本實用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種傳送手臂。

背景技術(shù)：

目前，在酸槽單片機臺晶圓傳送過程中，通常使用到帶有邊緣接觸的晶圓卡銷(Edge contact only Gripper，簡稱ECO)的晶圓傳送手臂傳遞晶圓，該傳送手臂上設(shè)置有電容傳感器(Capacitance Sensor)，通過電容傳感器(Capacitance Sensor)的偵測，判斷晶圓是否存在以確保傳送過程正常進行。但是在長期的傳送過程中，會出現(xiàn)晶圓傳送手臂的接觸晶圓的位置出現(xiàn)細(xì)微偏差(hand off shift，該細(xì)微偏差是由于馬達(dá)驅(qū)動和物理位置微小改變(0.1～1mm)所導(dǎo)致的)或遇到晶圓曲率異常，從而導(dǎo)致出現(xiàn)一部分晶圓卡扣未卡住晶圓，另一部分卡住的情況。這種情況下電容傳感器仍然只能確定是否有晶圓存在，而不能確認(rèn)晶圓位置是否完全正常，從而導(dǎo)致后續(xù)的傳送過程中出現(xiàn)晶圓刮傷或破片，這是本領(lǐng)域技術(shù)人員所不期望見到的。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

針對上述存在的問題，本實用新型公開了一種傳送手臂，其中，包括中心盤和若干組支撐桿；

每組所述支撐桿均包括兩個支撐桿，各所述支撐桿的一端與所述中心盤固定連接，另一端設(shè)置有卡銷，且每組所述支撐桿中的兩個支撐桿之間的連線均經(jīng)過所述中心盤的中心；

其中，各所述卡銷均位于同一圓周上，且位于至少一組所述支撐桿上的兩個卡銷上設(shè)置有一組對射激光傳感器。

上述的傳送手臂，其中，位于若干組所述支撐桿的卡銷上均設(shè)置有一組對射激光傳感器。

上述的傳送手臂，其中，所述中心盤上設(shè)置有電容傳感器。

上述的傳送手臂，其中，若干所述支撐桿的尺寸均相同。

上述的傳送手臂，其中，所述傳送手臂應(yīng)用于傳送晶圓。

上述的傳送手臂，其中，各所述卡銷依次連接形成的圓形的尺寸與所述晶圓的尺寸相同。

上述的傳送手臂，其中，各所述支撐桿于所述中心盤四周均勻分布。

上述的傳送手臂，其中，所述傳送手臂為單片濕法蝕刻設(shè)備的傳送手臂。

上述的傳送手臂，其中，所述卡銷由一L型結(jié)構(gòu)、一連接部和一卡合部(pin)構(gòu)成，所述L型結(jié)構(gòu)的豎直部分的一端通過所述連接部與所述支撐桿連接，另一端與所述卡合部可旋轉(zhuǎn)連接，以在所述傳送手臂抓取晶圓后，利用所述卡合部對所述晶圓進行卡合。

上述的傳送手臂，其中，所述卡銷的材質(zhì)為聚偏氟乙烯(PVDF)。

上述實用新型具有如下優(yōu)點或者有益效果：

本實用新型公開了一種傳送手臂，通過于至少一組支撐桿的卡銷上設(shè)置一組對射激光傳感器，以在拾取晶圓時，利用多組激光傳感器彼此接受信號對晶圓位置進行檢測，從而達(dá)到在晶圓傳送過程中時刻能保證晶圓位置正確的目的。

附圖說明

通過閱讀參照以下附圖對非限制性實施例所作的詳細(xì)描述，本實用新型及其特征、外形和優(yōu)點將會變得更加明顯。在全部附圖中相同的標(biāo)記指示相同的部分。并未可以按照比例繪制附圖，重點在于示出本實用新型的主旨。

圖1是本實用新型實施例中傳送手臂的俯視圖；

圖2是本實用新型實施例中傳送手臂的側(cè)視圖；

圖3是圖2中A處的放大示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和具體的實施例對本實用新型作進一步的說明，但是不作為本實用新型的限定。

如圖1和圖2所示，本實施例涉及一種傳送手臂，可應(yīng)用于單片濕法蝕刻設(shè)備中傳送晶圓，具體的，該傳送手臂包括中心盤1和三組支撐桿；每組支撐桿均包括支撐桿21(22)，各支撐桿21(22)的一端與中心盤1固定連接，另一端設(shè)置有卡銷3，且每組支撐桿中的支撐桿21和支撐桿22之間的連線均經(jīng)過中心盤1的中心；其中，各卡銷3均位于同一圓周上，且每組支撐桿上的兩個卡銷3上均設(shè)置有一組對射激光傳感器4(即支撐桿21上設(shè)置對射激光傳感器4的發(fā)射端，支撐桿22上設(shè)置對射激光傳感器4的接收端，或支撐桿21上設(shè)置對射激光傳感器4的接收端，支撐桿22上設(shè)置對射激光傳感器4的發(fā)射端)，以達(dá)到在晶圓傳送過程中時刻能保證位置正確的目的。

在本實用新型一個優(yōu)選的實施例中，上述中心盤1上設(shè)置有電容傳感器5，以利用該電容傳感器5判斷晶圓是否存在，從而保證了傳送過程正常進行。

在本實用新型一個優(yōu)選的實施例中，上述若干支撐桿21(22)的尺寸均相同，即若干支撐桿21(22)的寬度、長度及均相同。

在本實用新型一個優(yōu)選的實施例中，各卡銷3依次連接形成的圓形的尺寸與晶圓的尺寸相同，以便能夠在晶圓傳送過程中卡緊晶圓(晶圓未于圖中示出)。

在本實用新型一個優(yōu)選的實施例中，各支撐桿21(22)于中心盤1四周均勻分布，以更好的在在晶圓傳送過程中卡緊晶圓。

在本實用新型一個優(yōu)選的實施例中，如圖3所示，上述卡銷3由一L型結(jié)構(gòu)、一卡合部和一連接部構(gòu)成，其中，L型結(jié)構(gòu)的豎直部分的一端(即豎直部分連接水平部分的一端)通過連接部與支撐桿21(22)連接，另一端與卡合部可旋轉(zhuǎn)連接，以在傳送手臂抓取晶圓后，利用卡合部對所述晶圓進行卡合(圖3中示出的卡合部的狀態(tài)是卡合晶圓的狀態(tài))。

在本實用新型一個優(yōu)選的實施例中，上述卡銷3的材質(zhì)為聚偏氟乙烯或其他材質(zhì)。

在此，值得一提的是，該傳送手臂與機臺設(shè)備相連接，對射激光傳感器和電容傳感器由機臺設(shè)備的控制器控制，傳送手臂拾取晶圓時(一般是傳送手臂垂直向下拾取晶圓，即傳送手臂如圖1所示的面垂直向下面朝晶圓以拾取晶圓)，控制器控制對射激光傳感器打開，三組對射激光傳感器彼此接受信號及電容傳感器接受信號，以檢測晶圓在傳送手臂上的位置是否正確，若不正確，則可以及時做出調(diào)整，以避免導(dǎo)致在傳送過程中出現(xiàn)晶圓刮傷或破片的現(xiàn)象。

此外，基于晶圓位置不好導(dǎo)致報廢的事情時有發(fā)生，因此需要根據(jù)實際情況設(shè)定檢查對射激光傳感器的頻率(例如每月一次)，以確保晶圓傳送過程中時刻能保證位置正確。

另外，本實用新型并不限于本實施例所闡述的傳送手臂結(jié)構(gòu)，可以應(yīng)用于所有半導(dǎo)體單片設(shè)備中使用到圓形卡銷構(gòu)造的機械傳送手臂。

以上對本實用新型的較佳實施例進行了描述。需要理解的是，本實用新型并不局限于上述特定實施方式，其中未盡詳細(xì)描述的設(shè)備和結(jié)構(gòu)應(yīng)該理解為用本領(lǐng)域中的普通方式予以實施；任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本實用新型技術(shù)方案范圍情況下，都可利用上述揭示的方法和技術(shù)內(nèi)容對本實用新型技術(shù)方案作出許多可能的變動和修飾，或修改為等同變化的等效實施例，這并不影響本實用新型的實質(zhì)內(nèi)容。因此，凡是未脫離本實用新型技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本實用新型的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所做的任何簡單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本實用新型技術(shù)方案保護的范圍內(nèi)。