本實用新型屬于激光器技術(shù)領域，尤其是涉及一種紫外脈沖激光器。

背景技術(shù)：

紫外激光器的產(chǎn)生源于光電子技術(shù)的產(chǎn)生以及發(fā)展。首先從其原理來說，紫外光波之所以優(yōu)于紅外光波以及可見光波主要是由于：紫外激光可以直接破壞連接物質(zhì)原子組分的化學鍵加工物質(zhì)而不會破壞周圍環(huán)境。紫外激光器的輸出波長短，能量集中，分辨率高，聚焦點可小到幾個微米數(shù)量級。因此，紫外激光器在精密材料微加工、紫外固化、光刻等領域有廣泛的應用前景。半導體二極管泵浦紫外激光器具有光束質(zhì)量好、功率穩(wěn)定性好、可靠性高、使用方便、體積小等諸多優(yōu)點。近年來利用非線性頻率變換技術(shù)獲得大功率紫外激光輸出的研究已經(jīng)成為激光技術(shù)領域的一個研究熱點。目前，全球?qū)θ虘B(tài)紫外激光器的需求日益增加，應用領域也在不斷擴大。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型目的是：提供一種不僅結(jié)構(gòu)簡單、使用方便，而且便于進行模式選擇，獲得高的光束質(zhì)量，減少諧振腔的損耗，增大激光功率輸出的紫外激光器。

本實用新型的技術(shù)方案是：一種紫外脈沖激光器，包括光路一，光路二以及回旋光路；所述光路一上順序連接有泵浦源一、光纖耦合筒一、前端鏡鏡片一、Nd:YVO4晶體、前端鏡鏡片二、反射鏡片一、倍頻晶體、反射鏡片二；所述光路二上順序連接有泵浦源二、光纖耦合筒二、前端鏡鏡片二、Nd:YVO4晶體、前端鏡鏡片一、Q開關(guān)、反射鏡片三；所述回旋光路包括反射鏡片二、倍頻晶體、反射鏡片一、前端鏡鏡片二、Nd:YVO4晶體、前端鏡鏡片一、Q開關(guān)、反射鏡片三，且所述前端鏡鏡片一和所述前端鏡鏡片二采用非球面設計。

作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述泵浦源一和所述光纖耦合筒一，以及所述泵浦源二和所述光纖耦合筒二均通過光線連接。

作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述泵浦源一和所述泵浦源二均輸出波長為808nm的連續(xù)激光。

作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述Nd:YVO4晶體其中一面鍍有透射率為1064nm或808nm的膜，另一邊鍍有透射率為808nm的膜。

作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述Nd:YVO4晶體設置于晶體座上。

本實用新型的優(yōu)點是：

1．本實用新型前端鏡鏡片采用非球面設計，便于進行模式選擇，在回旋光路激光激勵過程中將激光光斑保持在基膜狀態(tài)，提高光束質(zhì)量，提高輸出激光的脈沖峰值功率，獲得了光束質(zhì)量為M2<1.2，紫外功率為15瓦的脈沖激光。

附圖說明

下面結(jié)合附圖及實施例對本實用新型作進一步描述：

圖1為本實用新型的光路示意圖；

其中：1泵浦源一，2光纖耦合筒一，3前端鏡鏡片一，4Nd:YVO4晶體，5前端鏡鏡片二，6反射鏡片一，7倍頻晶體，8反射鏡片二，9泵浦源二，10光纖耦合筒二，11 Q開關(guān)，12反射鏡片三，13光線。

具體實施方式

實施例：參照圖1所示，一種紫外脈沖激光器，包括光路一，光路二以及回旋光路；光路一上順序連接有泵浦源一1、光纖耦合筒一2、前端鏡鏡片一3、Nd:YVO4晶體4、前端鏡鏡片二5、反射鏡片一6、倍頻晶體7、反射鏡片二8；光路二上順序連接有泵浦源二9、光纖耦合筒二10、前端鏡鏡片二5、Nd:YVO4晶體4、前端鏡鏡片一3、Q開關(guān)11、反射鏡片三12；回旋光路包括反射鏡片二8、倍頻晶體7、反射鏡片一6、前端鏡鏡片二5、Nd:YVO4晶體4、前端鏡鏡片一3、Q開關(guān)11、反射鏡片三12，且前端鏡鏡片一和前端鏡鏡片二采用非球面設計，便于進行模式選擇，在回旋光路激光激勵過程中將激光光斑保持在基膜狀態(tài)，提高光束質(zhì)量，提高輸出激光的脈沖峰值功率，獲得了光束質(zhì)量為M2<1.2，紫外功率為15瓦的脈沖激光。

本實用新型的泵浦源一1和光纖耦合筒一2，以及泵浦源二9和光纖耦合筒二10均通過光線13連接，泵浦源一1和泵浦源二9均輸出波長為808nm的連續(xù)激光，其最大輸出功率為100W。

本實用新型的Nd:YVO4晶體4其中一面鍍有透射率為1064nm或808nm的膜，另一邊鍍有透射率為808nm的膜，且Nd:YVO4晶體4設置于晶體座上。

上述實施例只為說明本實用新型的技術(shù)構(gòu)思及特點，其目的在于讓熟悉此項技術(shù)的人士能夠了解本實用新型的內(nèi)容并據(jù)以實施，并不能以此限制本實用新型的保護范圍。凡根據(jù)本實用新型精神實質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。