本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體閉管擴(kuò)散技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種半導(dǎo)體閉管擴(kuò)散用真空設(shè)備。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體閉管擴(kuò)散工藝中，需要將裝有擴(kuò)散源和外延片的一端開口石英管抽真空到低于10e^-4pa，然后用氫氧焰將另一端熔斷密封，再進(jìn)行高溫?cái)U(kuò)散。這是因?yàn)楦哒婵諌木晨梢员苊鈹U(kuò)散源在高溫下氧化，提高擴(kuò)散源蒸汽壓，從而實(shí)現(xiàn)在本征半導(dǎo)體中高濃度摻雜。

傳統(tǒng)閉管擴(kuò)散工藝中，擴(kuò)散泵是一種油氣泵浦，正常使用之前，需要將里面的油加熱到約200℃，影響生產(chǎn)效率，而且油蒸汽會(huì)對(duì)擴(kuò)散源造成污染，影響擴(kuò)散質(zhì)量。

另一方面，現(xiàn)有的半導(dǎo)體閉管擴(kuò)散工藝中所采用的設(shè)備均是一組氣泵對(duì)應(yīng)著單一的工位接口，以至于半導(dǎo)體閉管擴(kuò)散工藝中的氣泵資源沒(méi)有充分發(fā)揮相應(yīng)的功能。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型實(shí)施例的目的之一在于克服傳統(tǒng)閉管擴(kuò)散工藝中，擴(kuò)散泵是一種油氣泵浦，正常使用之前，需要將里面的油加熱到約200℃，影響生產(chǎn)效率，而且油蒸汽會(huì)對(duì)擴(kuò)散源造成污染，影響擴(kuò)散質(zhì)量。

本實(shí)用新型實(shí)施例的另一個(gè)目的在于，基于克服上述問(wèn)題基礎(chǔ)上，進(jìn)一步解決氣泵架構(gòu)中，與氣泵相關(guān)聯(lián)的工位接口結(jié)構(gòu)，限制了氣泵最大利用率，影響了最終的加工效率。

本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的：

第一方面，本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種半導(dǎo)體閉管擴(kuò)散用真空設(shè)備，所述真空設(shè)備包括：工位接口1、放氣閥2、第一電阻規(guī)3、旁抽閥4、主抽閥5、電離規(guī)6、分子泵7、第二電阻規(guī)8、前級(jí)閥9和機(jī)械泵10，

所述工位接口1通過(guò)旁路連接所述機(jī)械泵10；所述工位接口1還通過(guò)主路串聯(lián)所述分子泵7后連接到所述機(jī)械泵10；

位于所述旁路上，在所述工位接口1與所述機(jī)械泵10之間串聯(lián)有所述放氣閥2、所述第一電阻規(guī)3、所述旁抽閥4；

位于所述主路上，在所述工位接口1與所述機(jī)械泵10之間串聯(lián)有所述主抽閥5、所述電離規(guī)6、所述分子泵7、所述第二電阻規(guī)8和所述前級(jí)閥9。

可選的，所述放氣閥2、旁抽閥4、主抽閥5和前級(jí)閥9為電磁閥或者機(jī)械閥。

可選的，所述真空設(shè)備還包括工位傳感器111和比較器101，

所述工位傳感器111、放氣閥2、第一電阻規(guī)3、旁抽閥4、主抽閥5、電離規(guī)6、分子泵7、第二電阻規(guī)8、前級(jí)閥9和機(jī)械泵10，連接所述比較器101；

其中，工位傳感器111、第一電阻規(guī)3、電離規(guī)6和第二電阻規(guī)8，連接所述比較器101的輸入端；

所述放氣閥2、旁抽閥4、主抽閥5、分子泵7、前級(jí)閥9和機(jī)械泵10，連接所述比較器101的輸出端。

可選的，所述比較器101為比較器集成芯片LM339，所述LM339包括比較器1、比較器2、比較器3和比較器4，則放氣閥2和工位傳感器111信號(hào)進(jìn)行邏輯與之后連接比較器1的正向輸入端5，比較器1的輸出端2連接機(jī)械泵10和旁抽閥4，用于在放氣閥2關(guān)閉且工位傳感器111檢測(cè)到有石英管時(shí)，控制所述機(jī)械泵10和旁抽閥4的打開；

第一電阻規(guī)3連接比較器2的反向輸入端6，比較器2的輸出端1連接旁抽閥4和前級(jí)閥9，用于在第一電阻規(guī)3檢測(cè)值小于0.1Pa時(shí)，控制所述旁抽閥4的關(guān)閉和前級(jí)閥9的打開；

第二電阻規(guī)8連接比較器3的反向輸入端8，比較器3的輸出端15連接分子泵7和主抽閥5，用于在第二電阻規(guī)8檢測(cè)值小于1Pa時(shí)，控制所述分子泵7打開和主抽閥5打開；

主抽閥5連接比較器4的正向輸入端12，比較器4的輸出端14連接分子泵7，用于在主抽閥5關(guān)閉時(shí)，關(guān)閉所述分子泵7。

可選的，所述主路上位于所述分子泵7的入口前設(shè)置有過(guò)濾網(wǎng)，所述過(guò)濾網(wǎng)密度小于1um。

第二方面，本實(shí)用新型實(shí)施例還提供了一種半導(dǎo)體閉管擴(kuò)散用真空設(shè)備，其特征在于，所述真空設(shè)備包括：工位接口11、放氣閥21、第三電阻規(guī)31、旁抽閥41、主抽閥51、工位接口12、放氣閥22、第四電阻規(guī)32、旁抽閥42、主抽閥52、電離規(guī)6、分子泵7、第二電阻規(guī)8、前級(jí)閥9和機(jī)械泵10，

所述工位接口11通過(guò)第一旁路連接所述機(jī)械泵10；所述工位接口11還通過(guò)主路串聯(lián)所述分子泵7后連接到所述機(jī)械泵10；

位于所述第一旁路上，在所述工位接口11與所述機(jī)械泵10之間串聯(lián)有所述放氣閥21、所述第三電阻規(guī)31、所述旁抽閥41；

位于所述主路上，在所述工位接口11與所述機(jī)械泵10之間串聯(lián)有第一支路、所述電離規(guī)6、所述分子泵7、所述第二電阻規(guī)8和所述前級(jí)閥9；其中，第一支路上設(shè)置有所述主抽閥51；

所述工位接口12通過(guò)第二旁路連接所述機(jī)械泵10；所述工位接口12還通過(guò)主路串聯(lián)所述分子泵7后連接到所述機(jī)械泵10；

位于所述第二旁路上，在所述工位接口12與所述機(jī)械泵10之間串聯(lián)有所述放氣閥22、所述第四電阻規(guī)32、所述旁抽閥42；

位于所述主路上，在所述工位接口12與所述機(jī)械泵10之間串聯(lián)有第二支路、所述電離規(guī)6、所述分子泵7、所述第二電阻規(guī)8和所述前級(jí)閥9；其中，所述第二支路上設(shè)置有所述主抽閥52；

其中，第一支路、第二支路和主路之間通過(guò)三通管道實(shí)現(xiàn)連接。

可選的，所述放氣閥21、旁抽閥41、主抽閥51、放氣閥22、旁抽閥42、主抽閥52、前級(jí)閥9為電磁閥或者機(jī)械閥。

可選的，所述主路上位于所述分子泵7的入口前設(shè)置有過(guò)濾網(wǎng)，所述過(guò)濾網(wǎng)密度小于1um。

本實(shí)用新型通過(guò)提出一種有機(jī)械泵和分子泵組成的兩級(jí)真空設(shè)備，分子泵可以快速啟動(dòng)，不含油氣，可以提高效率，避免污染；在本實(shí)用新型實(shí)施例提出的另一種雙工位接口真空設(shè)備，可以提高石英管裝載和卸載的效率。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其它的附圖。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供現(xiàn)有的一種半導(dǎo)體閉管擴(kuò)散用真空設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供現(xiàn)有的另一種半導(dǎo)體閉管擴(kuò)散用真空設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為現(xiàn)有技術(shù)中的LM339芯片的管腳內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例提供現(xiàn)有的另一種半導(dǎo)體閉管擴(kuò)散用真空設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例提供現(xiàn)有的另一種半導(dǎo)體閉管擴(kuò)散用真空設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其它實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

實(shí)施例1：

本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種半導(dǎo)體閉管擴(kuò)散用真空設(shè)備，如圖1所示，所述真空設(shè)備包括：工位接口1、放氣閥2、第一電阻規(guī)3、旁抽閥4、主抽閥5、電離規(guī)6、分子泵7、第二電阻規(guī)8、前級(jí)閥9和機(jī)械泵10，其中，電阻規(guī)和電離規(guī)是兩種不同原理的規(guī)管,電阻規(guī)測(cè)低真空比較好(大氣壓～5×10-4mbar),而電離規(guī)測(cè)高真空比較好(0.01mbar～10-9mbar)。

所述工位接口1通過(guò)旁路連接所述機(jī)械泵10；所述工位接口1還通過(guò)主路串聯(lián)所述分子泵7后連接到所述機(jī)械泵10；位于所述旁路上，在所述工位接口1與所述機(jī)械泵10之間串聯(lián)有所述放氣閥2、所述第一電阻規(guī)3、所述旁抽閥4；位于所述主路上，在所述工位接口1與所述機(jī)械泵10之間串聯(lián)有所述主抽閥5、所述電離規(guī)6、所述分子泵7、所述第二電阻規(guī)8和所述前級(jí)閥9。

其中，所述工位接口1用于固定待抽真空的石英管，所述放氣閥2、旁抽閥4、主抽閥5和前級(jí)閥9可以是機(jī)械式手動(dòng)控制的閥門，也可以是通過(guò)電信號(hào)控制的電磁閥，具體選擇可以根據(jù)生產(chǎn)所述真空設(shè)備的成本，以及所要求實(shí)現(xiàn)的真空設(shè)備的智能程度而定。所述分子泵7和機(jī)械泵10可以是單一工作模式的，也可以是具有功率可調(diào)的多工作模式的，具體可以根據(jù)實(shí)際工作需求做出相應(yīng)調(diào)整。

本實(shí)用新型實(shí)施例通過(guò)將現(xiàn)有的擴(kuò)散泵替換成分子泵，改善了因?yàn)橛驼羝麜?huì)對(duì)擴(kuò)散源造成污染，影響擴(kuò)散質(zhì)量的問(wèn)題。基于分子泵的使用，進(jìn)一步可以保證工作環(huán)境不含油氣，避免污染。本實(shí)用新型實(shí)施例針對(duì)于半導(dǎo)體閉管擴(kuò)散用真空設(shè)備的特殊使用場(chǎng)合，設(shè)計(jì)了一套可以快速啟動(dòng)并能保護(hù)分子泵工作安全性的連接結(jié)構(gòu)，并進(jìn)一步可以提高生產(chǎn)效率。

本實(shí)用新型實(shí)施例所設(shè)計(jì)的半導(dǎo)體閉管擴(kuò)散真空設(shè)備操作方法具體為：

步驟1)、打開放氣閥2，解除工位接口1的真空狀態(tài)，固定石英管到所述工位接口1，關(guān)閉放氣閥2。

步驟2)、打開機(jī)械泵10，旁抽閥4，抽取石英管內(nèi)空氣，待第一電阻規(guī)3顯示到0.1Pa，關(guān)閉旁抽閥4，打開前級(jí)閥9，待第二電阻規(guī)8顯示到1Pa，打開分子泵7，打開主抽閥5。其中，分子泵7和機(jī)械泵10的級(jí)聯(lián)結(jié)構(gòu)，配合步驟2)中的預(yù)控制分子泵7的出氣口壓強(qiáng)控制在1Pa才打開前級(jí)閥9，使得分子泵7進(jìn)入工作狀態(tài)，保證了分子泵使用過(guò)程中的安全性。

步驟3)待電離規(guī)6顯示真空度小于1e^-4Pa，可以用氫氧焰燒斷石英管。

步驟4)燒斷石英管之后，先關(guān)主抽閥5，待分子泵7轉(zhuǎn)速停止之后，關(guān)閉前級(jí)閥9，最后關(guān)閉機(jī)械泵10。

結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例，還存在一種可選的實(shí)現(xiàn)方案，其中，所述主路上位于所述分子泵7的入口前設(shè)置有過(guò)濾網(wǎng)，所述過(guò)濾網(wǎng)密度小于1um。

實(shí)施例2：

本實(shí)用新型實(shí)施例是基于實(shí)施例1基礎(chǔ)上，進(jìn)一步在采用所述放氣閥2、旁抽閥4、主抽閥5和前級(jí)閥9為電磁閥時(shí)，提出的一種可智能化的真空設(shè)備。相比較實(shí)施例1所述的架構(gòu)圖，在本實(shí)施例中還要額外工位傳感器111和比較器101，如圖2所示，所述工位傳感器111、放氣閥2、第一電阻規(guī)3、旁抽閥4、主抽閥5、分子泵7、第二電阻規(guī)8、前級(jí)閥9和機(jī)械泵10，連接所述比較器101；其中，放氣閥2、工位傳感器111、第一電阻規(guī)3、主抽閥5和第二電阻規(guī)8，連接所述比較器101的輸入端；所述旁抽閥4、分子泵7、前級(jí)閥9和機(jī)械泵10，連接所述比較器101的輸出端。

在本實(shí)用新型實(shí)施例中，所述比較器101可以是LM324、LM358、uA741TL081\2\3\4、OP07、OP27，這些都可以做成電壓比較器。除此以外也可以采用類似LM339和LM393的專業(yè)的比較器集成芯片。接下來(lái)將以LM339作為比較器101來(lái)闡述具體實(shí)現(xiàn)內(nèi)容。如圖3所示，LM339集成塊內(nèi)部裝有四個(gè)獨(dú)立的電壓比較器(比較器1、比較器2、比較器3和比較器4，圖3中相應(yīng)有標(biāo)注)，該電壓比較器的特點(diǎn)是：1)失調(diào)電壓小，典型值為2mV；2)電源電壓范圍寬，單電源為2-36V，雙電源電壓為±1V-±18V；3)對(duì)比較信號(hào)源的內(nèi)阻限制較寬；4)共模范圍很大，為0～(Ucc-1.5V)Vo；5)差動(dòng)輸入電壓范圍較大，大到可以等于電源電壓；6)輸出端電位可靈活方便地選用。如圖4所示，為將所述集成芯片LM339作為比較器101應(yīng)用到本實(shí)用新型實(shí)施例所述方案后的連接圖，具體包括：

所述工位傳感器111、第一電阻規(guī)3、電離規(guī)6和第二電阻規(guī)8分別連接所述LM339的比較器1、比較器2、比較器3和比較器4的輸入端，所述放氣閥2連接比較器1的輸出端，旁抽閥4連接比較器1的輸出端，主抽閥5連接比較器4的輸出端14、分子泵7連接比較器3的輸出端15、前級(jí)閥9連接比較器2的輸出端1。

其中，放氣閥2和工位傳感器111信號(hào)進(jìn)行邏輯與之后連接比較器1的正向輸入端5，比較器1的輸出端2連接機(jī)械泵10和旁抽閥4，用于在放氣閥2關(guān)閉且工位傳感器111檢測(cè)到有石英管時(shí)，控制所述機(jī)械泵10和旁抽閥4的打開；

其中，第一電阻規(guī)3連接比較器2的反向輸入端6，比較器2的輸出端1連接旁抽閥4和前級(jí)閥9，用于在第一電阻規(guī)3檢測(cè)值小于0.1Pa時(shí)，控制所述旁抽閥4的關(guān)閉和前級(jí)閥9的打開；

其中，第二電阻規(guī)8連接比較器3的反向輸入端8，比較器3的輸出端15連接分子泵7和主抽閥5，用于在第二電阻規(guī)8檢測(cè)值小于1Pa時(shí)，控制所述分子泵7打開和主抽閥5打開；

其中，主抽閥5連接比較器4的正向輸入端12，比較器4的輸出端14連接分子泵7，用于在主抽閥5關(guān)閉時(shí)，關(guān)閉所述分子泵7。

參考實(shí)施例1中分子泵工作流程，在本實(shí)施例中結(jié)合了LM339(即比較器101)后，其實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化原理闡述如下(參考圖4的結(jié)構(gòu)圖以及實(shí)施例1中的步驟流程)：

打開放氣閥2，從而解除工位接口1的真空狀態(tài)。固定石英管到所述工位接口1，關(guān)閉放氣閥2；由于放氣閥2和工位傳感器111經(jīng)過(guò)邏輯與之后連接比較器1的正向接口5，其中，放氣閥2關(guān)閉時(shí)輸出邏輯1，否則輸出邏輯0，而工位傳感器111檢測(cè)到工位接口1中放置有石英管時(shí)輸出邏輯1，否則輸出邏輯0；比較器1的反向接口4連接靜態(tài)電壓，所述靜態(tài)電壓值大于邏輯0對(duì)應(yīng)的電壓而小于邏輯1所對(duì)應(yīng)的電壓值，這樣就能保證僅在放氣閥2關(guān)閉且工位傳感器111檢測(cè)到石英管時(shí)比較器1輸出正電壓。而所述比較器1的輸出端口連接機(jī)械泵10和旁抽閥4，所述機(jī)械泵10和旁抽閥4通過(guò)正電壓觸發(fā)打開。

第一電阻規(guī)3連接比較器2的反向輸入端6，比較器2的正向輸入端7連接靜態(tài)電壓，所述靜態(tài)電壓等于第一電阻規(guī)3在0.1Pa條件下的輸出電壓值，比較器2的輸出端1連接旁抽閥4和前級(jí)閥9，用于在第一電阻規(guī)3檢測(cè)值小于0.1Pa時(shí)，比較器2輸出正電壓，并控制所述旁抽閥4的關(guān)閉和前級(jí)閥9的打開；其中，比較器1和比較器2均連接著旁抽閥4，并且在兩者輸出電壓相反時(shí)，所述旁抽閥4打開，而當(dāng)兩者輸出均為正電壓時(shí)，所述旁抽閥4關(guān)閉，因此，比較器1和比較器2兩者在連接到所述旁抽閥4的觸發(fā)端之前，級(jí)聯(lián)一異或門121(例如：采用異或門芯片7486、74ls86、74s86、74f86、74hc86等等)，所述比較器1和比較器2兩者的輸出端連接所述異或門的輸入端口，而所述異或門的輸出端口連接所述旁抽閥4。所述前級(jí)閥9通過(guò)正電壓觸發(fā)打開。

第二電阻規(guī)8連接比較器3的反向輸入端8，比較器3的正向輸入端9連接第二電阻規(guī)8檢測(cè)值為1Pa時(shí)所對(duì)應(yīng)的電壓值，比較器3的輸出端15連接分子泵7和主抽閥5，用于在第二電阻規(guī)8檢測(cè)值小于1Pa時(shí)，輸出控制所述分子泵7打開和主抽閥5打開的正電壓；所述分子泵7和主抽閥5通過(guò)正電壓觸發(fā)打開。

主抽閥5的閉合和打開分別對(duì)應(yīng)這邏輯1和邏輯0，并且輸出到比較器4的正向輸入端12，比較器4的反向輸入端連接靜態(tài)電壓，所述靜態(tài)電壓大于邏輯0所對(duì)應(yīng)的電壓，并且小于邏輯1所對(duì)應(yīng)的電壓，比較器4的輸出端14連接分子泵7，用于在主抽閥5關(guān)閉時(shí)，關(guān)閉所述分子泵7。則所述分子泵7與主抽閥5以及第二電阻規(guī)8之間的關(guān)系，相似于上述旁抽閥4與比較器1和比較器2之間的關(guān)系，因此，第二電阻規(guī)8與主抽閥5閉合對(duì)應(yīng)的邏輯電位經(jīng)由異或門131之后，連接到分子泵7的控制接口中。

結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例所述的電器結(jié)構(gòu)和實(shí)施例1中所闡述的操作流程，在實(shí)際操作過(guò)程中，用戶僅需要完成步驟1)中的安置石英管并關(guān)閉放氣閥2的準(zhǔn)備工作，則后續(xù)的步驟2中各種閥門的操作以及分子泵7工作的控制，均可以由本實(shí)施例中電器結(jié)構(gòu)完成，無(wú)需用戶一一操作。除了上述準(zhǔn)備工作外，用戶還需要完成的操作便是實(shí)施例1中步驟3)，觀察電離規(guī)6顯示的真空度小于1e^-4Pa，則利用氫氧焰燒斷石英管。對(duì)于步驟4)中，用戶仍然需要主動(dòng)關(guān)閉主抽閥5，但是通過(guò)本實(shí)施例的電器結(jié)構(gòu)，在關(guān)閉主抽閥5后，分子泵7會(huì)一并被關(guān)閉。在本實(shí)施例所述電器結(jié)構(gòu)中，最后的前級(jí)閥9和機(jī)械泵10的關(guān)閉仍然需要用戶操作完成。

結(jié)合本發(fā)實(shí)用新型實(shí)施例，還存在一種優(yōu)選的實(shí)現(xiàn)方案，可以進(jìn)一步將步驟4)中各操作與關(guān)閉主抽閥5關(guān)聯(lián)起來(lái)，即讓用戶只需要關(guān)閉主抽閥5，便能完成步驟4)中所有操作。具體闡述如下：

由于，分子泵7停止前第二電阻規(guī)8的顯示參數(shù)會(huì)因?yàn)榉肿颖?速度的變化而呈現(xiàn)出相應(yīng)的變化過(guò)程，只有當(dāng)分子泵7停止后，第二電阻規(guī)8的顯示參數(shù)才會(huì)固定，因此，可以在第二電阻規(guī)8的輸出端連接一延時(shí)器，并將延時(shí)器的輸出端連接到前級(jí)閥9和機(jī)械泵10。由于，在本實(shí)施例中，前級(jí)閥9和機(jī)械泵10已經(jīng)存在一控制輸入端，因此，為了保證控制上的不沖突，可以將所述延時(shí)器的使能端連接到主抽閥5中，即主抽閥5關(guān)閉的時(shí)候，延時(shí)器才開始工作。

本實(shí)用新型實(shí)施例盡可能少的減少用戶的操作步驟，提高了自動(dòng)化效率，進(jìn)一步可以帶來(lái)生產(chǎn)效率的提高。

結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例，還存在一種可選的實(shí)現(xiàn)方案，其中，所述主路上位于所述分子泵7的入口前設(shè)置有過(guò)濾網(wǎng)，所述過(guò)濾網(wǎng)密度小于1um。

實(shí)施例3：

本實(shí)用新型實(shí)施例還提供了一種半導(dǎo)體閉管擴(kuò)散用真空設(shè)備，與實(shí)施例1所述的真空設(shè)備不同之處，本實(shí)用新型實(shí)施例中提出了一種具有雙工位接口的真空設(shè)備，如圖5所示，所述真空設(shè)備包括：工位接口11、放氣閥21、第三電阻規(guī)31、旁抽閥41、主抽閥51、工位接口12、放氣閥22、第四電阻規(guī)32、旁抽閥42、主抽閥52、電離規(guī)6、分子泵7、第二電阻規(guī)8、前級(jí)閥9和機(jī)械泵10，

所述工位接口11通過(guò)第一旁路連接所述機(jī)械泵10；所述工位接口11還通過(guò)主路串聯(lián)所述分子泵7后連接到所述機(jī)械泵10；

位于所述第一旁路上，在所述工位接口11與所述機(jī)械泵10之間串聯(lián)有所述放氣閥21、所述第三電阻規(guī)31、所述旁抽閥41；

位于所述主路上，在所述工位接口11與所述機(jī)械泵10之間串聯(lián)有第一支路、所述電離規(guī)6、所述分子泵7、所述第二電阻規(guī)8和所述前級(jí)閥9；其中，第一支路上設(shè)置有所述主抽閥51；

所述工位接口12通過(guò)第二旁路連接所述機(jī)械泵10；所述工位接口12還通過(guò)主路串聯(lián)所述分子泵7后連接到所述機(jī)械泵10；

位于所述第二旁路上，在所述工位接口12與所述機(jī)械泵10之間串聯(lián)有所述放氣閥22、所述第四電阻規(guī)32、所述旁抽閥42；

位于所述主路上，在所述工位接口12與所述機(jī)械泵10之間串聯(lián)有第二支路、所述電離規(guī)6、所述分子泵7、所述第二電阻規(guī)8和所述前級(jí)閥9；其中，所述第二支路上設(shè)置有所述主抽閥52；

其中，第一支路、第二支路和主路之間通過(guò)三通管道實(shí)現(xiàn)連接。

本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種雙工位接口的真空設(shè)備，相比較實(shí)施例1能夠更有效的利用分子泵7和機(jī)械泵10的功率，提供了一種并行生產(chǎn)的可能。雖然，可能一定程度上帶來(lái)加工操作的復(fù)雜度，但是從執(zhí)行效率提高來(lái)說(shuō)是可行的。

其中，所述工位接口11(工位接口12)用于固定待抽真空的石英管，所述放氣閥21、旁抽閥41、主抽閥51、放氣閥22、旁抽閥42、主抽閥52和前級(jí)閥9可以是機(jī)械式手動(dòng)控制的閥門，也可以是通過(guò)電信號(hào)控制的電磁閥，具體選擇可以根據(jù)生產(chǎn)所述真空設(shè)備的成本，以及所要求實(shí)現(xiàn)的真空設(shè)備的智能程度而定。所述分子泵7和機(jī)械泵10可以是單一工作模式的，也可以是具有功率可調(diào)的多工作模式的，具體可以根據(jù)實(shí)際工作需求做出相應(yīng)調(diào)整。

本實(shí)用新型實(shí)施例所設(shè)計(jì)的半導(dǎo)體閉管擴(kuò)散真空設(shè)備操作方法具體為：

步驟1)、打開放氣閥21，解除工位接口11的真空狀態(tài)，固定石英管到所述工位接口11，關(guān)閉放氣閥21。

步驟2)、打開機(jī)械泵10，旁抽閥41，抽取石英管內(nèi)空氣，待第三電阻規(guī)31顯示到0.1Pa，關(guān)閉旁抽閥41，打開前級(jí)閥91，待第二電阻規(guī)8顯示到1Pa，打開分子泵7，打開主抽閥51。

步驟3)待電離規(guī)6顯示真空度小于1e^-4Pa，可以用氫氧焰燒斷石英管。

步驟4)燒斷石英管之后，先關(guān)主抽閥51，待分子泵7轉(zhuǎn)速停止之后，關(guān)閉前級(jí)閥9，最后關(guān)閉機(jī)械泵10。

其中，若工位接口12也加入工作狀態(tài)，則相應(yīng)的操作流程如下：

步驟1)、打開放氣閥22，解除工位接口12的真空狀態(tài)，固定石英管到所述工位接口12，關(guān)閉放氣閥22。

步驟2)、打開機(jī)械泵10，旁抽閥42，抽取石英管內(nèi)空氣，待第四電阻規(guī)32顯示到0.1Pa，關(guān)閉旁抽閥42，打開前級(jí)閥92，待第二電阻規(guī)8顯示到1Pa，打開分子泵7，打開主抽閥52。

步驟3)待電離規(guī)6顯示真空度小于1e^-4Pa，可以用氫氧焰燒斷石英管。

步驟4)燒斷石英管之后，先關(guān)主抽閥52，待分子泵7轉(zhuǎn)速停止之后，關(guān)閉前級(jí)閥9，最后關(guān)閉機(jī)械泵10。

但是，由于本實(shí)施例所給予的真空設(shè)備中分子泵7和機(jī)械泵9所在的主路是要被工位接口11和工位接口12共享使用的，因此，上述兩個(gè)流程均適用于工位接口11和工位接口12單獨(dú)使用的情況。當(dāng)兩個(gè)工位接口同時(shí)被使用時(shí)，其差異點(diǎn)在于兩點(diǎn)：

1)在當(dāng)前有一石英管進(jìn)入氫氧焰燒斷階段并結(jié)束前(對(duì)應(yīng)的電離規(guī)6顯示真空度小于1e^-4Pa)，不能打開另一支路的主抽閥，要等待當(dāng)前石英管熔斷完畢后才可以。但是，若當(dāng)前石英管還未進(jìn)入氫氧焰燒斷階段(對(duì)應(yīng)的電離規(guī)6顯示真空度大于1e^-4Pa)，則可以打開另一支路的主抽閥，使得兩個(gè)石英管可以同時(shí)進(jìn)行熔斷。其原因在于，當(dāng)一支路的真空度小于1e^-4Pa時(shí)，打開另一支路會(huì)影響到當(dāng)前支路的真空度，并造成石英管真空指標(biāo)降低，影響成品率。

2)對(duì)于步驟4)中，若仍然有一工位接口處于加工狀態(tài)，則保持分子泵9和機(jī)械泵10的工作狀態(tài)。

結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例，還存在一種可選的實(shí)現(xiàn)方案，其中，所述主路上位于所述分子泵7的入口前設(shè)置有過(guò)濾網(wǎng)，所述過(guò)濾網(wǎng)密度小于1um。

以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。