本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體集成電路制作領(lǐng)域，且特別涉及一種涂膠顯影設(shè)備傳送手臂。

背景技術(shù)：

目前，在半導(dǎo)體器件的制造中，通常利用涂膠顯影設(shè)備(Automatic clean track，ACT)進(jìn)行涂覆光刻膠和顯影。通常ACT設(shè)備具有晶片盒站、涂膠單元、顯影單元以及機(jī)械手臂等。首先，ACT設(shè)備通過機(jī)械手臂將晶片盒內(nèi)的晶片取出放置到涂膠單元進(jìn)行涂膠，之后將晶片放到曝光設(shè)備進(jìn)行曝光，曝光完成后再將晶片放置到顯影單元進(jìn)行顯影，顯影結(jié)束后將晶片放回晶片盒站。

涂膠顯影設(shè)備是集成電路芯片制造過程中涂敷感光膠并加溫固化，圖形曝光后再進(jìn)行顯影成型的設(shè)備。其中的傳送手臂是起將晶片傳送到設(shè)備內(nèi)部各個單元的作用。

原設(shè)備傳送手臂多數(shù)為生產(chǎn)8吋硅片而設(shè)計。隨著LED產(chǎn)業(yè)及其它新型器件的興起，需要設(shè)備適用4吋藍(lán)寶石片或其它襯底基片生產(chǎn)。設(shè)備廠家已很少再生產(chǎn)小尺寸設(shè)備，新設(shè)備價格昂貴。如何將現(xiàn)有舊設(shè)備進(jìn)行改造利用成為急需解決的問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型提出一種涂膠顯影設(shè)備傳送手臂，使得原有舊設(shè)備具備了擴(kuò)展支持不同尺寸晶片的涂膠顯影。

為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提出一種涂膠顯影設(shè)備傳送手臂，包括：

裝配基座；

第一尺寸機(jī)械手臂，裝設(shè)于所述裝配基座上；

第二尺寸機(jī)械手臂，替換所述第一尺寸機(jī)械手臂并裝設(shè)于所述裝配基座上，其中所述第二尺寸機(jī)械手臂和所述第一尺寸機(jī)械手臂的承接部分中心點(diǎn)保持一致。

進(jìn)一步的，所述機(jī)械手臂包括手臂主體和承接部分，所述承接部分用于承載晶片。

進(jìn)一步的，所述手臂主體采用鋁合金材料制成。

進(jìn)一步的，所述承接部分采用不銹鋼材料制成。

進(jìn)一步的，所述承接部分包括三個承片塊構(gòu)成。

進(jìn)一步的，所述手臂主體上設(shè)置有多個螺孔，通過螺栓固定于所述裝配基座。

進(jìn)一步的，所述第一尺寸機(jī)械手臂為8吋傳送手臂，所述第二尺寸機(jī)械手臂為4吋傳送手臂。

本實(shí)用新型提出的涂膠顯影設(shè)備傳送手臂，將第二尺寸機(jī)械手臂裝配到第一尺寸機(jī)械手臂的裝配基座上，兩者的承接部分中心點(diǎn)保持一致，確?；膫鬏敎?zhǔn)確到位，通過以上改造，使得原有舊設(shè)備具備了擴(kuò)展支持不同尺寸晶片的涂膠顯影，節(jié)約了生產(chǎn)成本，這種利用現(xiàn)有舊設(shè)備進(jìn)行局部改造革新的思路方法可以推廣到除硅片，藍(lán)寶石片以外的其它基片的生產(chǎn)需求。

附圖說明

圖1所示為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的分別裝配第一尺寸機(jī)械手臂和第二尺寸機(jī)械手臂結(jié)構(gòu)比較示意圖。

圖2所示為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的第一尺寸機(jī)械手臂結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3所示為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的第二尺寸機(jī)械手臂結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖給出本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式，但本實(shí)用新型不限于以下的實(shí)施方式。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用于方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。

請參考圖1，圖1所示為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的分別裝配第一尺寸機(jī)械手臂和第二尺寸機(jī)械手臂結(jié)構(gòu)比較示意圖。本實(shí)用新型提出一種涂膠顯影設(shè)備傳送手臂，包括：裝配基座；第一尺寸機(jī)械手臂100，裝設(shè)于所述裝配基座上；第二尺寸機(jī)械手臂200，替換所述第一尺寸機(jī)械手臂100并裝設(shè)于所述裝配基座上，其中所述第二尺寸機(jī)械手臂200和所述第一尺寸機(jī)械手臂100的承接部分中心點(diǎn)保持一致，這樣能確保基片的傳輸準(zhǔn)確到位。

再請參看圖2和圖3，圖2所示為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的第一尺寸機(jī)械手臂結(jié)構(gòu)示意圖。圖3所示為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的第二尺寸機(jī)械手臂結(jié)構(gòu)示意圖。根據(jù)本實(shí)用新型較佳實(shí)施例，所述機(jī)械手臂包括手臂主體和承接部分，所述承接部分用于承載晶片。即第一尺寸機(jī)械手臂100包括手臂主體110和承接部分120，第二尺寸機(jī)械手臂200包括手臂主體210和承接部分220。

進(jìn)一步的，所述手臂主體110、210采用鋁合金材料制成，輕便穩(wěn)固，表面鈍化提高防腐能力。所述承接部分130、230采用不銹鋼材料制成，性能穩(wěn)定，不會對基片造成沾污，容易清洗，方便維護(hù)更換抗腐蝕性較好，比較適合在光刻膠，顯影液環(huán)境下工作。所述承接部分包括三個承片塊130、230構(gòu)成，其上可以承載基片。

根據(jù)本實(shí)用新型較佳實(shí)施例，所述手臂主體上設(shè)置有多個螺孔，通過螺栓固定于所述裝配基座。其中，所述第二尺寸機(jī)械手臂200的三個螺孔240和第一尺寸機(jī)械手臂100的三個螺孔140位置相互對準(zhǔn)，從而將第二尺寸機(jī)械手臂200裝設(shè)于所述第一尺寸機(jī)械手臂100的裝配基座上。

根據(jù)本實(shí)用新型較佳實(shí)施例，所述第一尺寸機(jī)械手臂100為8吋傳送手臂，所述第二尺寸機(jī)械手臂200為4吋傳送手臂。當(dāng)然也可以應(yīng)用到其他尺寸的傳送手臂適配上。

綜上所述，本實(shí)用新型提出的涂膠顯影設(shè)備傳送手臂，將第二尺寸機(jī)械手臂裝配到第一尺寸機(jī)械手臂的裝配基座上，兩者的承接部分中心點(diǎn)保持一致，確?；膫鬏敎?zhǔn)確到位，通過以上改造，使得原有舊設(shè)備具備了擴(kuò)展支持不同尺寸晶片的涂膠顯影，節(jié)約了生產(chǎn)成本，這種利用現(xiàn)有舊設(shè)備進(jìn)行局部改造革新的思路方法可以推廣到除硅片，藍(lán)寶石片以外的其它基片的生產(chǎn)需求。

雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本實(shí)用新型。本實(shí)用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種的更動與潤飾。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求書所界定者為準(zhǔn)。