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一種紫外可見準(zhǔn)連續(xù)光源的制作方法

文檔序號(hào):12737512閱讀:811來源:國知局

本實(shí)用新型屬于激光光源領(lǐng)域,尤其是涉及一種紫外可見準(zhǔn)連續(xù)光源。



背景技術(shù):

在現(xiàn)有的技術(shù)中,紫外及深紫外固體激光器因其輸出激光波長短、可聚焦性能好、單光子能量高、適合于無接觸冷加工及微加工等特點(diǎn),在光刻技術(shù)、微孔加工、晶片刻劃、微電子學(xué)加工、大氣探測(cè)、光化學(xué)、生物光學(xué)及醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。目前,用于對(duì)空氣和水處理的紫外光源用的是汞燈作為紫外光源,但是,汞燈包含有毒材料,傾向于具有較短工作壽命以及較長預(yù)熱時(shí)間并需要高驅(qū)動(dòng)電壓,此外,從汞燈發(fā)出的紫外光在較寬范圍的方向上并從相對(duì)較大的區(qū)域上發(fā)出,這意味著它不能被有效聚焦到小區(qū)域或聚焦成準(zhǔn)直光束,因此,需要結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、無毒性并能對(duì)細(xì)菌等造成物理傷害的紫外光源。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本實(shí)用新型要解決的問題是提供一種紫外可見準(zhǔn)連續(xù)光源,尤其適合用于對(duì)空氣或水消毒以便安全呼吸或飲用。

為解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種紫外可見準(zhǔn)連續(xù)光源,包括第一泵浦源、耦合透鏡、第二泵浦源和分束鏡,第一泵浦源包括第一平面鏡和第二平面鏡構(gòu)成的平-平腔結(jié)構(gòu),第一平面之后依次放置聲光開關(guān)Q、高功率半導(dǎo)體陣列激光器、諧波反光鏡和第一倍頻晶體,第二泵浦源包括第三平面鏡和第四平面鏡,耦合透鏡的焦點(diǎn)處設(shè)置激光晶體,第三平面鏡之后依次放置三倍頻晶體、偶合平面鏡、第二倍頻晶體。

高功率半導(dǎo)體陣列激光器的激光介質(zhì)為Nd:YAG,鍍1064nm的增透膜,由流動(dòng)的冷卻水對(duì)激光二極管陣列和激光介質(zhì)提供冷卻。

第一倍頻晶體為KTP晶體,采用II類相位匹配,鍍1064nm增透膜。

第一平面鏡鍍1064nm高反膜,聲光開關(guān)Q的調(diào)制頻率為1-50kHz,鍍1064nm增透膜,第二平面鏡鍍1064nm高反膜和532nm增透膜。

激光晶體為Nd:YVO4晶體或Dd:GdVO4晶體。

第二倍頻晶體是I類相位匹配的LBO晶體,或者是I類非臨界相位的LBO晶體,或者是I類相位匹配的CLBO晶體,三倍頻晶體是II類相位匹配的LBO晶體,或者是II類相位匹配的BBO晶體。

耦合平面鏡的法線與光軸有一定的夾角,夾角的范圍為5-35°之間。

第三平面鏡朝向所述的三倍頻晶體的一面鍍有1064nm、532nm和355nm高反膜,另一面部鍍膜,耦合平面鏡朝向三倍頻晶體的一面鍍有1064nm、532nm增透膜和355nm高反膜,另一面鍍有1064nm和532nm增透膜,第四平面鏡朝向第二倍頻晶體的一面鍍有1064nm和532nm全反膜,另一面鍍有1064nm增透膜。

本實(shí)用新型具有的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是:由于采用上述技術(shù)方案,使用更加方便,具有結(jié)構(gòu)簡單、光路穩(wěn)定、加工成本低、結(jié)構(gòu)緊湊、體積小等優(yōu)點(diǎn),能夠有效殺菌并對(duì)人體無傷害。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖

圖中:

1、平面鏡 2、聲光開關(guān)Q 3、高功率半導(dǎo)體陣列激光器

4、諧波反光鏡 5、倍頻晶體 6、平面鏡

7、耦合透鏡 8、平面鏡 9、三倍頻晶體

10、耦合平面鏡 11、倍頻晶體 12、平面鏡

13、激光晶體 14、分束鏡

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的說明。

如圖1所示,本實(shí)用新型一種紫外可見準(zhǔn)連續(xù)光源,包括第一泵浦源、耦合透鏡7、第二泵浦源和分束鏡14,第一泵浦源包括平面鏡1和平面6鏡構(gòu)成的平平腔結(jié)構(gòu),平面鏡1之后依次放置聲光開關(guān)Q 2、高功率半導(dǎo)體陣列激光器3、諧波反光鏡4和倍頻晶體5,第二泵浦源包括平面鏡8和平面鏡12,耦合透鏡7的焦點(diǎn)處設(shè)置激光晶體13,平面鏡8之后依次放置三倍頻晶體11、耦合平面鏡10、倍頻晶體11。

一級(jí)裝置采用高功率半導(dǎo)體陣列激光器3作為原始泵浦源,平平腔結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),腔長330mm,倍頻晶體5KTP尺寸為6x6x10mm,聲光開關(guān)Q 2的重復(fù)頻率為5kHz,耦合透鏡7焦距為150mm,將532nm泵浦光耦合到激光晶體13內(nèi);二級(jí)裝置采用平平腔結(jié)構(gòu),腔長為50mm,激光晶體內(nèi)經(jīng)過粒子數(shù)反轉(zhuǎn),脈沖經(jīng)過分束鏡14反射和透射,反射部分脈沖經(jīng)過倍頻晶體11后有部分1064nm的激光轉(zhuǎn)化為532nm的激光,532nm的激光和1064nm的激光共同經(jīng)過三倍頻晶體9時(shí),會(huì)由于非線性和頻效應(yīng)產(chǎn)生355nm的激光,355nm的激光在諧振腔內(nèi)被平面鏡8反射,再次經(jīng)過三倍頻晶體,經(jīng)過偶合平面鏡10反射出諧振腔,獲得355nm的脈沖激光,透射部分直接以532nm輸出,最后輸出532nm和355nm激光。

高功率半導(dǎo)體陣列激光器3的激光介質(zhì)為Nd:YAG,鍍1064nm的增透膜,由流動(dòng)的冷卻水對(duì)激光二極管陣列和激光介質(zhì)提供冷卻。四組三條激光二極管條對(duì)稱的排列在YAG棒周圍,能夠均勻的泵浦激活介質(zhì)YAG棒。每組二極管條由100個(gè)功率為200mW的二極管組成,二極管連續(xù)工作,總的最大泵浦功率為240W,整個(gè)泵浦組件(包括激光二極管和YAG棒)由流動(dòng)的冷卻水提供冷卻。倍頻晶體5為KTP晶體,采用II類相位匹配,尺寸為6x6x10mm,鍍1064nm增透膜。平面鏡1鍍1064nm高反膜,對(duì)1064nm全反光。聲光開關(guān)Q 2的驅(qū)動(dòng)功率為100W,工作頻率為27MHz,調(diào)制頻率為1-50kHz,鍍1064nm增透膜。平面鏡6鍍1064nm高反膜和532nm增透膜,對(duì)1064nm光全反,對(duì)532nm光高透,諧波反光鏡4對(duì)1064nm光高透,對(duì)532nm光高反,以提高轉(zhuǎn)換效率。

激光晶體13可以為Nd:YVO4晶體,也可以為Dd:GdVO4晶體,優(yōu)選的,激光晶體13為Nd:YVO4,晶體尺寸為4x4x10mm,包裹銦箔后放入銅質(zhì)的熱沉對(duì)晶體散熱。倍頻晶體11可以是I類相位匹配的LBO晶體,也可以是I類非臨界相位的LBO晶體,還可以是I類相位匹配的CLBO晶體或者是其他I類相位匹配的非線性倍頻晶體,優(yōu)選的,倍頻晶體11為I類相位匹配的LBO晶體尺寸為3x3x8mm,晶體兩端分別鍍有1064nm和532nm的增透膜。三倍頻晶體9可以是II類相位匹配的LBO晶體,也可以是是II類相位匹配的BBO晶體或者其他非線性晶體,優(yōu)選的,三倍頻晶體9為II類相位匹配的LBO,晶體尺寸同樣為3x3x8mm。

平面鏡8朝向所述的三倍頻晶體9的一面鍍有1064nm、532nm和355nm高反膜,另一面部鍍膜,耦合平面鏡10的法線與光軸有一定的夾角,夾角的范圍為5-35°之間,優(yōu)選的,耦合平面鏡10的法線與光軸之間的夾角為20°,耦合平面鏡10朝向三倍頻晶體11的一面鍍有1064nm、532nm增透膜和355nm高反膜,另一面鍍有1064nm和532nm增透膜,平面鏡12朝向倍頻晶體11的一面鍍有1064nm和532nm增透膜,另一面鍍有1064nm和532nm增透膜以及355nm高反膜。

第一泵浦源的泵浦光,經(jīng)過耦合透鏡7耦合進(jìn)激光晶體內(nèi),實(shí)現(xiàn)粒子數(shù)的反轉(zhuǎn)后,脈沖經(jīng)過倍頻晶體11后經(jīng)過分束鏡14的反射和透射,反射部分1064nm的激光轉(zhuǎn)化為532nm的激光,532nm的激光和1064nm的激光共同經(jīng)過三倍頻晶體9時(shí),會(huì)由于非線性和頻效應(yīng)產(chǎn)生355nm的激光,355nm的激光在諧振腔內(nèi)被平面鏡8反射,再次經(jīng)過三倍頻晶體9,耦合平面鏡10反射出諧振腔,獲得355nm的脈沖激光,透射部分直接以532nm輸出,最后輸出355nm的激光與532nm的激光的輸出光。

本實(shí)用新型具有的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是:由于采用上述技術(shù)方案,使用更加方便,具有結(jié)構(gòu)簡單、光路穩(wěn)定、加工成本低、結(jié)構(gòu)緊湊、體積小等優(yōu)點(diǎn),能夠有效殺菌并對(duì)人體無傷害。

以上對(duì)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)說明,但所述內(nèi)容僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例,不能被認(rèn)為用于限定本實(shí)用新型的實(shí)施范圍。凡依本實(shí)用新型申請(qǐng)范圍所作的均等變化與改進(jìn)等,均應(yīng)仍歸屬于本實(shí)用新型的專利涵蓋范圍之內(nèi)。

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