的主平臺(tái)相結(jié)合進(jìn)行操作?？梢苿?dòng)構(gòu)件在旋轉(zhuǎn)到第一位置時(shí)可允許襯底被置于主平臺(tái)上，并且在旋轉(zhuǎn)到第二位置時(shí)可將力施加于襯底的朝上表面上的預(yù)定區(qū)域。

本實(shí)用新型的一個(gè)方面的目的是提供用于固定襯底的設(shè)備或用于減少襯底中的翹曲的設(shè)備。

本實(shí)用新型涉及一種用于固定襯底的設(shè)備，其特征在于，包括：被構(gòu)造成支撐所述襯底的主平臺(tái)；置于所述主平臺(tái)之上并且可在第一位置和第二位置之間旋轉(zhuǎn)的多個(gè)可移動(dòng)構(gòu)件，其中每個(gè)可移動(dòng)構(gòu)件：在旋轉(zhuǎn)到所述第一位置時(shí)允許將所述襯底置于所述主平臺(tái)上；并且在旋轉(zhuǎn)到所述第二位置時(shí)將力施加于所述襯底的朝上表面上的預(yù)定區(qū)域。

優(yōu)選地，所述用于固定襯底的設(shè)備其特征在于：來(lái)自所述多個(gè)可移動(dòng)構(gòu)件的第一可移動(dòng)構(gòu)件在旋轉(zhuǎn)到所述第二位置時(shí)將第一力施加于所述襯底的朝上表面的第一表面區(qū)域；并且來(lái)自所述多個(gè)可移動(dòng)構(gòu)件的第二可移動(dòng)構(gòu)件在旋轉(zhuǎn)到所述第二位置時(shí)將第二力施加于所述襯底的所述朝上表面的第二表面區(qū)域。

優(yōu)選地，所述用于固定襯底的設(shè)備其特征在于，所述第一表面區(qū)域包括充分靠近并且包括所述襯底的中心線的區(qū)域。

優(yōu)選地，所述用于固定襯底的設(shè)備其特征在于，所述第二表面區(qū)域包括沿所述襯底的邊緣部分的區(qū)域。

優(yōu)選地，所述用于固定襯底的設(shè)備其特征在于，來(lái)自所述多個(gè)可移動(dòng)構(gòu)件的第一可移動(dòng)構(gòu)件在第一預(yù)定時(shí)間固定所述襯底，并且來(lái)自所述多個(gè)可移動(dòng)構(gòu)件的第二可移動(dòng)構(gòu)件在第二預(yù)定時(shí)間固定所述襯底。

優(yōu)選地，所述用于固定襯底的設(shè)備其特征在于，所述主平臺(tái)包括：沿所述主平臺(tái)設(shè)置的多個(gè)開(kāi)口；以及與所述開(kāi)口連通的真空源。

優(yōu)選地，所述用于固定襯底的設(shè)備其特征在于，所述開(kāi)口以行模式布置。

優(yōu)選地，所述用于固定襯底的設(shè)備其特征在于，所述多個(gè)可移動(dòng)構(gòu)件中的至少兩個(gè)基本上彼此偏心布置。

優(yōu)選地，所述用于固定襯底的設(shè)備其特征在于，每個(gè)可移動(dòng)構(gòu)件聯(lián)接到彈簧偏置的鉸鏈。

本實(shí)用新型涉及一種用于減少襯底中的翹曲的設(shè)備，其特征在于，包括：被構(gòu)造成支撐所述襯底并且包括多個(gè)開(kāi)口的臺(tái)；被構(gòu)造成允許通過(guò)所述多個(gè)開(kāi)口將真空壓力施加于所述襯底的朝下表面的真空源；平行于所述臺(tái)的第一側(cè)面延伸的第一軸；置于所述平臺(tái)之上、可樞轉(zhuǎn)地聯(lián)接到所述第一軸并且可在第一位置和第二位置之間旋轉(zhuǎn)的第一旋轉(zhuǎn)構(gòu)件；平行于所述臺(tái)的第二側(cè)面延伸的第二軸；置于所述臺(tái)之上、可樞轉(zhuǎn)地聯(lián)接到所述第二軸并且可在所述第一位置和所述第二位置之間旋轉(zhuǎn)的第二旋轉(zhuǎn)構(gòu)件；并且

其中所述第一旋轉(zhuǎn)構(gòu)件在第一預(yù)定時(shí)間將第一彈簧力施加于所述襯底的第一朝上表面區(qū)域，并且所述第二旋轉(zhuǎn)構(gòu)件在第二預(yù)定時(shí)間將第二彈簧力施加于所述襯底的第二朝上表面區(qū)域。

本實(shí)用新型的一個(gè)方面的技術(shù)效果在于所提供的設(shè)備固定襯底或減少了襯底中的翹曲。

附圖說(shuō)明

當(dāng)結(jié)合以下示例性附圖考慮時(shí)，可通過(guò)參照具體實(shí)施方式而得到對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)的更完整的理解。在以下附圖中，通篇以類似附圖標(biāo)記指代各附圖當(dāng)中的類似元件和步驟。

圖1代表性地示出了根據(jù)本實(shí)用新型技術(shù)的示例性實(shí)施方案的設(shè)備的頂視圖；

圖2A-圖2B代表性地示出了根據(jù)本實(shí)用新型技術(shù)的示例性實(shí)施方案的設(shè)備的橫截面；

圖3代表性地示出了根據(jù)本實(shí)用新型技術(shù)的示例性實(shí)施方案的襯底的接觸區(qū)域；

圖4A-圖4C代表性地示出了根據(jù)本實(shí)用新型技術(shù)的示例性實(shí)施方案的多個(gè)可移動(dòng)構(gòu)件的旋轉(zhuǎn)順序；

圖5A-圖5J代表性地示出了利用根據(jù)本實(shí)用新型技術(shù)的示例性實(shí)施方案的設(shè)備的引線接合方法；

圖6代表性地示出了翹曲襯底上的引線接合。

圖7代表性地示出了根據(jù)本實(shí)用新型技術(shù)的示例性實(shí)施方案的引線接合；

圖8A-圖8B代表性示出了根據(jù)本實(shí)用新型技術(shù)的示例性實(shí)施方案的在水平襯底上的引線接合；并且

圖9代表性地示出了所述多個(gè)可移動(dòng)構(gòu)件的替代構(gòu)造。

具體實(shí)施方式

本實(shí)用新型技術(shù)可在功能塊組件和各種加工步驟方面進(jìn)行描述。這樣的功能塊可通過(guò)被構(gòu)造成執(zhí)行指定功能并且實(shí)現(xiàn)各種結(jié)果的任何數(shù)量的組件實(shí)現(xiàn)。例如，本實(shí)用新型技術(shù)可采用各種處理器、控制器、計(jì)時(shí)裝置、真空源、平臺(tái)、可移動(dòng)構(gòu)件等等，它們可執(zhí)行各種各樣的功能。此外，本實(shí)用新型技術(shù)可結(jié)合半導(dǎo)體器件加工或制造中的任何適當(dāng)步驟實(shí)施，并且所述設(shè)備和方法僅為所述技術(shù)的示例性應(yīng)用。另外，本實(shí)用新型技術(shù)可采用任何數(shù)量的常規(guī)技術(shù)進(jìn)行移動(dòng)致動(dòng)，將力施加于設(shè)備的元件以及對(duì)設(shè)置在設(shè)備上的元件施加壓力。

根據(jù)本實(shí)用新型技術(shù)的各種方面的用于改善引線接合的方法和設(shè)備可與任何合適的半導(dǎo)體或微電子制造工藝協(xié)同工作。本實(shí)用新型技術(shù)的各種代表性實(shí)施方式可應(yīng)用于任何適當(dāng)?shù)囊r底。

參見(jiàn)圖6和圖7，引線接合設(shè)備100和工藝可利用包括引線焊接工具600和引線夾620的引線接合機(jī)625。引線焊接工具600可基于換能器(未示出)產(chǎn)生的電能以預(yù)定頻率振蕩并產(chǎn)生超聲波振動(dòng)。

現(xiàn)在參見(jiàn)圖1和圖2，在本實(shí)用新型技術(shù)的示例性實(shí)施方案中，引線接合設(shè)備100可包括臺(tái)105和多個(gè)可移動(dòng)構(gòu)件110。臺(tái)105和可移動(dòng)構(gòu)件110可接納并固定襯底200，以提供穩(wěn)定并且平坦的表面，將在該表面上建立電連接，例如，引線接合或芯片接合。

臺(tái)105可在接合操作期間支撐襯底200。臺(tái)105可包括用于支撐襯底200的任何合適的裝置或系統(tǒng)。例如，在一個(gè)實(shí)施方案中，臺(tái)105可包括主平臺(tái)115，該主平臺(tái)包括接納和支撐襯底200的平坦平面。臺(tái)105還可包括被設(shè)置為靠近主平臺(tái)115且與該主平臺(tái)115間隔距離D以進(jìn)一步支撐襯底200的輔助平臺(tái)135。在一個(gè)實(shí)施方案中，輔助平臺(tái)135也可用作襯底200的運(yùn)輸軌。在該實(shí)施方案中，運(yùn)輸臂(未示出)可利用主平臺(tái)115和輔助平臺(tái)135之間的空間使襯底200跨越主平臺(tái)115移動(dòng)。在其他實(shí)施方案中，臺(tái)105可包括一個(gè)連續(xù)的支撐表面。

臺(tái)105還可包括用以加熱襯底200的熱源。例如，在包含金材料的應(yīng)用中，襯底200和設(shè)置在襯底200中的電組件可受益于被加熱到預(yù)定溫度，以實(shí)現(xiàn)電組件之間的所需接合。然而，在各種實(shí)施方案中，實(shí)現(xiàn)所需接合不一定需要熱源，例如，如果引線615(圖6)包含鋁并且/或者如果接合表面710(圖7)包含鎳的話，因?yàn)檫@些金屬具有可延展特性。

在各種實(shí)施方案中，臺(tái)105可具有任何尺寸和形狀，并且可由適用于設(shè)備100的具體應(yīng)用的任何材料制造。

在本實(shí)用新型示例性實(shí)施方案中，臺(tái)105可(例如)通過(guò)開(kāi)口120施加真空壓力。開(kāi)口120可具有任何合適的形狀或尺寸，并且可根據(jù)具體應(yīng)用加以構(gòu)造。開(kāi)口120可放置和定位于臺(tái)105上，使得開(kāi)口120與襯底200上的預(yù)定區(qū)域?qū)R。例如，現(xiàn)在參見(jiàn)圖2，襯底200可包括器件區(qū)域530，并且開(kāi)口120可被安放為與器件區(qū)域530的中心對(duì)齊。在操作中，真空源可將真空壓力施加于襯底200的朝下表面235，以在襯底200上建立壓力，從而改善襯底200和臺(tái)105的主平臺(tái)115之間的接觸。

參見(jiàn)圖2A-圖2B，每個(gè)可移動(dòng)構(gòu)件110可包括可延伸臂205和接觸部分210?？梢苿?dòng)構(gòu)件可嚙合襯底200，以保持襯底在臺(tái)105上的位置。例如，可延伸臂205可以可樞轉(zhuǎn)地聯(lián)接到軸240，從而允許可延伸臂205圍繞軸240旋轉(zhuǎn)角度θ?？梢苿?dòng)構(gòu)件110可在至少兩個(gè)位置之間旋轉(zhuǎn)。例如，可移動(dòng)構(gòu)件110可具有第一位置225和第二位置230，其中第一位置225可通過(guò)角度θ定義，并且第二位置230可被定義為具有角度θ’，該角度允許接觸部分210與襯底200接觸。

現(xiàn)在參見(jiàn)圖2A和圖3，可移動(dòng)構(gòu)件110可具有不同的長(zhǎng)度，使得可移動(dòng)構(gòu)件110中的至少一個(gè)可接觸襯底200的第一表面區(qū)域300，而另一可移動(dòng)構(gòu)件110則可接觸第二表面區(qū)域310。例如，第一表面區(qū)域300可包括沿襯底200的朝上表面245的中心線305設(shè)置的區(qū)域。另外，第二表面區(qū)域310可包括在襯底200的朝上表面245上沿至少一個(gè)邊緣部分315設(shè)置的區(qū)域。在各種實(shí)施方案中，多個(gè)可移動(dòng)構(gòu)件中的至少兩個(gè)基本上彼此偏心布置。例如，如圖1和圖5C所示，可移動(dòng)構(gòu)件110(a)、110(d)以交錯(cuò)模式布置。在各種實(shí)施方案中，可將可移動(dòng)構(gòu)件110隔開(kāi)，使得當(dāng)可移動(dòng)構(gòu)件110處于第二位置230時(shí)，使所需區(qū)域保持露出?？蓪?shí)施任何數(shù)量的接觸構(gòu)造，以提供適于具體應(yīng)用或襯底布局的所需接觸位置。

在一個(gè)實(shí)施方案中，每個(gè)可移動(dòng)構(gòu)件110可從接觸部分210朝襯底200的朝上表面245施加向下的力F。例如，可延伸臂205可聯(lián)接到鉸鏈250，并且(例如)通過(guò)電機(jī)、彈簧、活塞、圓筒和桿系統(tǒng)等受到致動(dòng)或以其他方式被朝向襯底200偏置。在一個(gè)實(shí)施方案中，可移動(dòng)構(gòu)件可聯(lián)接到彈簧偏置的鉸鏈。向下力F可幫助校平襯底200并且/或者將襯底200固定到臺(tái)105。在一個(gè)實(shí)施方案中，由可移動(dòng)構(gòu)件110中的每個(gè)施加的向下力可具有相同的值，但(例如)基于襯底材料、器件布局或具體應(yīng)用，每個(gè)可移動(dòng)構(gòu)件所施加的向下力可以是不同的或變化的。

再次參見(jiàn)圖1，可移動(dòng)構(gòu)件110可設(shè)置在臺(tái)105的多個(gè)側(cè)面上。例如，可移動(dòng)構(gòu)件110中的一個(gè)或多個(gè)可沿臺(tái)的第一側(cè)面125設(shè)置，而其余的可移動(dòng)構(gòu)件110可沿臺(tái)105的相對(duì)的第二側(cè)面130設(shè)置。在一個(gè)示例性實(shí)施方案中，可移動(dòng)構(gòu)件中的三個(gè)110a、110b、110c可設(shè)置在臺(tái)105的第一側(cè)面125上，而其余的可移動(dòng)構(gòu)件110d可設(shè)置在平臺(tái)105的第二側(cè)面130上。

現(xiàn)在參見(jiàn)圖1和圖3，在示例性實(shí)施方案中，多個(gè)可移動(dòng)構(gòu)件110(圖1)可被構(gòu)造成接觸臺(tái)105的多個(gè)區(qū)域或臺(tái)105上的物體，例如襯底200。可移動(dòng)構(gòu)件110(圖1)可包括不同長(zhǎng)度的可延伸臂205，使得可移動(dòng)構(gòu)件110中的至少一個(gè)可接觸襯底200的第一表面區(qū)域300，并且另一個(gè)可移動(dòng)構(gòu)件110(圖1)可接觸第二表面區(qū)域310。例如，第一表面區(qū)域300可包括沿襯底200的朝上表面245的中心線305設(shè)置的區(qū)域。另外，第二表面區(qū)域310可包括在襯底200的朝上表面245上沿至少一個(gè)邊緣部分315設(shè)置的區(qū)域?？蓪?shí)施任何數(shù)量的接觸構(gòu)造，以提供適于具體應(yīng)用或襯底布局的所需接觸位置。

現(xiàn)在參見(jiàn)圖4A-圖4C，在本實(shí)用新型技術(shù)的示例性實(shí)施方案中，可移動(dòng)構(gòu)件110可在第一位置225和第二位置230之間旋轉(zhuǎn)。在該示例性實(shí)施方案中，可移動(dòng)構(gòu)件110可電連接到計(jì)時(shí)單元(未示出)，例如，控制器或處理器，其按照任何合適的間隔、預(yù)定時(shí)間、順序等旋轉(zhuǎn)可移動(dòng)構(gòu)件110。例如，第一可移動(dòng)構(gòu)件110a可在第一預(yù)定時(shí)間從第一位置225旋轉(zhuǎn)到第二位置230，并且第二可移動(dòng)構(gòu)件110b可在第二預(yù)定時(shí)間從第一位置225旋轉(zhuǎn)到第二位置230。

可移動(dòng)構(gòu)件110開(kāi)始可處于第一位置225上，以允許將襯底200放置到臺(tái)105上。一旦將襯底200放置在臺(tái)105上，可移動(dòng)構(gòu)件110中的至少一個(gè)即可從第一位置225旋轉(zhuǎn)到第二位置230，從而接觸襯底200并向其施加向下力F。另一個(gè)可移動(dòng)構(gòu)件110也可從第一位置225旋轉(zhuǎn)到第二位置230。例如，第一可移動(dòng)構(gòu)件110a和第三可移動(dòng)構(gòu)件110c可在第一預(yù)定時(shí)間共同從第一位置225旋轉(zhuǎn)到第二位置230，并且第二可移動(dòng)構(gòu)件110b和第四可移動(dòng)構(gòu)件110d可在第二預(yù)定時(shí)間共同從第一位置225旋轉(zhuǎn)到第二位置230。

其中可移動(dòng)構(gòu)件110旋轉(zhuǎn)的順序可根據(jù)任何合適的標(biāo)準(zhǔn)確定，例如，襯底材料、接合的類型、襯底布局、具體應(yīng)用等?？蛇x擇上文描述的旋轉(zhuǎn)順序(其中第一可移動(dòng)構(gòu)件110a和第三可移動(dòng)構(gòu)件110c在第一預(yù)定時(shí)間接觸襯底，并且其中第二可移動(dòng)構(gòu)件110b和第四可移動(dòng)構(gòu)件110d在第二預(yù)定時(shí)間接觸)在操作期間減少襯底200的翹曲和襯底200與臺(tái)105之間的氣隙405，而不破壞襯底200。在各種實(shí)施方案中，可通過(guò)利用多個(gè)可移動(dòng)構(gòu)件110校平襯底200，使其與臺(tái)105的接納表面400齊平，如上文所述。

現(xiàn)在參見(jiàn)圖5A-圖5J、圖6、圖8和圖9，可移動(dòng)構(gòu)件110可布置為使得可移動(dòng)構(gòu)件110在引線接合工藝期間不干擾引線接合機(jī)625。在示例性實(shí)施方案中，引線接合機(jī)625可在器件區(qū)域530內(nèi)旋轉(zhuǎn)，例如如圖8A-圖8B所示，也可沿兩個(gè)方向移動(dòng)，諸如X方向和Y方向。在各種示例性實(shí)施方案中，可移動(dòng)構(gòu)件110中的至少兩個(gè)可在第一表面區(qū)域300內(nèi)接觸，該第一表面區(qū)域充分靠近相鄰的器件區(qū)域530，例如如圖8A和圖5A-圖5J所示。該布置可允許引線接合機(jī)625在器件區(qū)域530內(nèi)自由移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)，而不受可移動(dòng)構(gòu)件110的干擾。

相反，可移動(dòng)構(gòu)件110的替代布置可能干擾引線接合機(jī)625，從而導(dǎo)致器件區(qū)域530減小，例如圖8B和圖9示出的布置，其中器件區(qū)域530可具有小于圖5A-圖5J示出的器件區(qū)域530的長(zhǎng)度L的長(zhǎng)度L’。

在各種實(shí)施方案中，根據(jù)本實(shí)用新型的各種方面的方法和設(shè)備可校平襯底200，使其與接納表面400齊平(圖4B-圖4C)，這允許超聲波被聚焦到引線焊接工具600的尖端610處，傾向于提高引線焊接工具600和引線615之間的摩擦力，并且可改善與焊盤(pán)705的接合。設(shè)備100也可用于裸片接合工藝，例如，倒裝片接合，以提供平坦并且更穩(wěn)定的襯底，如上文所述。

在操作中，現(xiàn)在參見(jiàn)圖5A-圖5J，設(shè)備100可提供臺(tái)105和處于第一位置225的可移動(dòng)構(gòu)件110。襯底200可被轉(zhuǎn)移到臺(tái)105上(S501)，并且可移動(dòng)構(gòu)件110中的至少兩個(gè)，例如，第一可移動(dòng)構(gòu)件110a和第三可移動(dòng)構(gòu)件110c可旋轉(zhuǎn)到第二位置230，并且接觸至少包括襯底200的中心線305的第一表面區(qū)域300(S502)。其余的可移動(dòng)構(gòu)件110，例如，第二可移動(dòng)構(gòu)件110b和第四可移動(dòng)構(gòu)件110d可旋轉(zhuǎn)到第二位置230。在本實(shí)用新型實(shí)施方案中，其余的可移動(dòng)構(gòu)件110接觸至少包括充分靠近襯底200的邊緣部分315的區(qū)域的第二表面區(qū)域310(S503)。

所述設(shè)備和方法可在預(yù)定器件區(qū)域530(例如1A和1B)內(nèi)執(zhí)行引線接合(S504)，其中該器件區(qū)域530可具有長(zhǎng)度L和寬度W。在預(yù)定器件區(qū)域530的引線接合完成后，可移動(dòng)構(gòu)件110可共同回到第一位置225(S505)。可沿襯底200的長(zhǎng)向?qū)σr底200重新安放，使得設(shè)備100可在另一個(gè)器件區(qū)域530(例如2A和2B)上執(zhí)行引線接合(S506)。另外，可移動(dòng)構(gòu)件110以上述方式定時(shí)旋轉(zhuǎn)到第二位置225，并且進(jìn)行引線接合(S507-S510)?？衫^續(xù)步驟S501至S506，直到所有器件區(qū)域530均接受了引線接合為止(S510)。

在一個(gè)實(shí)施方案中，用于固定襯底的設(shè)備可包括被構(gòu)造成支撐襯底的主平臺(tái)、置于主平臺(tái)之上并且可在第一位置和第二位置之間旋轉(zhuǎn)的多個(gè)可移動(dòng)構(gòu)件。每個(gè)可移動(dòng)構(gòu)件在旋轉(zhuǎn)到第一位置時(shí)可允許襯底被置于主平臺(tái)上，并且每個(gè)可移動(dòng)構(gòu)件在旋轉(zhuǎn)到第二位置時(shí)可將力施加于襯底的朝上表面上的預(yù)定區(qū)域。來(lái)自所述多個(gè)可移動(dòng)構(gòu)件的第一可移動(dòng)構(gòu)件在旋轉(zhuǎn)到第二位置時(shí)可將第一力施加于襯底的朝上表面的第一表面區(qū)域，并且來(lái)自所述多個(gè)可移動(dòng)構(gòu)件的第二可移動(dòng)構(gòu)件在旋轉(zhuǎn)到第二位置時(shí)可將第二力施加于襯底的朝上表面的第二表面區(qū)域。襯底的第一表面區(qū)域可包括基充分靠近并且包括襯底中心線的區(qū)域，并且襯底的第二表面區(qū)域可包括沿襯底的邊緣部分的區(qū)域。來(lái)自所述多個(gè)可移動(dòng)構(gòu)件的第一可移動(dòng)構(gòu)件可在第一預(yù)定時(shí)間固定襯底，并且來(lái)自所述多個(gè)可移動(dòng)構(gòu)件的第二可移動(dòng)構(gòu)件可在第二預(yù)定時(shí)間固定襯底。主平臺(tái)可包括沿主平臺(tái)設(shè)置的多個(gè)開(kāi)口，以及與所述開(kāi)口連通的真空源。所述開(kāi)口可以行模式布置。所述多個(gè)可移動(dòng)構(gòu)件中的至少兩個(gè)可基本上彼此偏心布置。每個(gè)可移動(dòng)構(gòu)件可聯(lián)接到彈簧偏置的鉸鏈。

在替代實(shí)施方案中，用于減少襯底中的翹曲的設(shè)備可包括被構(gòu)造成支撐襯底并且包括多個(gè)開(kāi)口的臺(tái)；被構(gòu)造成允許通過(guò)所述多個(gè)開(kāi)口將真空壓力施加于襯底的朝下表面的真空源；平行于所述臺(tái)的第一側(cè)面延伸的第一軸；置于所述臺(tái)之上、可樞轉(zhuǎn)地聯(lián)接到第一軸并且可在第一位置和第二位置之間旋轉(zhuǎn)的第一旋轉(zhuǎn)構(gòu)件；平行于所述臺(tái)的第二側(cè)面延伸的第二軸；置于所述臺(tái)之上、可樞轉(zhuǎn)地聯(lián)接到第二軸并且可在第一位置和第二位置之間旋轉(zhuǎn)的第二旋轉(zhuǎn)構(gòu)件；并且其中第一旋轉(zhuǎn)構(gòu)件在第一預(yù)定時(shí)間將第一彈簧力施加于襯底的第一朝上表面區(qū)域，并且第二旋轉(zhuǎn)構(gòu)件在第二預(yù)定時(shí)間將第二彈簧力施加于襯底的第二朝上表面區(qū)域。第二表面區(qū)域可包括充分靠近襯底的邊緣部分的區(qū)域，并且第一表面區(qū)域可包括充分靠近并且包括襯底中心線的區(qū)域。

在上述描述中，已結(jié)合具體示例性實(shí)施方案描述了所述技術(shù)。所示和所述特定具體實(shí)施方式用于展示所述技術(shù)及其最佳模式，而不旨在以任何方式另外限制本實(shí)用新型技術(shù)的范圍。實(shí)際上，為簡(jiǎn)潔起見(jiàn)，方法和系統(tǒng)的常規(guī)制造、連接、制備和其他功能方面未詳細(xì)描述。此外，多張圖中示出的連接線旨在表示各種元件之間的示例性功能關(guān)系和/或步驟。多個(gè)替代的或另外的功能關(guān)系或物理連接可存在于實(shí)際系統(tǒng)中。

已結(jié)合具體示例性實(shí)施方案描述了所述技術(shù)。然而，可在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)的范圍的情況下作出各種修改和變化。以示例性而非限制性方式考慮說(shuō)明和附圖，并且所有此類修改旨在包括在本實(shí)用新型技術(shù)的范圍內(nèi)。因此，應(yīng)通過(guò)所述的一般實(shí)施例及其法定等價(jià)形式，而不是僅通過(guò)上述具體例子確定所述技術(shù)的范圍。例如，除非另外明確說(shuō)明，否則可以任何順序執(zhí)行任何方法或工藝實(shí)施例中列舉的步驟，并且不限于具體例子中提供的明確順序。另外，任何設(shè)備實(shí)施例中列舉的組件和/或元件可以多種排列組裝或者進(jìn)行操作配置，以產(chǎn)生與本實(shí)用新型技術(shù)基本上相同的結(jié)果，因此不限于具體例子中闡述的具體配置。

上文已經(jīng)針對(duì)具體實(shí)施例描述了有益效果、其他優(yōu)點(diǎn)和問(wèn)題解決方案。然而，任何有益效果、優(yōu)點(diǎn)、問(wèn)題解決方案或者可使任何具體有益效果、優(yōu)點(diǎn)或解決方案出現(xiàn)或變得更明顯的任何要素都不應(yīng)被解釋為關(guān)鍵、所需或必要特征或組成部分。

術(shù)語(yǔ)“包含”、“包括”或其任何變型形式旨在提及非排他性的包括，使得包括一系列要素的工藝、方法、制品、組合物或設(shè)備不僅僅包括這些列舉的要素，而且還可包括未明確列出的或此類工藝、方法、制品、組合物或設(shè)備固有的其他要素。除了未具體引用的那些，本實(shí)用新型技術(shù)的實(shí)施所用的上述結(jié)構(gòu)、布置、應(yīng)用、比例、元件、材料或組件的其他組合和/或修改可在不脫離其一般原理的情況下變化或以其他方式特別適于具體環(huán)境、制造說(shuō)明、設(shè)計(jì)參數(shù)或其他操作要求。

上文已結(jié)合示例性實(shí)施例描述了本實(shí)用新型技術(shù)。然而，可在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)的范圍的情況下對(duì)示例性實(shí)施例作出變化和修改。這些和其他變化或修改旨在包括在本實(shí)用新型技術(shù)的范圍內(nèi)，如以下權(quán)利要求所述。