本實(shí)用新型涉及單晶硅清洗設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種持續(xù)穩(wěn)定的單晶硅片清洗裝置。

背景技術(shù)：

清洗硅片采用的清洗裝置設(shè)有八個(gè)水槽，每個(gè)水槽中設(shè)有加熱器，并通過(guò)加熱器溫控板控制水溫。清洗時(shí)從第一槽至第八槽按順序進(jìn)行，通常情況下，為保證清洗效果，第三槽和第四槽中清潔液的溫度需要設(shè)定在45～60℃，因第三槽和第四槽中的水加有清洗劑，需要保持不變狀態(tài)，而由于清洗裝置及其加熱器是連續(xù)不斷工作的，會(huì)導(dǎo)致第三槽和第四槽內(nèi)的水溫逐漸上升并超過(guò)60℃，導(dǎo)致硅片表面氧化，形成廢品。如果此時(shí)通過(guò)加熱器溫控板將加熱器關(guān)閉，停止加溫，加熱器溫控板就不能顯示第三槽和第四槽內(nèi)水的溫度，使操作人員不能很好掌握，從而影響硅片的正常清洗。

公開號(hào)為202034357U的專利中：一種單晶硅片清洗裝置，包括第一水槽、第二水槽、第三水槽、第四水槽、第五水槽、第六水槽、第七水槽、第八水槽，在每個(gè)水槽內(nèi)設(shè)有加熱器，每個(gè)加熱器與加熱器溫控板單獨(dú)連接，其特征在于在第三水槽和第四水槽中分別設(shè)有冷水循環(huán)管，在第三水槽和第四水槽的一側(cè)分別設(shè)有貯水槽，且冷水循環(huán)管與貯水槽相連接。通過(guò)冷水循環(huán)管吸收水槽中的熱量，用水來(lái)將水槽降溫，但是在持續(xù)工作一定時(shí)間后，貯水槽中的水溫度會(huì)隨著吸收熱量的增加而升溫，其冷卻效果則會(huì)慢慢降低，甚至無(wú)效。從而并不能做到不關(guān)閉加熱器持續(xù)工作。

因此，提供一種能夠穩(wěn)定持續(xù)工作的單晶硅片清洗裝置，就成為了業(yè)內(nèi)亟待解決的問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為解決背景技術(shù)提到的問(wèn)題，本實(shí)用新型提出如下技術(shù)方案：

一種持續(xù)穩(wěn)定的單晶硅片清洗裝置，包括第一水槽、第二水槽、第三水槽、第四水槽、第五水槽、第六水槽、第七水槽、第八水槽，在每個(gè)水槽內(nèi)設(shè)有加熱器，每個(gè)加熱器與加熱器溫控板單獨(dú)連接，所述第三水槽和第四水槽內(nèi)部均設(shè)有水冷塊，在第三水槽和第四水槽外側(cè)均設(shè)有散熱片、水箱、液體輸送泵，且所述水冷塊和散熱片、水箱、液體輸送泵依次通過(guò)液體輸送管順序相通連接。

優(yōu)選的，所述的散熱片外側(cè)設(shè)有若干散熱管，增加散熱效果。

優(yōu)選的，所述的水冷塊為一個(gè)內(nèi)部帶有水道的金屬塊，由銅或鋁制成，增加吸熱效果。

優(yōu)選的，所述的水冷塊橫截面為扁平的橢圓形，增大吸熱面積。

本實(shí)用新型具有的有益效果是：通過(guò)水冷塊吸收水槽中的熱量，傳遞到液體輸送管中的冷水中，來(lái)降低溫度；并通過(guò)散熱片，將液體輸送管中水的熱量傳遞到外部，因此，具有可持續(xù)穩(wěn)定的進(jìn)行清洗工作的優(yōu)點(diǎn)。

附圖說(shuō)明：

圖1為本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖。

其中：1-第一水槽，2-第二水槽，3-第三水槽，4-第四水槽，5-第五水槽，6-第六水槽，7-第七水槽，8-第八水槽，9-加熱器，10-加熱器溫控板，11-水冷塊，12-液體輸送管，13-散熱片，14-水箱，15-液體輸送泵，16-散熱管。

具體實(shí)施方式

為了使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本實(shí)用新型的技術(shù)方案，下面對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明：

一種持續(xù)穩(wěn)定的單晶硅片清洗裝置，包括第一水槽1、第二水槽2、第三水槽3、第四水槽4、第五水槽5、第六水槽6、第七水槽7、第八水槽8，在每個(gè)水槽內(nèi)設(shè)有加熱器9，每個(gè)加熱器9與加熱器溫控板10單獨(dú)連接，所述第三水槽3和第四水槽4內(nèi)部均設(shè)有水冷塊11，在第三水槽3和第四水槽4外側(cè)均設(shè)有散熱片13、水箱14、液體輸送泵15，且所述水冷塊11和散熱片13、水箱14、液體輸送泵15依次通過(guò)液體輸送管12順序相通連接。

優(yōu)選的，所述的散熱片13外側(cè)設(shè)有若干散熱管16，增加散熱效果。

優(yōu)選的，所述的水冷塊11為一個(gè)內(nèi)部帶有水道的金屬塊，由銅或鋁制成，增加吸熱效果。

優(yōu)選的，所述的水冷塊11橫截面為扁平的橢圓形，增大吸熱面積。

以上只通過(guò)說(shuō)明的方式描述了本實(shí)用新型的某些示范性實(shí)施例，毋庸置疑，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不偏離本實(shí)用新型的精神和范圍的情況下，可以用各種不同的方式對(duì)所描述的實(shí)施例進(jìn)行修正。因此，上述附圖和描述在本質(zhì)上是說(shuō)明性的，不應(yīng)理解為對(duì)本實(shí)用新型權(quán)利要求保護(hù)范圍的限制。