本實用新型涉及半導體集成電路制造領(lǐng)域，且特別涉及一種刻蝕機臺設(shè)備傳送隔離閥門裝置。

背景技術(shù)：

TEL tactras機臺主要應(yīng)用氧化膜刻蝕工藝，該機臺傳送模塊和各個工藝腔體都要求真空狀態(tài)，每個工藝腔體和傳送模塊都由一組傳送隔離閥門。

按照現(xiàn)有設(shè)計，對隔離閥門的保養(yǎng)方法有兩種：

1.停止所有腔體作業(yè)，排氣至大氣，結(jié)合傳送模塊做保養(yǎng)，所有腔體需要進行預防保全(不推薦)

2.每個隔離閥門結(jié)合腔體預防保全時進行保養(yǎng)(業(yè)界通用)

預防保全就是指為了保證設(shè)備能正常動作，產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定，在設(shè)備運作前期對設(shè)備進行檢查，上油，清洗，調(diào)整等操作。

其中方法2具有以下缺陷：對隔離閥門進行保養(yǎng)時，整個傳送模塊需要停機，以TEL vigus機臺(六個腔)為例，每月保養(yǎng)隔離閥門三次，每次需要整機：2小時保養(yǎng)+5小時復機+1小時測機＝8小時，影響運行時間0.5％以上。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型提出一種刻蝕機臺設(shè)備傳送隔離閥門裝置，在刻蝕機臺設(shè)備里加裝一組傳送隔離閥門，兩組傳送隔離閥門分別在腔體和傳送模塊保養(yǎng)時進行保養(yǎng)，減少整機停機時間，提升運行時間，增加工廠產(chǎn)能。

為了達到上述目的，本實用新型提出一種刻蝕機臺設(shè)備傳送隔離閥門裝置，所述刻蝕機臺設(shè)備包括相互連接的工藝腔體和傳送模塊，其特征在于，所述工藝腔體靠近連通傳送模塊側(cè)設(shè)置有第一傳送隔離閥門，所述傳送模塊靠近連通工藝腔體側(cè)設(shè)置有第二傳送隔離閥門。

進一步的，所述工藝腔體的數(shù)量為多個，分別連通于所述傳送模塊。

進一步的，所述工藝腔體的數(shù)量為6個。

進一步的，當所述工藝腔體進行預防保全時，對所述第一傳送隔離閥門進行保養(yǎng)，并將所述第二傳送隔離閥門關(guān)閉。

進一步的，所述工藝腔體每次預防保全依次停用一個，完成保養(yǎng)后再停用下一個工藝腔體，輪流完成全部工藝腔體的保養(yǎng)。

進一步的，當所述傳送模塊進行保養(yǎng)時，同時對所述第二傳送隔離閥門進行保養(yǎng)，并將所述第一傳送隔離閥門關(guān)閉。

本實用新型提出的刻蝕機臺設(shè)備傳送隔離閥門裝置，在刻蝕機臺設(shè)備里加裝一組傳送隔離閥門后，工藝腔體側(cè)傳送隔離閥門可結(jié)合工藝腔體預防保全時保養(yǎng)，不影響整機；傳送模塊側(cè)傳送隔離閥門可結(jié)合傳送模塊保養(yǎng)時進行保養(yǎng)。按照目前傳送腔體每月預防保全一次+傳送模塊每三個月保養(yǎng)一次計算，此設(shè)計可提升運行時間0.5％以上。

附圖說明

圖1所示為本實用新型較佳實施例的刻蝕機臺設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2所示為本實用新型較佳實施例的傳送隔離閥門裝置結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

以下結(jié)合附圖給出本實用新型的具體實施方式，但本實用新型不限于以下的實施方式。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比率，僅用于方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。

請參考圖1和圖2，圖1所示為本實用新型較佳實施例的刻蝕機臺設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖，圖2所示為本實用新型較佳實施例的傳送隔離閥門裝置結(jié)構(gòu)示意圖。本實用新型提出一種刻蝕機臺設(shè)備傳送隔離閥門裝置，所述刻蝕機臺設(shè)備包括相互連接的工藝腔體100和傳送模塊200，其特征在于，所述工藝腔體100靠近連通傳送模塊200側(cè)設(shè)置有第一傳送隔離閥門300，所述傳送模塊200靠近連通工藝腔體100側(cè)設(shè)置有第二傳送隔離閥門400。

根據(jù)本實用新型較佳實施例，所述工藝腔體100的數(shù)量為多個，分別連通于所述傳送模塊200。進一步的，所述工藝腔體100的數(shù)量為6個。

當所述工藝腔體100進行預防保全時，對所述第一傳送隔離閥門300進行保養(yǎng)，并將所述第二傳送隔離閥門400關(guān)閉，無需將整機停用。所述工藝腔體100每次預防保全依次停用一個，完成保養(yǎng)后再停用下一個工藝腔體100，輪流完成全部工藝腔體100的保養(yǎng)，在當前工藝腔體100進行保養(yǎng)時，其他工藝腔體100和傳送模塊200都可正常運行。

當所述傳送模塊200進行保養(yǎng)時，同時對所述第二傳送隔離閥門400進行保養(yǎng)，并將所述第一傳送隔離閥門300關(guān)閉，保證在傳送模塊200進行保養(yǎng)時，不影響各個工藝腔體100的制程作業(yè)。

綜上所述，本實用新型提出的刻蝕機臺設(shè)備傳送隔離閥門裝置，在刻蝕機臺設(shè)備里加裝一組傳送隔離閥門后，工藝腔體側(cè)傳送隔離閥門可結(jié)合工藝腔體預防保全時保養(yǎng)，不影響整機；傳送模塊側(cè)傳送隔離閥門可結(jié)合傳送模塊保養(yǎng)時進行保養(yǎng)。按照目前傳送腔體每月預防保全一次+傳送模塊每三個月保養(yǎng)一次計算，此設(shè)計可提升運行時間0.5％以上。

雖然本實用新型已以較佳實施例揭露如上，然其并非用以限定本實用新型。本實用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者，在不脫離本實用新型的精神和范圍內(nèi)，當可作各種的更動與潤飾。因此，本實用新型的保護范圍當視權(quán)利要求書所界定者為準。