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一種半導(dǎo)體激光器熱沉固定裝置的制作方法

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一種半導(dǎo)體激光器熱沉固定裝置的制造方法

本實(shí)用新型涉及一種用于固定半導(dǎo)體激光器熱沉的裝置,屬于激光器固定技術(shù)領(lǐng)域。



背景技術(shù):

目前在半導(dǎo)體激光器封裝行業(yè),半導(dǎo)體激光器熱沉的固定為兩端壓片法,如結(jié)構(gòu)圖1所示,通過(guò)前端壓片2和后端壓片3直接將半導(dǎo)體激光器熱沉壓在底座1上。這種兩端壓片方式的弊端為當(dāng)熱沉兩端都被壓緊時(shí),熱沉的中間部分容易凸起,影響熱沉整體平整度,不方便進(jìn)一步的操作,而且沒(méi)有限位措施,使其位置定位不準(zhǔn)確。并且只能安裝一個(gè)熱沉。

中國(guó)專利文獻(xiàn)CN102263354B公開了一種同軸激光器耦合封裝器件夾具,采用錐面定位,易于自動(dòng)定心,并且保證夾持器件的垂直度,提高激光器耦合焊接時(shí)的對(duì)準(zhǔn)精度。通過(guò)旋轉(zhuǎn)外部螺紋桿,可對(duì)器件進(jìn)行夾緊動(dòng)作。裝置底部自帶接線柱,可對(duì)其所夾持器件自行接通電源,其接線柱為高度可調(diào),易于導(dǎo)通。

CN102169698A公開的一種激光器安裝裝置和使用該激光器安裝裝置的光拾取裝置,由LD封裝件和用于容納該LD封裝件的LD保持件構(gòu)成,使與LD封裝件的側(cè)面抵接的LD保持件的第一內(nèi)壁為傾斜面。由此,即使從容納于LD保持件中的發(fā)光芯片射出的激光偏離光軸,通過(guò)用作為傾斜面的第一內(nèi)壁校正LD封裝件的朝向,從而能夠向光軸側(cè)校正激光的行進(jìn)方向。

CN102290704A公開的一種半導(dǎo)體激光器TO封裝結(jié)構(gòu)及方法,該封裝結(jié)構(gòu)包括半導(dǎo)體激光器芯片,該芯片的至少一側(cè)面經(jīng)至少一過(guò)渡熱沉與至少一熱沉固定連接,且該芯片、過(guò)渡熱沉和熱沉均固定在管座上,并被封裝于由該管座和一封帽圍合形成的封閉腔體中。該方法為:在半導(dǎo)體激光器芯片的至少一側(cè)面上固定連接至少一過(guò)渡熱沉,而后將每一過(guò)渡熱沉分別與一熱沉固定連接,其后將該芯片、過(guò)渡熱沉及熱沉均固定在管座上,并在保護(hù)氣氛中封蓋,形成半導(dǎo)體激光器封裝結(jié)構(gòu)。采用雙熱沉結(jié)構(gòu),可有效增強(qiáng)TO封裝的半導(dǎo)體激光器的散熱能力,大幅地降低激光器有源區(qū)的節(jié)溫,減小激光器的熱阻,延長(zhǎng)半導(dǎo)體激光器的壽命。但加工工藝復(fù)雜,設(shè)備投資高。

上述各種半導(dǎo)體激光器封裝技術(shù),雖然各有優(yōu)點(diǎn),但是定位效果有待提高,放置數(shù)量較少。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本實(shí)用新型針對(duì)現(xiàn)有半導(dǎo)體激光器TO封裝技術(shù)存在的不足,提供一種定位效果更好,放置數(shù)量更多的半導(dǎo)體激光器熱沉固定裝置,使其具有導(dǎo)位定向以及平穩(wěn)放置,以提高生產(chǎn)效率以及實(shí)際產(chǎn)量,提高固晶時(shí)的合格率。

本實(shí)用新型的半導(dǎo)體激光器熱沉固定裝置,采用以下技術(shù)方案:

該熱沉固定裝置,包括底板,底板上設(shè)置有至少一個(gè)固定單元,固定單元包括真空吸附孔、用于熱沉定位的定位銷和用于壓緊熱沉的壓片,真空吸附孔分布于底板上放置熱沉的區(qū)域,定位銷設(shè)置于底板上放置熱沉的區(qū)域四周,壓片通過(guò)螺釘連接在底板上。

所述定位銷高度為0.5mm-2mm。

所述定位銷至少設(shè)置于底板上放置熱沉區(qū)域的四周兩側(cè)。

將熱沉置于在底板上,通過(guò)定位銷定位后,通過(guò)真空吸附孔對(duì)熱沉底面抽真空,使熱沉底面平整地貼合在底板上,然后通過(guò)壓片將熱沉壓緊固定。

本實(shí)用新型固定熱沉?xí)r,先通過(guò)真空吸附使其貼合在底板上,能夠保證熱沉各點(diǎn)固定后平整,位置定位及穩(wěn)固性好,不易偏移,使得在生產(chǎn)加工過(guò)程中大大降低了故障發(fā)生率,在固晶過(guò)程中大幅度提高了生產(chǎn)效率,保證了產(chǎn)品的一致性。

附圖說(shuō)明

圖1是現(xiàn)有半導(dǎo)體激光器熱沉固定示意圖。

圖2是本實(shí)用新型半導(dǎo)體激光器熱沉固定裝置的結(jié)構(gòu)示意圖

圖中,1、底座,2、前端壓片,3、后端壓片,4、真空吸附孔,5、底板,6、定位銷,7、壓片,8、螺釘。

具體實(shí)施方式

本實(shí)用新型的半導(dǎo)體激光器熱沉固定裝置,如圖2所示,包括底板5,底板5上分布有多個(gè)固定單元(圖2中設(shè)置有兩個(gè)),每個(gè)固定單元固定一個(gè)半導(dǎo)體激光器熱沉。每個(gè)固定單元包括真空吸附孔4、定位銷6和壓片7,真空吸附孔4和定位銷6設(shè)置于底板5上。真空吸附孔4分布于底板5上放置熱沉的區(qū)域。定位銷6用于使熱沉在底板1上定位,至少在底板1上放置熱沉區(qū)域的兩側(cè)設(shè)置定位銷6。壓片7通過(guò)螺釘8連接在底板1上,每一個(gè)固定單元可設(shè)置兩個(gè)壓片7。

真空吸附孔4的位置及尺寸可根據(jù)不同熱沉的需要進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整,以保證其在夾緊過(guò)程中的配合。

熱沉在底板5上定位后,通過(guò)真空吸附孔4對(duì)熱沉底面抽真空,使熱沉底面平整地貼合在底板5上。然后通過(guò)螺釘8穿過(guò)壓片7擰在底板5上的螺紋孔中,將熱沉固定住。

上述裝置具有以下特點(diǎn):

1.使熱沉定向到位,能夠使熱沉快速精準(zhǔn)的放置,啟動(dòng)真空提高其定位精度,調(diào)高生產(chǎn)效率以及損耗率。

2.在不增加設(shè)備投資、不增加工藝技術(shù)難度的前提下,短時(shí)間高產(chǎn)出、高合格率、低成本,有利于大批量生產(chǎn)應(yīng)用。

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