本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能電池片技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種用于多晶硅太陽(yáng)能電池片背表面刻蝕的蝕刻裝置。

背景技術(shù)：

在現(xiàn)今的光伏產(chǎn)業(yè)中，多晶硅太陽(yáng)能電池片產(chǎn)線(xiàn)上較多引入混酸各向同性腐蝕多晶硅太陽(yáng)能電池片背表面工藝, 這種混酸濕法刻蝕多晶硅太陽(yáng)能電池片背表面在一定程度上能夠提升電池片的光電轉(zhuǎn)換效率，但是現(xiàn)有的設(shè)備，不能達(dá)到非常好的將電池片背表面“鏡面”化的效果，所以最終產(chǎn)品質(zhì)量并不是很高，良品率也偏低，蝕刻反應(yīng)的過(guò)程穩(wěn)定性不高，設(shè)備使用壽命也不長(zhǎng)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的一個(gè)目的是提供一種結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、工作效率高、蝕刻效果好的用于多晶硅太陽(yáng)能電池片背表面刻蝕的蝕刻裝置。

本實(shí)用新型的上述技術(shù)目的是通過(guò)以下技術(shù)方案得以實(shí)現(xiàn)的：一種用于多晶硅太陽(yáng)能電池片背表面刻蝕的蝕刻裝置，包括蝕刻槽，所述蝕刻槽的槽體呈矩形狀，所述蝕刻槽靠底部的位置設(shè)有勻流板，所述勻流板包括呈水平平鋪狀的中心板以及四塊與所述中心板四個(gè)邊角分別固定連接并向斜上方傾斜的邊角傾斜板，所述勻流板的下方配有鼓泡氣管，所述鼓泡氣管連接有鼓泡設(shè)備，所述中心板和邊角傾斜板上均開(kāi)設(shè)有與所述鼓泡氣管相配合的鼓泡通孔。

上述技術(shù)方案中，對(duì)蝕刻槽的設(shè)計(jì)，使得濕法蝕刻工藝得到更好地發(fā)揮，最終可以形成非常高質(zhì)量的太陽(yáng)能電池片成品。

作為對(duì)本實(shí)用新型的優(yōu)選，所述中心板與邊角傾斜板之間的固定連接處設(shè)有溫度調(diào)節(jié)管。

作為對(duì)本實(shí)用新型的優(yōu)選，所述中心板四個(gè)邊角的各個(gè)邊角傾斜板與水平面的傾斜角度均相等。

作為對(duì)本實(shí)用新型的優(yōu)選，所述蝕刻槽的外側(cè)壁的外圍設(shè)有隔板，所述蝕刻槽和隔板之間連接有減震裝置，所述蝕刻槽的外側(cè)壁上還鋪設(shè)有冷卻管。

作為對(duì)本實(shí)用新型的優(yōu)選，隔板上安裝有支撐柱。

作為對(duì)本實(shí)用新型的優(yōu)選，所述中心板和所述邊角傾斜板上均具有向板背面凹陷的凹陷部，所述鼓泡通孔開(kāi)設(shè)在所述凹陷部上。

本實(shí)用新型的有益效果：該裝置使得太陽(yáng)能電池片的蝕刻過(guò)程更加穩(wěn)定，可以進(jìn)行大批量生產(chǎn)，且蝕刻效果好，將電池片背表面“鏡面”化效果極大地提升,同時(shí)也提升電池片的光電轉(zhuǎn)換效率，使鍍膜顏色更加均勻，從而降低反射率，增強(qiáng)光吸收，提升短路電流Isc，提升轉(zhuǎn)換效率Eff。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例的剖開(kāi)后的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1、蝕刻槽，2、勻流板，21、中心板，22、邊角傾斜板，3、鼓泡氣管，4、鼓泡通孔，5、溫度調(diào)節(jié)管，6、隔板，61、減震裝置，62、冷卻管，7、支撐柱，20、凹陷部。

具體實(shí)施方式

以下具體實(shí)施例僅僅是對(duì)本實(shí)用新型的解釋?zhuān)洳⒉皇菍?duì)本實(shí)用新型的限制，本領(lǐng)域技術(shù)人員在閱讀完本說(shuō)明書(shū)后可以根據(jù)需要對(duì)本實(shí)施例做出沒(méi)有創(chuàng)造性貢獻(xiàn)的修改，但只要在本實(shí)用新型的權(quán)利要求范圍內(nèi)都受到專(zhuān)利法的保護(hù)。

實(shí)施例，如圖1所示，一種用于多晶硅太陽(yáng)能電池片背表面刻蝕的蝕刻裝置，包括蝕刻槽1，所述蝕刻槽1的槽體呈矩形狀，所述蝕刻槽1靠底部的位置設(shè)有勻流板2，所述勻流板2包括呈水平平鋪狀的中心板21以及四塊與所述中心板21四個(gè)邊角分別固定連接并向斜上方傾斜的邊角傾斜板22，所述勻流板2的下方配有鼓泡氣管3，所述鼓泡氣管3連接有鼓泡設(shè)備，所述中心板21和邊角傾斜板22上均開(kāi)設(shè)有與所述鼓泡氣管3相配合的鼓泡通孔4。槽體填充蝕刻溶液，鼓泡設(shè)備可以采用現(xiàn)有的氮?dú)庠O(shè)備，通過(guò)鼓泡氣管3向鼓泡通孔4吹氣，使得槽內(nèi)蝕刻液得到有效的流動(dòng)，鼓泡氣管3上應(yīng)開(kāi)設(shè)細(xì)小的出氣孔。

所述中心板21與邊角傾斜板22之間的固定連接處設(shè)有溫度調(diào)節(jié)管5，溫度調(diào)節(jié)管5可以采用水管等，調(diào)整槽內(nèi)的以維持穩(wěn)定的溫度。所述中心板21四個(gè)邊角的各個(gè)邊角傾斜板22與水平面的傾斜角度均相等，優(yōu)選角度在30度左右。

所述蝕刻槽1的外側(cè)壁的外圍設(shè)有隔板6，所述蝕刻槽1和隔板6之間連接有減震裝置61，所述蝕刻槽1的外側(cè)壁上還鋪設(shè)有冷卻管62。該方案的改進(jìn)可以保證結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定，同時(shí)，冷卻管62對(duì)外部穩(wěn)定有較好的調(diào)節(jié)作用，也能配合溫度調(diào)節(jié)管5工作。隔板6上安裝有支撐柱7，減震裝置可以采用現(xiàn)有的彈性設(shè)備。

進(jìn)一步地，所述中心板21和所述邊角傾斜板22上均具有向板背面凹陷的凹陷部20，所述鼓泡通孔4開(kāi)設(shè)在所述凹陷部20上，進(jìn)一步提升上述的有益效果。

另外，還可以配有相應(yīng)的PH傳感器、自動(dòng)加液裝置、自動(dòng)控制設(shè)備等，通過(guò)自動(dòng)控制設(shè)備的控制，進(jìn)行實(shí)時(shí)的監(jiān)控和控制，進(jìn)一步提升自動(dòng)化，保證蝕刻的有效性。