本實(shí)用新型涉及硅片檢測技術(shù)，具體涉及一種用于硅片檢測的硅片處理裝置。

背景技術(shù)：

少數(shù)載流子壽命(簡稱少子壽命)是半導(dǎo)體晶體硅材料的一項(xiàng)重要參數(shù)，它對半導(dǎo)體器件性能、晶體硅太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率都有重要的影響。當(dāng)載流子連續(xù)產(chǎn)生時，在太陽能電池中，壽命決定了電子和空穴的穩(wěn)定數(shù)量，這些數(shù)量決定了器件產(chǎn)生的電壓，因此，要求使用的硅材料的晶體硅體少子壽命應(yīng)該盡可能高。

現(xiàn)有的測試晶體硅體少子壽命的方法主要有化學(xué)鈍化法，其具體測試方法如下：1 )將經(jīng)過去損傷層處理后的硅片在常溫下用去離子水稀釋的氟化氫溶液漂洗，去除表面的自然氧化層；2)將漂洗后的硅片放入透明的塑料袋中；3)將適量的30～50ml碘酒(或琨氫琨 溶液、氟化氫溶液 )倒入塑料袋中，這時塑料袋的鈍化液在硅片上涂抹均勻，并驅(qū)走附在硅片上的氣泡，用塑料封口機(jī)將塑料袋密封；4)最后，放在WT-2000(或WT-120)上進(jìn)行測試。測試之后，需要將附著在硅片表面的碘酒溶液去掉，一般采用無水乙醇溶液進(jìn)行浸泡，然后利用去離子水沖洗。

由于少子檢測步驟多，鈍化及清理過程復(fù)雜，需要用到的工具較多，轉(zhuǎn)移過程很容易對硅片造成損傷及二次污染。鈍化液體多具有輕度的腐蝕性和污染性，沒用專門的處理裝置的話會造成空氣污染，對測試人員的健康造成損害。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本實(shí)用新型提供通過在處理箱內(nèi)設(shè)置可抽離的反應(yīng)盒，提供一種多用途、污染少、使用安全的用于硅片檢測的硅片處理裝置。

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是，一種用于硅片檢測的硅片處理裝置，包括有用于盛裝處理液的反應(yīng)盒、用于安裝反應(yīng)盒的處理箱，處理箱由底板、側(cè)板以及蓋子構(gòu)成，側(cè)板上設(shè)有開口，反應(yīng)盒通過開口伸入處理箱內(nèi)部并可抽離處理箱，反應(yīng)盒的一面露在處理箱外并將開口堵住使得處理箱內(nèi)部形成密閉空間，反應(yīng)盒內(nèi)設(shè)有用于放置硅片的載物架，載物架連接有能夠?qū)⑤d物架平穩(wěn)抬升和下降的升降裝置，升降裝置安裝在處理箱內(nèi)部，載物架被抬升至最高處后其下端面高出反應(yīng)盒的上端面，載物架被下降至最低處后其下端面靠近反應(yīng)盒的盒底，載物架上方均設(shè)有噴嘴，噴嘴安裝在蓋子下端面上，噴嘴連接氮?dú)馄浚瑖娮炫c氮?dú)馄恐g設(shè)有氣閥。

反應(yīng)盒上露出處理箱的一面設(shè)有方便推拉的把手。

蓋子由透明的鋼化玻璃制成。

升降裝置包括有位于反應(yīng)盒兩側(cè)的氣缸，氣缸的活塞連接有支撐板，支撐板固定連接載物架的上端。

載物架由若干個盒狀的載物單元拼接而成，載物單元的底部為具由網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的網(wǎng)板，載物單元由耐酸堿腐蝕的材料制成。

反應(yīng)盒底部安裝有超聲震蕩裝置或加熱裝置。

本實(shí)用新型的工作原理是：反應(yīng)盒可以用來盛裝硅片拋光液或無水乙醇等處理液，反應(yīng)盒放置在處理箱內(nèi)部；硅片放置在網(wǎng)板上，調(diào)節(jié)氣缸使得載物架下降，將硅片浸泡在鈍化液中反應(yīng)；處理完畢后將載物架抬升，打開氣閥用干燥的氮?dú)鈱⒐杵蹈桑恍枰獙Ψ磻?yīng)溶液加熱處理時可以開啟反應(yīng)盒內(nèi)的加熱裝置加熱；反應(yīng)盒內(nèi)盛裝清洗液時可以開啟超聲震蕩裝置進(jìn)行超聲清洗。

本實(shí)用新型的有益效果是，本實(shí)用新型的硅片處理裝置，能夠滿足硅片檢測前期各種腐蝕、鈍化、除污等各項(xiàng)處理過程，減少了硅片處理過程的轉(zhuǎn)移次數(shù)，提高硅片檢測前的處理效果，減少有害液體揮發(fā)對實(shí)驗(yàn)人員的傷害。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的外觀示意圖；

圖2是反應(yīng)盒、載物架及噴嘴的機(jī)構(gòu)示意圖；

圖3是載物架及噴嘴的另一角度示意圖；

圖4是處理箱、載物架及噴嘴的示意圖。

具體實(shí)施方式

現(xiàn)結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。

如圖1-4所示，一種用于硅片檢測的硅片處理裝置，包括有用于盛裝處理液的反應(yīng)盒2、用于放置硅片的載物架3、用于安裝反應(yīng)盒2及載物架3的處理箱1，處理箱1由底板4、側(cè)板5以及蓋子6構(gòu)成，側(cè)板5上設(shè)有開口7，反應(yīng)盒2通過開口7伸入出理箱1的內(nèi)部并能夠抽離箱體，反應(yīng)盒2的一面將開口7堵住使得處理箱1內(nèi)部形成密閉空間，反應(yīng)盒2內(nèi)設(shè)有載物架8，載物架8由若干個盒狀的載物單元9拼接而成，載物單元9的底部為具由網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的網(wǎng)板，載物單元9由耐酸堿腐蝕的材料制成，載物架3連接有能夠?qū)⑤d物架3平穩(wěn)抬升的升降裝置，升降裝置安裝在處理箱1內(nèi)部，載物架3被抬升至最高處后網(wǎng)板的下端面高出反應(yīng)盒2的上端面，載物架被下降至最低處后網(wǎng)板的下端面靠近反應(yīng)盒2的盒底，每個載物單元9的正上方均設(shè)有噴嘴10，噴嘴10安裝在蓋子6下端面上，噴嘴10連接氮?dú)馄?，噴?0與氮?dú)馄恐g設(shè)有氣閥，氮?dú)庥脕泶蹈晒杵?/p>

反應(yīng)盒2上設(shè)有方便抽取的把手11，方便抽取反應(yīng)盒2。

蓋子6的蓋面由透明的鋼化玻璃制成，可以從蓋子6直接觀察硅片的處理情況。

升降裝置包括有位于反應(yīng)盒2兩側(cè)的氣缸12，氣缸12的活塞連接支撐板13，支撐板13固定連接載物架3的上端。還可以采用例如油缸等升降平穩(wěn)的升降裝置代替氣缸12。

反應(yīng)盒2底部安裝有超聲震蕩裝置或加熱裝置。反應(yīng)盒2可以是多個，分別帶有超聲震蕩裝置或加熱裝置形成超聲清洗反應(yīng)盒或帶有加熱功能的反應(yīng)盒。

以上詳細(xì)描述了本實(shí)用新型的較佳具體實(shí)施例，應(yīng)當(dāng)理解，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員無需創(chuàng)造性勞動就可以根據(jù)本實(shí)用新型的構(gòu)思做出諸多修改和變化，因此，凡本技術(shù)領(lǐng)域中技術(shù)人員依本實(shí)用新型的構(gòu)思在現(xiàn)有技術(shù)的基礎(chǔ)上通過邏輯分析、推理或者有限的實(shí)驗(yàn)可以得到的技術(shù)方案，皆應(yīng)在由權(quán)利要求書所確定的保護(hù)范圍內(nèi)。