技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型提供了一種集成冷卻裝置的高亮度紫外光源，包括冷卻裝置、等離子保持器、射頻電場(chǎng)聚焦器、密封固定裝置。本實(shí)用新型裝置利用射頻聚焦等離子共振技術(shù)在局部空間形成高密度的射頻電場(chǎng)(電場(chǎng)強(qiáng)度可以達(dá)到107V/m)，可以直接電離激發(fā)等離子，不需要傳統(tǒng)的點(diǎn)火裝置，簡化了系統(tǒng)，提高了實(shí)用和穩(wěn)定性；通過對(duì)射頻電場(chǎng)聚焦器、等離子保持器尺寸參數(shù)、進(jìn)氣參數(shù)進(jìn)行合理配置，可以實(shí)現(xiàn)1018photons/(Sr*S)以上級(jí)別的紫外光發(fā)光強(qiáng)度；本實(shí)用新型裝置不受傳統(tǒng)的工作氣體限制，可以使用多種不同的工作氣體，發(fā)出的紫外光能量可以覆蓋4～50eV；另外本實(shí)用新型的裝置可有10000小時(shí)以上的超長使用壽命。

技術(shù)研發(fā)人員：謝英英;劉銳;何梁;趙嘉峰
受保護(hù)的技術(shù)使用者：費(fèi)勉儀器科技（上海）有限公司
文檔號(hào)碼：201621017547
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.31
技術(shù)公布日：2017.06.06