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倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號(hào):11051087閱讀:1003來(lái)源:國(guó)知局
倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)的制造方法與工藝

本實(shí)用新型涉及芯片封裝技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)。



背景技術(shù):

早期的倒裝封裝中,通過(guò)在芯片表面的電極焊盤(pán)上設(shè)置焊料凸點(diǎn)來(lái)引出芯片的電極,然后再將設(shè)置有焊料凸塊的芯片,倒扣至引線框架上,芯片通過(guò)焊料凸塊與引線框架之間進(jìn)行焊料互連。然而,隨著芯片封裝密度的不斷提高,傳統(tǒng)的焊料凸塊技術(shù)已經(jīng)難以滿足窄間距互連的進(jìn)一步發(fā)展需求。銅凸塊互連技術(shù),以其良好的電學(xué)性能、抗電遷移能力,成為窄間距(小于140微米)互連的關(guān)鍵技術(shù)。

圖1為現(xiàn)有的一種采用銅凸塊互連技術(shù)的倒裝封裝結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示,利用銅凸塊互連技術(shù)在芯片01的電極焊盤(pán)上設(shè)置銅凸塊02,接著在銅凸塊02的表面設(shè)置焊料03,然后芯片01的有源面朝向引線框架04,銅凸塊02通過(guò)焊料03與引線框架04電連接,最后進(jìn)行塑封料包封。由于銅凸塊02與焊料03之間的上接觸面以及焊料03與引線框架之間的下接觸面均為二維的平面,而銅凸塊的尺寸又比較小,使得上下接觸面的面積均比較小,則焊料03不能很好的鎖定在銅凸塊02與引線框架03之間,而是在高溫下可能會(huì)流走,留下空洞,造成失效。此外,上下接觸面積均為平面,在焊料03發(fā)生開(kāi)裂時(shí),無(wú)法阻擋焊料03橫向擴(kuò)展,可能使得焊料03完全斷裂而失效。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

有鑒于此,本實(shí)用新型的目的是提供一種倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu),以提高封裝的可靠性和延伸倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)的使用壽命。

一種倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,包括芯片、導(dǎo)電凸塊、焊料、引腳,

所述芯片的第一表面上具有電極金屬層,

所述導(dǎo)電凸塊具有相對(duì)的第一表面與第二表面,

所述導(dǎo)電凸塊的第一表面與所述電極金屬層電連接,所述導(dǎo)電凸塊的第二表面與通過(guò)所述焊料與所述引腳的第一表面電連接,

其中,所述導(dǎo)電凸塊與所述焊料的接觸面為第一接觸面,所述引腳與所述焊料的接觸面為第二接觸面,所述第一接觸面與所述第二接觸面中的至少一個(gè)為三維接觸面。

優(yōu)選地,所述的倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)還包括塑封體,

所述塑封體包封所述芯片、導(dǎo)電凸塊、焊料,以及囊封所述引腳,所述引腳的第二表面被所述塑封體裸露,以作為所述倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)與外部電路電連接的外部電電連接面,所述引腳的第二表面與所述引腳的第一表面相對(duì)。

優(yōu)選地,所述導(dǎo)電凸塊包括:

具有相對(duì)的第一表面與第二表面的第一導(dǎo)電子凸塊,所述第一導(dǎo)電子凸塊的第一表面作為所述導(dǎo)電凸塊的第一表面,

位于所述第一導(dǎo)電子凸塊的第二表面上并與所述第一導(dǎo)電子凸塊電連接的第二導(dǎo)電子凸塊,

所述焊料覆蓋在所述第一導(dǎo)電子凸塊的第二表面上,并包覆住所述第二導(dǎo)電子凸塊。

優(yōu)選地,所述導(dǎo)電凸塊的第二表面至少具有一個(gè)第一開(kāi)口,所述焊料覆蓋在所述導(dǎo)電凸塊的第二表面上并填充所述第一開(kāi)口。

優(yōu)選地,所述引腳包括一水平部分和位于所述水平部分上的凸起部分,所述凸起部分被所述焊料包覆。

優(yōu)選地,所述引腳的第一表面至少具有一個(gè)第二開(kāi)口,所述焊料填充所述第二開(kāi)口,并延伸至所述引腳的第一表面上。

優(yōu)選地,所述第一導(dǎo)電子凸塊與第二導(dǎo)電子凸塊一體成型。

優(yōu)選地,所述水平部分與所述凸起部分一體成型。

優(yōu)選地,所述導(dǎo)電凸塊為銅凸塊。

優(yōu)選地,所述芯片的第一表面上具有鈍化層,所述鈍化層裸露出至少部分所述電極金屬層。

由上可見(jiàn),在本實(shí)用新型提供了一種倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)中,將所述導(dǎo)電凸塊與所述焊料之間的第一接觸面和/或所述引腳與所述焊料之間的第二接觸面中的至少一個(gè)為三維接觸面,從而增加了所述焊料與所述導(dǎo)電凸塊或引腳的接觸面積,提高了封裝的可靠性,且還可進(jìn)一步阻礙所述焊料的微裂直紋的橫向擴(kuò)展,增加了微裂紋擴(kuò)展路徑的長(zhǎng)度,延長(zhǎng)了所述倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)的使用壽命,以及能有效解決焊料與框架連接處的電流擁擠效應(yīng)。

附圖說(shuō)明

通過(guò)以下參照附圖對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例的描述,本實(shí)用新型的上述以及其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)將更為清楚,在附圖中:

圖1為現(xiàn)有的一種采用銅凸塊互連技術(shù)的倒裝封裝結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為依據(jù)本實(shí)用新型的第一實(shí)施例的倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為依據(jù)本實(shí)用新型的第二實(shí)施例的倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)中的局部結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4為依據(jù)本實(shí)用新型的第三實(shí)施例的倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)中的局部結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5為依據(jù)本實(shí)用新型的第四實(shí)施例的倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)中的局部結(jié)構(gòu)示意圖。

圖6為依據(jù)本實(shí)用新型的第五實(shí)施例的倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)中的局部結(jié)構(gòu)示意圖。

圖7為依據(jù)本實(shí)用新型的第六實(shí)施例的倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)中的局部結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

以下將參照附圖更詳細(xì)地描述本實(shí)用新型在各個(gè)附圖中,相同的元件采用類(lèi)似的附圖標(biāo)記來(lái)表示。為了清楚起見(jiàn),附圖中的各個(gè)部分沒(méi)有按比例繪制。此外,可能未示出某些公知的部分。為了簡(jiǎn)明起見(jiàn),可以在一幅圖中描述經(jīng)過(guò)數(shù)個(gè)步驟后獲得的結(jié)構(gòu)。在下文中描述了本實(shí)用新型的許多特定的細(xì)節(jié),例如器件的結(jié)構(gòu)、材料、尺寸、處理工藝和技術(shù),以便更清楚地理解本實(shí)用新型。但正如本領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠理解的那樣,可以不按照這些特定的細(xì)節(jié)來(lái)實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型。

圖2為依據(jù)本實(shí)用新型的第一實(shí)施例的倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示,第一實(shí)施例的倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)包括芯片11、導(dǎo)電凸塊12、焊料13、引腳14,還進(jìn)一步包括塑封體15。芯片11的第一表面(有源面)上設(shè)置有電極金屬層111,電極金屬層111被芯片11的第一表面上的鈍化層112裸露在外,芯片11的第一表面朝向引腳14。導(dǎo)電凸塊12具有相對(duì)的第一表面與第二表面,導(dǎo)電凸塊12的第一表面與電極金屬層111電連接,導(dǎo)電凸塊12的第二表面通過(guò)焊料13與引腳14的第一表面電連接。塑封體15包封芯片11、導(dǎo)電凸塊12、焊料13,以及囊封引腳14,引腳14的第二表面被塑封體15裸露,以作為第一實(shí)施例的倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)與外部電路電連接的外部電電連接面。

其中,導(dǎo)電凸塊12與焊料13的接觸面為第一接觸面,引腳14與焊料13的接觸面為第二接觸面,所述第一接觸面與所述第二接觸面中的至少一個(gè)為三維接觸面。所謂的三維接觸面即接觸面的延伸方向包括第一方向與第二方向,所述第一方向與第二方向垂直。如x軸、y軸、z軸構(gòu)成一個(gè)三維坐標(biāo)軸,z軸垂直由x軸與y軸確定的平面,則所述第一方向?yàn)榕c由x軸與y軸確定的平面平行的方向,而第二方向?yàn)榕cz軸平行的方向。如圖2所示,在第一實(shí)施例中,導(dǎo)電凸塊12由第一導(dǎo)電子凸塊121與至少一個(gè)第二導(dǎo)電子凸塊122構(gòu)成,其中,第一導(dǎo)電子凸塊121具有相對(duì)的第一表面與第二表面,第一導(dǎo)電子凸塊121的第一表面作為導(dǎo)電凸塊12的第一表面,以與電極金屬層111電連接,第二導(dǎo)電子凸塊122位于第一導(dǎo)電子凸塊121的第二表面上,且與第一導(dǎo)電子凸塊121電連接,第二導(dǎo)電子凸塊122可以采用電鍍的方式形成于所述第一導(dǎo)電子凸塊121上,且第一導(dǎo)電子凸塊121與第二導(dǎo)電子凸塊122在第一實(shí)施例中均為銅柱,則導(dǎo)電凸塊12為銅凸塊。具體的,第二導(dǎo)電子凸塊122也具有第一表面,第二導(dǎo)電子凸塊122的第一表面與第一導(dǎo)電子凸塊121的第二表面相接觸,每一個(gè)第二導(dǎo)電子凸塊122的第一表面的面積均小于第一導(dǎo)電子凸塊121的第一面的面積,且第二導(dǎo)電子凸塊122的第一表面位于第一導(dǎo)電子凸塊121的第二表面的中間。第二導(dǎo)電子凸塊122除其第一表面外的剩余表面與第一導(dǎo)電子凸塊121的第二表面未被第二導(dǎo)電子凸塊122覆蓋住這一部分構(gòu)成導(dǎo)電凸塊12的第二表面。焊料13覆蓋在導(dǎo)電凸塊12的第二表面上,即焊料13覆蓋在第一導(dǎo)電子凸塊121第二表面上,并包覆住第二導(dǎo)電子凸塊122。從芯片11方向往引腳14方向看,第二導(dǎo)電子凸塊插入至焊料13中。導(dǎo)電凸塊12與焊料13之間的第一接觸面即導(dǎo)電凸塊的第二表面,顯然,其既包括沿與芯片11平行方向延伸的第一部分,如未被第二導(dǎo)電子凸塊122覆蓋住這一部分以及第二導(dǎo)電子凸塊122的第二表面,第二導(dǎo)電子凸塊122的第二表面與其第一表面相對(duì),此外,所述第一接觸面還包括沿垂直芯片11方向延伸的第二部分,第二導(dǎo)電子凸塊122除其第一表面與第二表面之外的剩余部分。

由上可見(jiàn),在第一實(shí)施例中,導(dǎo)電凸塊12與焊料13之間的第一接觸面為三維接觸面,從而增加了二者之間的接觸面積,且導(dǎo)電凸塊12的一部分插入焊料13中,可阻斷焊料13的微裂直紋的橫向擴(kuò)展,增加了微裂紋擴(kuò)展路徑的長(zhǎng)度,使得第一實(shí)施例所示的倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)具有較高的可靠性以及較長(zhǎng)的使用壽命,以及能有效解決焊料與框架連接處的電流擁擠效應(yīng)。圖3為依據(jù)本實(shí)用新型的第二實(shí)施例的倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)中的局部結(jié)構(gòu)示意圖。第二實(shí)施例的倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施例的倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)除導(dǎo)電凸塊12不同之外,其余均相同,因此,在圖3僅中示出了倒裝封裝結(jié)構(gòu)的金屬電極層111、導(dǎo)電凸塊12及焊料13。如圖3所示,與第一實(shí)施例相同,導(dǎo)電凸塊12在第二實(shí)施中同樣也由第一導(dǎo)電子凸塊121與第二導(dǎo)電子凸塊122構(gòu)成,不同的是,第一導(dǎo)電子凸塊121與第二導(dǎo)電子凸塊122一體成型。將導(dǎo)電凸塊原材的一端進(jìn)行半蝕刻,形成凸起結(jié)構(gòu),該凸起結(jié)構(gòu)即為第二導(dǎo)電子凸塊122,而該導(dǎo)電凸塊原材除所述凸起結(jié)構(gòu)之外的剩余部分即為第一導(dǎo)電子凸塊121。

圖4為依據(jù)本實(shí)用新型的第三實(shí)施例的倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)中的局部結(jié)構(gòu)示意圖。第三實(shí)施例的倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施例的倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)除導(dǎo)電凸塊12不同之外,其余均相同,因此,在圖4僅中示出了倒裝封裝結(jié)構(gòu)的金屬電極層111、導(dǎo)電凸塊12及焊料13。如圖4所示,在第三實(shí)施例中,導(dǎo)電凸塊12的第二表面至少具有一個(gè)第一開(kāi)口123,焊料13覆蓋在導(dǎo)電凸塊12的第二表面上并填充第一開(kāi)口123。在第三實(shí)施例中,導(dǎo)電凸塊12的第二表面包括第一開(kāi)口123的底壁、側(cè)壁以及第一開(kāi)口123周?chē)谋砻?,顯然導(dǎo)電凸塊12的第二表面為一個(gè)三維面,而導(dǎo)電凸塊12的第二表面即為導(dǎo)電凸塊12與焊料13之間的第一接觸面,因此,第一接觸面為一個(gè)三維接觸面,有效的增加了導(dǎo)電凸塊12與焊料的接觸面積,增加了倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)的可靠性。

圖5為依據(jù)本實(shí)用新型的第四實(shí)施例的倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)中的局部結(jié)構(gòu)示意圖。第四實(shí)施例的倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施例的倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)除導(dǎo)電凸塊12與引腳14不同之外,其余均相同,因此,在圖5中僅示出了倒裝封裝結(jié)構(gòu)的金屬電極層111、導(dǎo)電凸塊12、焊料13即引腳14。如圖5所示,在第四實(shí)施例中,導(dǎo)電凸塊12與焊料13之間的第一接觸面為一個(gè)二維平面,即導(dǎo)電凸塊12的第二表面為一個(gè)二維平面。引腳14包括一水平部分141和位于水平部分141上的凸起部分142,凸起部分141被焊料13包覆,凸起部分142可采用電鍍的方式形成與水平部分141上。顯然,在第四實(shí)施例中,焊料13與引腳14之間的第二接觸面包括凸起部分142的側(cè)表面、凸起部分142的第一表面、水平部分141的第一表面,其為一個(gè)三維接觸面。其中,凸起部分142的第一表面與水平部分141的第一表面相對(duì),水平部分141的第二表面與其第一表面相對(duì),且作為引腳14的第二表面。焊料13包覆凸起部分142,則從引腳14方向往電極金屬層111方向看,凸起部分142插入至焊料13中,不僅增加了引腳14與焊料的接觸面積,還可有阻礙焊料13的微裂直紋的橫向擴(kuò)展,增加了微裂紋擴(kuò)展路徑的長(zhǎng)度。

圖6為依據(jù)本實(shí)用新型的第五實(shí)施例的倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)中的局部結(jié)構(gòu)示意圖。第五實(shí)施例的倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施例的倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)除導(dǎo)引腳14不同之外,其余均相同,因此,在圖6僅中示出了倒裝封裝結(jié)構(gòu)的金屬電極層111、導(dǎo)電凸塊12及焊料13。如圖6所示,在第五實(shí)施例中,引腳14第一表面至少具有一個(gè)第二開(kāi)口143,焊料13填充第二開(kāi)口143,并延伸至引腳14的第一表面上。引腳14與焊料13之間的第二接觸面包括第二開(kāi)口143的底壁、側(cè)壁以及引腳14的第一表面的一部分,顯然所述第二接觸面為三維接觸面。因此,在第五實(shí)施例中,所述第一接觸面與第二接觸面均為三維接觸面,既可提高封裝的可靠性,又能延伸倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)的使用壽命。

圖7為依據(jù)本實(shí)用新型的第六實(shí)施例的倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)中的局部結(jié)構(gòu)示意圖。第六實(shí)施例的倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)與第四實(shí)施例的倒裝芯片封裝結(jié)構(gòu)除導(dǎo)引腳14不同之外,其余均相同,因此,在圖7僅中示出了倒裝封裝結(jié)構(gòu)的金屬電極層111、導(dǎo)電凸塊12及焊料13。如圖7所示,在第六實(shí)施例中,與第四實(shí)施例一樣,引腳14同樣包括水平部分141和凸起部分142,然而,與第四實(shí)施例不同的是,水平部分141與凸起部分142一體成型。將引腳原材的第一表面進(jìn)行半蝕刻,形成凸起部分142,而該引腳原材除凸起部分142之外的剩余部分即為水平部分141。凸起部分142插入焊料13中,不僅可增加引腳與焊料的接觸面積,還可以有效的阻礙焊料13微裂直紋的橫向擴(kuò)展,使得倒裝封裝結(jié)構(gòu)的可靠性高,使用壽命長(zhǎng)。

以上對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施例進(jìn)行了描述。但是,這些實(shí)施例僅僅是為了說(shuō)明的目的,而并非為了限制本實(shí)用新型的范圍。本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求及其等價(jià)物限定。不脫離本實(shí)用新型的范圍,本領(lǐng)域技術(shù)人員可以做出多種替代和修改,這些替代和修改都應(yīng)落在本實(shí)用新型的范圍之內(nèi)。

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