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一種新型芯片吸嘴的制作方法

文檔序號(hào):12736382閱讀:324來(lái)源:國(guó)知局
一種新型芯片吸嘴的制作方法與工藝

本實(shí)用新型涉及芯片測(cè)試領(lǐng)域,特別是涉及一種新型芯片吸嘴。



背景技術(shù):

目前,在芯片設(shè)計(jì)制造后需要進(jìn)行測(cè)試工作,例如需要掃描管腳數(shù)目和每個(gè)管腳端的內(nèi)存數(shù)量等,測(cè)試時(shí)需要將把待測(cè)芯片吸附到探針臺(tái)上再使用探針卡進(jìn)行測(cè)試,找出待測(cè)芯片上的壞點(diǎn)。但是現(xiàn)在的電子產(chǎn)品大都趨向小型化,集成化,這致使半導(dǎo)體芯片也在向小型化發(fā)展,在測(cè)試小尺寸芯片時(shí),因芯片過(guò)小造成吸附裝置對(duì)芯片吸力不足和真空孔易堵塞的問(wèn)題。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本實(shí)用新型的目的在于避免現(xiàn)有技術(shù)中的不足之處而提供一種新型芯片吸附裝置,能解決吸附裝置的吸嘴堵塞和吸力不足的問(wèn)題,提高吸附裝置的穩(wěn)定性,提升工作效率。

本實(shí)用新型的目的通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):一種新型芯片吸嘴,包括定位頭,吸嘴本體和吸附通道,所述吸嘴本體一個(gè)端面上設(shè)有吸附頭,所述定位頭固定于吸嘴本體的另一個(gè)端面,吸附通道貫穿所述吸嘴本體和定位頭,其特征在于:所述吸附頭設(shè)有多個(gè)真空孔,所述各個(gè)真空孔分別與所述吸附通道相連通。

其中,吸嘴本體上還設(shè)有定位軸肩,定位軸肩安裝于所述吸嘴本體,并設(shè)有位于其圓周上的止轉(zhuǎn)平面,在所述止轉(zhuǎn)平面的相對(duì)位置處設(shè)有定位槽。

其中,定位槽的寬度為2.04mm。

優(yōu)選的,吸附頭的端面為邊長(zhǎng)4.9mm的正方形。

其中,所述真空孔數(shù)量為五個(gè)。

其中,五個(gè)真空孔分為中心孔和對(duì)稱分布于其周圍的四個(gè)真空孔。

其中,中心孔的半徑為1.5mm。

其中,其他四個(gè)真空孔的半徑0.5mm。

其中,真空孔的深度為2mm。

其中,止轉(zhuǎn)平面距所述中心孔軸線的距離為7mm。

本實(shí)用新型的有益效果:

本實(shí)用新型的一種新型芯片吸嘴,包括定位頭,吸嘴本體和吸附通道,所述吸嘴本體一個(gè)端面上設(shè)有吸附頭,所述定位頭固定于吸嘴本體的另一個(gè)端面,吸附通道貫穿所述吸嘴本體和定位頭,所述吸附頭設(shè)有多個(gè)真空孔,所述多個(gè)真空孔分別與所述吸附通道相連通,吸附頭上設(shè)有多個(gè)真空孔,且呈對(duì)稱分布于吸附頭的端面之上,真空孔連通貫穿定位頭和吸嘴本體的吸附通道,吸真空裝置通過(guò)吸附通道和真空孔將待測(cè)芯片吸附到吸附頭上,通過(guò)增大吸嘴的真空孔與待測(cè)芯片的接觸面積,在吸真空裝置產(chǎn)生真空壓強(qiáng)不變的情況下,增大芯片受力面積從而提高芯片吸力,同時(shí)設(shè)有多個(gè)真空孔也減少真空孔被堵塞而使吸嘴完全無(wú)法工作的情況,提高了吸嘴工作的穩(wěn)定性。

附圖說(shuō)明

利用附圖對(duì)實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明,但附圖中的實(shí)施例不構(gòu)成對(duì)實(shí)用新型的任何限制,對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)以下附圖獲得其它的附圖。

圖1是本實(shí)用新型的一種新型芯片吸嘴的整體示意圖。

圖2是本實(shí)用新型的一種新型芯片吸嘴的剖視圖。

圖3是本實(shí)用新型的一種新型芯片吸嘴的吸附頭的右視圖。

圖4是本實(shí)用新型的一種新型芯片吸嘴的軸肩的左視圖。

圖中包括有:

吸嘴本體1;

吸附頭2,中心孔21,真空孔22;

定位軸肩3,止轉(zhuǎn)平面31,定位槽32;

定位頭4;

吸附通道5。

具體實(shí)施方式

結(jié)合以下實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述。

本實(shí)施例的一種新型芯片吸嘴,包括定位頭4,吸嘴本體1和吸附通道5,所述吸嘴本體1其中一個(gè)端面上設(shè)有吸附頭2,所述定位頭4固定于吸嘴本體1的另一個(gè)端面,吸附通道5貫穿所述吸嘴本體1和定位頭4,所述吸附頭2設(shè)有多個(gè)真空孔22,所述多個(gè)真空孔22分別與所述吸附通道5相連通;與現(xiàn)有單真空孔結(jié)構(gòu)的吸嘴相比,增大吸嘴的真空孔22與待測(cè)芯片的接觸面積,在吸真空裝置產(chǎn)生真空壓強(qiáng)不變的情況下,增大芯片受力面積從而提高吸嘴對(duì)芯片的吸力,同時(shí)設(shè)有多個(gè)真空孔22也減少真空孔22和中心孔21都被堵塞而使吸嘴完全無(wú)法工作的情況,,只要有一個(gè)真空孔22或者中心孔21能沒(méi)有被堵住就任然能工作,提高了吸嘴工作的穩(wěn)定性。

吸嘴本體1上還設(shè)有定位軸肩3,定位軸肩安裝于所述吸嘴本體1,并設(shè)有位于其圓周上的止轉(zhuǎn)平面31,在與所述止轉(zhuǎn)平面31的相對(duì)的位置處設(shè)有定位槽32,止轉(zhuǎn)平面31能限制定位軸肩的轉(zhuǎn)動(dòng),定位槽32能實(shí)現(xiàn)吸嘴與其他部件的卡接。

其中,定位槽32的寬度為2.04mm,吸附頭2的端面為邊長(zhǎng)4.9mm的正方形。

其中,五個(gè)真空孔分為中心孔21和對(duì)稱分布于其周圍的四個(gè)真空孔22,中心孔的半徑為1.5mm,其他四個(gè)真空孔的半徑0.5mm,真空孔的深度為2mm,止轉(zhuǎn)平面距所述中心孔軸線的距離為7mm,這些尺寸是根據(jù)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和現(xiàn)有設(shè)備來(lái)確定的優(yōu)選方案,能節(jié)省生產(chǎn)成本和提高工作效率。

最后應(yīng)當(dāng)說(shuō)明的是,以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案,而非對(duì)本實(shí)用新型保護(hù)范圍的限制,盡管參照較佳實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作了詳細(xì)地說(shuō)明,本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解,可以對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行修改或者等同替換,而不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的實(shí)質(zhì)和范圍。

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