本實用新型涉及清洗設備技術領域，具體為一種新型多晶硅片清洗機。

背景技術：

目前，超聲波清洗的目的主要是清除多晶硅表面的沾污，如微粒，有機物，無機金屬離子、氧化層等雜質。多晶硅表面吸附雜質的主要原因是，多晶硅表面原子垂直向上的化學鍵被破壞成為懸空鍵，在多晶硅表面形成自由力場，極易吸附各種雜質。這些雜質和多晶硅之間迅速形成化學吸附，難以去除。在生產多晶硅的生產工藝過程中，其中的一個重要環(huán)節(jié)，是采用超聲波清洗應用技術，但是一般超聲波清機洗清洗效率低，且檢驗不合格產品需重頭清洗，使清洗效率變低，且一次只能清洗一批多晶硅片。

技術實現要素：

本實用新型的目的在于提供一種新型多晶硅片清洗機，以解決上述背景技術中提出的問題，所具有的有益效果是：通過超聲波刻蝕槽、超聲波堿洗槽和超聲波酸洗槽依次對多晶硅片清洗，可有效去除晶片表面污物，清洗效率高。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種新型多晶硅片清洗機，包括外殼、超聲波刻蝕槽、超聲波堿洗槽和超聲波酸洗槽，所述外殼外壁開設有返洗口，且返洗口下端設置有加液板，所述外殼右側固定有PLC控制器，所述外殼內部固定有導軌，且導軌與滑塊滑動連接，所述滑塊下端連接有伸縮桿，且伸縮桿另一端固定有機械爪，所述機械爪通過提手與清洗籃固定，且清洗籃左右兩側分別開設有進料口和出料口，所述清洗籃下端設置有換位板，所述換位板通過滑軌與外殼滑動連接，且滑軌固定于外殼內壁，所述超聲波刻蝕槽、超聲波堿洗槽和超聲波酸洗槽固定于外殼底部，且超聲波刻蝕槽、超聲波堿洗槽和超聲波酸洗槽右側均固定有漂洗槽，所述漂洗槽上方均安裝有吹風口。

優(yōu)選的，所述進料口和出料口下方開設有排氣口。

優(yōu)選的，所述清洗籃設置有三個，且清洗籃小于清洗槽。

優(yōu)選的，所述超聲波刻蝕槽、漂洗槽、超聲波堿洗槽和超聲波酸洗槽內均規(guī)定有液位計。

優(yōu)選的，所述加液板通過銷軸與外殼轉動連接。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：該設備通過PLC控制控制滑塊、伸縮桿和機械爪，使清洗籃依次通過超聲波刻蝕槽、超聲波堿洗槽和超聲波酸洗槽清洗，動作平穩(wěn)，再通過超聲波刻蝕槽、超聲波堿洗槽和超聲波酸洗槽清洗后通過吹風口出風進行干燥后進入漂洗槽清洗，通過換位板在外殼內滑動使機械手松開清洗籃放在換位板，通過后一個機械手抓取在后一個清洗槽中進行清洗，通過傳動方式清洗，清洗效率高。

附圖說明

圖1為本實用新型內部的結構示意圖；

圖2為本實用新型的主視圖。

圖中：1-外殼；2-滑塊；3-吹風口；4-導軌；5-伸縮桿；6-提手；7-機械爪；8-進料口；9-清洗籃；10-排氣口；11-超聲波刻蝕槽；12-漂洗槽；13-超聲波堿洗槽；14-換位板；15-超聲波酸洗槽；16-出料口；17-滑軌；18-返洗口；19-加液板；20-PLC控制器。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

請參閱圖1和圖2，本實用新型提供的一種實施例：一種新型多晶硅片清洗機，包括外殼1、超聲波刻蝕槽11、超聲波堿洗槽13和超聲波酸洗槽15，外殼1外壁開設有返洗口18，且返洗口18下端設置有加液板19，外殼1右側固定有PLC控制器20，外殼1內部固定有導軌4，且導軌4與滑塊2滑動連接，滑塊2下端連接有伸縮桿5，且伸縮桿5另一端固定有機械爪7，機械爪7通過提手6與清洗籃9固定，且清洗籃9左右兩側分別開設有進料口8和出料口17，清洗籃9下端設置有換位板14，換位板14通過滑軌18與外殼1滑動連接，且滑軌18固定于外殼1內壁，超聲波刻蝕槽11、超聲波堿洗槽13和超聲波酸洗槽15固定于外殼1底部，且超聲波刻蝕槽11、超聲波堿洗槽13和超聲波酸洗槽15右側均固定有漂洗槽12，漂洗槽12上方均安裝有吹風口3，進料口8和出料口17下方開設有排氣口10，清洗籃9設置有3個，且清洗籃9小于清洗槽，超聲波刻蝕槽11、漂洗槽12、超聲波堿洗槽13和超聲波酸洗槽15內均規(guī)定有液位計，加液板19通過銷軸與外殼1轉動連接。

工作原理：使用時多晶硅片通過進料口8放入清洗籃9中，通過PLC控制器20控制滑塊2、伸縮桿5和機械爪7，使清洗籃9依次通過超聲波刻蝕槽11、超聲波堿洗槽13和超聲波酸洗槽15清洗，在通過超聲波刻蝕槽11、超聲波堿洗槽13和超聲波酸洗槽15清洗后通過吹風口3出風進行干燥后進入漂洗槽12清洗，通過換位板14在外殼1內滑動使機械爪7松開清洗籃9放在換位板14，通過后一個機械手14抓取在后一個清洗槽中進行清洗。

對于本領域技術人員而言，顯然本實用新型不限于上述示范性實施例的細節(jié)，而且在不背離本實用新型的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實現本實用新型。因此，無論從哪一點來看，均應將實施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本實用新型的范圍由所附權利要求而不是上述說明限定，因此旨在將落在權利要求的等同要件的含義和范圍內的所有變化囊括在本實用新型內。不應將權利要求中的任何附圖標記視為限制所涉及的權利要求。