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一種分立的功率mos場(chǎng)效應(yīng)管的制作方法

文檔序號(hào):12803327閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種分立的功率mos場(chǎng)效應(yīng)管,其特征在于,包括襯底以及襯底上的外延層,外延層上的溝道區(qū)內(nèi)設(shè)有源區(qū),外延層上依次設(shè)有柵極、層間介質(zhì)和金屬層,源區(qū)中的N+和P+均與金屬層接觸。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種分立的功率mos場(chǎng)效應(yīng)管,其特征在于,所述襯底為N型襯底。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種分立的功率mos場(chǎng)效應(yīng)管,其特征在于,具體的金屬層底部與P+接觸,金屬層兩側(cè)與N+側(cè)壁接觸。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種分立的功率mos場(chǎng)效應(yīng)管,其特征在于,源區(qū)兩側(cè)設(shè)有JFET注入層。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種分立的功率mos場(chǎng)效應(yīng)管,其特征在于,其中N+底線與P+上線平齊。

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