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一種雙面鈍化太陽能電池的制作方法

文檔序號:12880598閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種雙面鈍化太陽能電池,包括硅襯底,在硅襯底正面的絨面結構,在絨面結構底部的N+層,在絨面結構上的正電極,在硅襯底背面的背面SiO2層,在SiO2層背面的背面氮化硅鈍化層,在背面氮化硅鈍化層背面的鋁硅合金層,以及位于鋁硅合金層背面的背電極,其特征在于,在絨面結構上表面從下往上依次具有正面SiO2層和正面氮化硅鈍化層,所述正電極穿過正面氮化硅鈍化層、正面SiO2層和絨面結構而進入N+層中;在硅襯底和背面SiO2層之間還具有P+層;所述背面SiO2層包括從上到下還依次堆疊的第一SiO2層和第二SiO2層;第一背電極穿過鋁硅合金層進入到背面氮化硅鈍化層中;所述第一SiO2層的厚度小于或等于所述第二SiO2層。

2.根據(jù)權利要求1所述的雙面鈍化太陽能電池,其特征在于,所述第一SiO2層為熱氧化SiO2層,所述第二SiO2層為等離子體增強化學氣相沉積SiO2層,所述正面SiO2層為熱氧化SiO2層。

3.根據(jù)權利要求1所述的雙面鈍化太陽能電池,其特征在于,所述P+層的厚度大于所述第一SiO2層的厚度,也大于所述第二SiO2層的厚度。

4.根據(jù)權利要求1所述的雙面鈍化太陽能電池,其特征在于,所述第一SiO2層的厚度大于所述正面SiO2層的厚度,所述第二SiO2層的厚度大于所述正面SiO2層的厚度。

5.根據(jù)權利要求1所述的雙面鈍化太陽能電池,其特征在于,所述第一SiO2層的厚度為1~3nm。

6.根據(jù)權利要求1所述的雙面鈍化太陽能電池,其特征在于,所述第二SiO2層的厚度為2~10nm。

7.根據(jù)權利要求1所述的雙面鈍化太陽能電池,其特征在于,所述正面SiO2層的厚度為1~3nm。

8.根據(jù)權利要求1所述的雙面鈍化太陽能電池,其特征在于,所述背面氮化硅鈍化層為疊層結構,其包括:與背面SiO2層的背面相接觸的SiNx鈍化層,在SiNx鈍化層背面的SiNy鈍化層,SiNx鈍化層中的硅含量高于SiNy鈍化層中的硅含量,其中,x、y均為正數(shù),且x≦y;所述SiNx鈍化層的厚度與所述SiNy鈍化層厚度不相同。

9.根據(jù)權利要求8所述的雙面鈍化太陽能電池,其特征在于,所述正面氮化硅層的表達式為SiNz,所述正面氮化硅鈍化層的硅含量低于SiNy鈍化層中的硅含量,z為正數(shù),z≧y;所述正面氮化硅鈍化層的厚度大于或等于所述SiNx鈍化層的厚度,且大于或等于所述SiNy鈍化層的厚度。

10.根據(jù)權利要求1所述的雙面鈍化太陽能電池,其特征在于,所述正面氮化硅鈍化層的厚度為40~200nm,所述背面氮化硅鈍化層的厚度為40~200nm。

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