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一種硅基短/中波疊層雙色碲鎘汞材料的制作方法

文檔序號(hào):11593264閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種硅基短/中波疊層雙色碲鎘汞材料,其特征在于,包括:硅基復(fù)合襯底,以及在所述硅基復(fù)合襯底上由下到上依次排列的碲鎘汞短波吸收層、碲鎘汞阻擋層和碲鎘汞中波吸收層;

所述碲鎘汞短波吸收層為Hg1-xCdxTe,其中x=0.4;

所述碲鎘汞阻擋層為Hg1-xCdxTe,其中x=0.5;

所述碲鎘汞中波吸收層為Hg1-xCdxTe,其中x=0.3。

2.如權(quán)利要求1所述的硅基短/中波疊層雙色碲鎘汞材料,其特征在于,所述硅基復(fù)合襯底由下到上依次包括:硅襯底、在所述硅襯底上依次排列的砷鈍化層、碲化鋅緩沖層、以及碲化鎘緩沖層。

3.如權(quán)利要求1或2所述的硅基短/中波疊層雙色碲鎘汞材料,其特征在于,

所述碲鎘汞短波吸收層的厚度為5~6μm;

所述碲鎘汞阻擋層的厚度為1.0~1.2μm;

所述碲鎘汞中波吸收層的厚度為4.5~4.8μm。

4.如權(quán)利要求3所述的硅基短/中波疊層雙色碲鎘汞材料,其特征在于,

所述碲鎘汞短波吸收層的厚度為5μm;

所述碲鎘汞阻擋層的厚度為1.2μm;

所述碲鎘汞中波吸收層的厚度為4.5μm。

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