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半導(dǎo)體裝置和組裝體的制作方法

文檔序號:11561899閱讀:219來源:國知局
半導(dǎo)體裝置和組裝體的制造方法

本實用新型涉及半導(dǎo)體裝置和安裝有該半導(dǎo)體裝置的組裝體,所述半導(dǎo)體裝置具有如下結(jié)構(gòu):半導(dǎo)體元件被密封于樹脂密封體中,進行半導(dǎo)體元件的散熱的散熱基板露出于樹脂密封體的下表面。



背景技術(shù):

近年,要求實現(xiàn)操作性良好、高散熱性且高可靠性的樹脂密封型功率半導(dǎo)體裝置,半導(dǎo)體裝置具有樹脂密封體,該樹脂密封體以使載置有半導(dǎo)體元件的散熱基板的下表面露出的方式進行密封。

另外,為了將半導(dǎo)體裝置固定于外部的散熱片上,在半導(dǎo)體裝置上設(shè)置有螺釘孔。通過穿過該螺釘孔擰緊螺釘,能夠使得散熱片與從半導(dǎo)體裝置的樹脂密封體露出的散熱基板的下表面緊密貼合,能夠?qū)陌雽?dǎo)體元件產(chǎn)生的熱量釋放到半導(dǎo)體裝置的外部 (參考專利文獻(xiàn)1)。

【專利文獻(xiàn)1】:日本特開2005-109100號公報

在處理大功率的半導(dǎo)體裝置中,半導(dǎo)體元件的發(fā)熱量較多,因此需要在半導(dǎo)體裝置上安裝散熱片來提高散熱能力。

然而,根據(jù)現(xiàn)有技術(shù),對半導(dǎo)體裝置和散熱片進行螺釘固定后,螺釘?shù)念^部從密封體表面突出較高,因此,如果想防止螺釘?shù)念^部與產(chǎn)品基板的接觸,就要增大密封體與產(chǎn)品基板之間的間隔。

在這種情況下,與產(chǎn)品基板連接的外部端子的長度變長、剛性下降,因此容易變形,在外部端子和產(chǎn)品基板的接合部處容易產(chǎn)生較大的形變。一般來講在接合部中使用焊料,因此有可能由于過大的形變而發(fā)生焊料的碎裂。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

因此,本實用新型是為了解決上述的課題而完成的,其目的在于提高半導(dǎo)體裝置的散熱性和可靠性。

為了解決上述課題,本實用新型成為如下所示的結(jié)構(gòu)。

應(yīng)用例1的半導(dǎo)體裝置是樹脂密封型半導(dǎo)體裝置,該半導(dǎo)體裝置具有:散熱基板,其在一個主面上載置有半導(dǎo)體元件;密封體,其以露出所述散熱基板的另一個主面的方式進行密封;以及外部端子,其從所述密封體的側(cè)面突出,朝向與所述散熱基板的露出面?zhèn)认喾磦?cè)的方向彎折并延伸,所述半導(dǎo)體裝置的特征在于,

在所述密封體的端部配置有螺釘孔,在所述密封體的與所述散熱基板的露出面?zhèn)认喾磦?cè)的表面上,在所述螺釘孔的周圍設(shè)置有用于收納并支撐螺釘頭部的凹部。

應(yīng)用例2所述的半導(dǎo)體裝置的特征在于,在應(yīng)用例1所述的半導(dǎo)體裝置中,所述外部端子配置在所述密封體的短邊方向的相對的端部,所述螺釘孔和所述凹部配置在所述密封體的長邊方向的相對的端部。

應(yīng)用例3所述的半導(dǎo)體裝置的特征在于,在應(yīng)用例1或2所述的半導(dǎo)體裝置中,俯視觀察時,所述凹部的一部分與所述散熱基板的露出面的一部分重疊。

應(yīng)用例4所述的半導(dǎo)體裝置的特征在于,在應(yīng)用例1或2所述的半導(dǎo)體裝置中,形成于所述密封體的所述凹部的深度是所述密封體整體的深度的1/4~1/2。

應(yīng)用例5的組裝體的特征在于,該組裝體具有:應(yīng)用例1~4中的任意一項所述的半導(dǎo)體裝置;散熱片;以及產(chǎn)品基板,所述半導(dǎo)體裝置被螺釘固定到所述散熱片上,由此使得所述散熱基板的露出面與所述散熱片緊密貼合,所述外部端子與所述產(chǎn)品基板連接。

本實用新型按照以上這樣構(gòu)成,因此能夠提供可以縮短外部端子的長度并提高半導(dǎo)體裝置整體的散熱性和可靠性的半導(dǎo)體裝置。

附圖說明

圖1(a)是本實用新型的實施例1的半導(dǎo)體裝置的正面?zhèn)雀┮暩拍顖D,圖1(b) 是背面?zhèn)雀┮暩拍顖D,圖1(c)是側(cè)面概念圖。

圖2(a)是本實用新型的實施例1的半導(dǎo)體裝置的正面?zhèn)雀┮暩拍顖D,圖2(b) 是在正面?zhèn)雀┮暩拍顖D即圖2(a)的A-A截面中,表示產(chǎn)品基板組裝狀態(tài)的截面概念圖。

標(biāo)號說明

1:散熱基板;2:樹脂密封體;3:外部端子;4:螺釘孔;5:凹部(锪孔);6:螺釘;7:散熱片;8:產(chǎn)品基板;100:半導(dǎo)體裝置。

具體實施方式

下面,參照附圖對用于實施本實用新型的方式詳細(xì)地進行說明。另外,在以下的附圖的記載中,對于相同或類似的部分,使用相同或類似的標(biāo)號進行表示。但是,附圖是示意性的,尺寸關(guān)系的比率等與實際不同。因此,具體的尺寸等應(yīng)該參照以下的說明進行判斷。另外,顯然附圖相互之間也包括彼此的尺寸關(guān)系或比率不同的部分。

另外,以下所示的實施方式是用于使該實用新型的技術(shù)思想具體化的例子,該實用新型的實施方式并不將構(gòu)成部件的材質(zhì)、形狀、結(jié)構(gòu)、配置等限定為下述的內(nèi)容。該實用新型的實施方式能夠在不脫離主旨的范圍內(nèi)施加各種變更來實施。

【實施例1】

下面,參照附圖對本實用新型的實施例1的半導(dǎo)體裝置100進行說明。圖1(a) 是本實用新型的實施例1的半導(dǎo)體裝置的正面?zhèn)雀┮暩拍顖D,圖1(b)是背面?zhèn)雀┮暩拍顖D,圖1(c)是側(cè)面概念圖。并且,圖2(a)是本實用新型的實施例1的半導(dǎo)體裝置的正面?zhèn)雀┮暩拍顖D,圖2(b)是產(chǎn)品基板組裝狀態(tài)時的A-A截面概念圖。

如圖1(a)、圖1(b)、圖1(c)所示,半導(dǎo)體裝置100具有半導(dǎo)體元件(未圖示)、散熱基板1、密封體2、外部端子3、以及螺釘孔4。

散熱基板1在金屬制的散熱板的上表面依次層疊有絕緣層和配線層。在一個主面上載置半導(dǎo)體元件(未圖示)。為了將從半導(dǎo)體元件產(chǎn)生的熱量高效地散熱到密封體 2的外部,希望散熱性優(yōu)異,散熱板例如使用鋁或銅的金屬。并且,散熱基板1的另一個主面露出于密封體2的下表面。

密封體2是使用樹脂成型模具和沖壓裝置,作為傳遞模塑進行樹脂成型而得到的。例如,密封體2使用熱硬化性環(huán)氧樹脂。

另外,密封體2在俯視時呈長方形,在長邊方向上相對的端部貫通地配置有螺釘孔4。

外部端子3用于進行半導(dǎo)體裝置與產(chǎn)品基板的電連接。優(yōu)選由電阻較小的金屬制成,例如使用銅或銅合金。

如圖1(a)所示,外部端子3配置在密封體2的短邊方向的相對的端部,另一方面,螺釘孔4貫通地配置在密封體2的長邊方向的相對的端部。

在密封體2上,在螺釘孔4的周圍,凹狀地形成有凹部(锪孔)5。在將半導(dǎo)體元件100組裝到產(chǎn)品基板8時,使螺釘貫通螺釘孔4,螺釘?shù)念^部進入到螺釘孔4周圍的凹部5中而得到支撐。以在將半導(dǎo)體元件100組裝到產(chǎn)品基板8時盡可能地縮小密封體2與產(chǎn)品基板8之間的間隔的方式形成凹部5的深度。另外,凹部5的深度例如優(yōu)選為密封體2整體的深度的1/4~1/2。例如,深度為1mm~2mm。

另外,如圖1(a)、圖1(b)所示,優(yōu)選的是,在俯視觀察時,密封體2的上表面的凹部5的一部分與從密封體2的下表面露出的散熱基板1的一部分重疊。例如,散熱基板1的左側(cè)邊緣比左側(cè)的凹部5的右側(cè)邊緣靠外側(cè)。由此,能夠利用散熱基板 1來提高密封體2的剛性。

圖2(a)和圖2(b)示出了將半導(dǎo)體裝置100組裝到散熱片7和產(chǎn)品基板8的狀態(tài)。通過使螺釘6穿過螺釘孔4,將密封體2和散熱片緊固在一起,能夠使散熱基板1的露出面與散熱片7緊密貼合,獲得較高的散熱性。

螺釘6由金屬制成,例如可以使用M4螺釘。并且,半導(dǎo)體裝置100的外部端子 3插入產(chǎn)品基板8,并通過接合材料(未圖示)進行電連接并被固定。

如上所述,記載了用于實施本實用新型的方式,但顯然本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠根據(jù)該公開實現(xiàn)各種代替的實施方式和實施例。

接著,對上述實施例1的半導(dǎo)體裝置的效果進行說明。

本實用新型的實施例1的半導(dǎo)體裝置在進行螺釘固定時,通過凹部(锪孔)5,減小螺釘?shù)念^部的突出,能夠縮短半導(dǎo)體裝置與產(chǎn)品基板之間的間隔。

由此,能夠縮短外部端子的長度,外部端子與產(chǎn)品基板之間的連接部的負(fù)荷降低。因此,能夠提供提高了半導(dǎo)體裝置整體的散熱性和可靠性的半導(dǎo)體裝置。

如上所述,記載了用于實施本實用新型的方式,但很顯然本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠根據(jù)上述公開實現(xiàn)各種代替的實施方式和實施例。

另外,半導(dǎo)體裝置100也可以是在同一封裝內(nèi)收納有功率半導(dǎo)體元件、控制用半導(dǎo)體元件、以及保護元件等的IPM(Intelligent Power Module:智能功率模塊)。在IPM 中,由于在電機驅(qū)動控制中有大電流流過,因此散熱對策很重要,根據(jù)本實用新型,能夠提高散熱性且獲得較高的產(chǎn)品可靠性。

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