本發(fā)明涉及一種接觸式供電裝置。

背景技術(shù)：

這種接觸式供電裝置例如已知的有專(zhuān)利文獻(xiàn)1。該裝置中，為了以磁控濺射裝置用的旋轉(zhuǎn)式陰極單元向筒狀的靶施加電力而使用了供電裝置。供電裝置包括固定在規(guī)定位置上的作為導(dǎo)電的軸體的內(nèi)筒體；同心配置在該軸體的周?chē)淖鳛閷?dǎo)電性的筒體的外筒體(靶)；旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)外筒體的驅(qū)動(dòng)裝置；以及在軸方向上留出規(guī)定間隔而突出設(shè)置在內(nèi)筒體的外周面、并隨著外筒體的旋轉(zhuǎn)而在該外筒體的內(nèi)周面上滑動(dòng)的同時(shí)導(dǎo)通內(nèi)筒體和外筒體的電刷。

再有，在內(nèi)筒體的一端設(shè)置冷卻劑的流入口的同時(shí)，在位于外筒體的內(nèi)側(cè)的內(nèi)筒體的另一端設(shè)置冷卻劑的流出口。并且，設(shè)置為從內(nèi)筒體的另一端的流出口流出的冷卻劑流過(guò)內(nèi)筒體和外筒體之間的空間，從設(shè)置在外筒體的一端的冷卻劑流出口流出。由此，在濺射時(shí)，不僅能使靶冷卻，還可將冷卻劑流入口到冷卻劑流出口的循環(huán)通道內(nèi)的灰塵等清出去。

此處，在上述種類(lèi)的接觸式供電裝置中，通常是針對(duì)內(nèi)筒體和外筒體的材質(zhì)來(lái)選擇電刷的材質(zhì)，以使電刷優(yōu)先損耗。因此，如上述已往例子那樣，只在內(nèi)筒體上突出設(shè)置電刷的話(huà)，隨著電刷的滑動(dòng)，該電刷與外筒體的接觸面將會(huì)磨損，而導(dǎo)致外筒體的內(nèi)周面與電刷的接觸面積變小，或者外筒體的內(nèi)周面完全接觸不到電刷，從而無(wú)法有效地使電流在內(nèi)筒體和外筒體之間流通，存在很早就到達(dá)使用壽命的問(wèn)題。另一方面，作為設(shè)置在內(nèi)筒體和外筒體之間的電刷，已知使用的是將線條材料成形為螺旋狀的產(chǎn)品(例如參照專(zhuān)利文獻(xiàn)2)。但是，在這樣的結(jié)構(gòu)中，要保證電刷本身的徑向方向的厚度是很困難的，最終導(dǎo)致使用壽命提前。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)

【專(zhuān)利文獻(xiàn)1】專(zhuān)利第3974541號(hào)公報(bào)

【專(zhuān)利文獻(xiàn)2】專(zhuān)利公開(kāi)2014－143155號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題

鑒于以上內(nèi)容，本發(fā)明的課題是提供一種即便電刷損耗，但通?？梢钥煽康乇ＷC電刷與軸體以及筒體的接觸，使電流在軸體和筒體之間有效地流通的使用壽命高的接觸式供電裝置。

解決技術(shù)問(wèn)題的手段

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的接觸式供電裝置，其具有導(dǎo)電的軸體；在該軸體的周?chē)呐渲玫膶?dǎo)電的筒體；以及配置在軸體和筒體之間的空間內(nèi)并在軸體和筒體相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)期間使軸體與筒體導(dǎo)通的電刷；上述接觸式供電裝置，其特征在于：電刷具有帶有與軸體的外周面進(jìn)行面接觸的內(nèi)壁面的第一電刷片；以及帶有與筒體的內(nèi)周面進(jìn)行面接觸的外壁面的第二電刷片；使這些第一電刷片和第二電刷片以面接觸的狀態(tài)在周方向上交替配置；使第一電刷片和第二電刷片的彼此面接觸的側(cè)壁面各自形成為相對(duì)徑向傾斜的圓錐狀，設(shè)置在彼此相鄰的第一電刷片和彼此相鄰的第二電刷片中的至少一種之間，設(shè)置向相對(duì)于第一電刷片或第二電刷片遠(yuǎn)離的方向施加作用力的施力裝置。。

采用本發(fā)明，一旦使軸體和筒體相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)，則根據(jù)軸體和筒體的相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)速度、軸體的外周面與第一電刷片的摩擦阻力或筒體的內(nèi)周面與第二電刷片的摩擦阻力等，第一電刷片和第二電刷片中的至少一種在軸體的外周面或筒體的內(nèi)周面上移動(dòng)。伴隨著該移動(dòng)，第一電刷片的內(nèi)壁面和第二電刷片的外壁面磨損，在第一電刷片的內(nèi)壁面與軸體的外周面之間或第二電刷片的外壁面與筒體的外周面之間產(chǎn)生間隙。如此，由于使相互面接觸的第一電刷片和第二電刷片的側(cè)壁面呈圓錐狀，給彼此相鄰的第一電刷片或第二電刷片施力，所以例如當(dāng)?shù)诙娝⑵皇┝肆r(shí)，這些被施了力的兩個(gè)第二電刷片先被推向彼此遠(yuǎn)離的方向，其外壁面與筒體的內(nèi)周面再次面接觸。隨之，在周方向上各自臨近這些第二電刷片的第一電刷片分別被推向徑向的內(nèi)向，其內(nèi)壁面與軸體的外周面再次面接觸。同樣地，通過(guò)其余的第二電刷片被推向徑向的外向而其余的第一電刷片被推向徑向的內(nèi)向，使得所有的第一電刷片和第二電刷片分別與筒體的內(nèi)周面和軸體的外周面面接觸。

如此，在本發(fā)明中，即便第一電刷片或第二電刷片因滑動(dòng)而磨損，一般也能可靠地保證軸體和筒體的接觸，在使軸體和筒體相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)期間，可使電流在軸體和筒體之間有效地流通，此外，只要施力裝置的作用力作用在第一電刷片和第二電刷片的徑向厚度范圍內(nèi)，就能可靠地保證電刷與軸體以及筒體的接觸，所以可使接觸式供電裝置的使用壽命增加。

然而，一旦第一電刷片和第二電刷片中的至少一種在軸體的外周面或筒體的內(nèi)周面上滑動(dòng)，則會(huì)產(chǎn)生磨損粉塵，又是會(huì)出現(xiàn)妨礙軸體和筒體間的光滑的相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)等的問(wèn)題。因此，在本發(fā)明中，在軸體是筒狀這類(lèi)的情況下，也可采用分別在所述第一電刷片的外壁面和所述筒體的內(nèi)壁面之間，以及在所述第二電刷片的內(nèi)壁面和所述軸體的外壁面之間設(shè)置空間，采用第一電刷片的外壁面與從該外壁面向徑向的外向延伸的第二電刷片的側(cè)壁面、以及第二電刷片的內(nèi)壁面與從該內(nèi)壁面向徑向的內(nèi)向延伸的第一電刷片的側(cè)壁面來(lái)限定出允許液體通過(guò)的連通路徑的結(jié)構(gòu)。由此，根據(jù)本發(fā)明的供電裝置的用途，在使軸體和筒體相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)期間，使冷卻水或絕緣性的工作油等液體從軸體內(nèi)流出并流過(guò)軸體和筒體之間的空間而循環(huán)的話(huà)，可用連通路徑中流動(dòng)的液體來(lái)在除去磨損粉塵，此外，在使工作油循環(huán)這類(lèi)的情況下，可減輕第一電刷片、第二電刷片的磨損，也可進(jìn)一步增加使用壽命。

再有，優(yōu)選第一電刷片具有彎曲成與內(nèi)壁面同心的圓弧狀的外壁面，第二電刷片具有彎曲成與外壁面同心的圓弧狀的內(nèi)壁面。由此，能盡量保證第一電刷片和第二電刷片的徑向厚度，使可損耗的量增加，從而可進(jìn)一步增加使用壽命。

此外，在本發(fā)明中，優(yōu)選所述施力裝置是壓縮設(shè)置在相鄰的第一電刷片的側(cè)壁面之間或第二電刷片的側(cè)壁面之間的盤(pán)簧，在軸方向上距離規(guī)定間隔設(shè)置多個(gè)盤(pán)簧。

附圖說(shuō)明

圖1是省略了其中一部分的本發(fā)明的實(shí)施方式的供電裝置的剖面圖。

圖2是放大的圖1所示的供電裝置的關(guān)鍵部分的立體圖。

圖3是采用本發(fā)明的供電裝置的濺射裝置用的旋轉(zhuǎn)陰極單元的主視圖。

圖4是放大的旋轉(zhuǎn)陰極單元的關(guān)鍵部分的部分剖面圖。

具體實(shí)施方式

下面，參照附圖，使用金屬等導(dǎo)電性材料構(gòu)成的內(nèi)筒體和外筒體作為軸體和筒體，對(duì)本發(fā)明的接觸式供電裝置的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。

參照?qǐng)D1和圖2，fm是本實(shí)施方式的接觸式供電裝置。接觸式供電裝置fm具有圓形剖面的內(nèi)筒體1；同心配置在該內(nèi)筒體1的周?chē)⑶乙欢?圖1中為左側(cè))封閉的圓形剖面的外筒體2；旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)外筒體2的驅(qū)動(dòng)裝置3；以及配置在內(nèi)筒體1和外筒體2之間的空間4內(nèi)并使內(nèi)筒體1和外筒體2導(dǎo)通的電刷br。作為驅(qū)動(dòng)裝置3，只要是可使外筒體2相對(duì)內(nèi)筒體1轉(zhuǎn)動(dòng)的裝置即可，沒(méi)有特別限定，例如可構(gòu)成為具有電機(jī)3a；以及卷繞在設(shè)置于電機(jī)3a的驅(qū)動(dòng)軸上的皮帶輪3b與外筒體2的外周面之間的帶3c。

電刷br是相對(duì)于內(nèi)筒體1或外筒體2的材質(zhì)優(yōu)先磨損的材質(zhì)，由第一電刷片5和第二電刷片6構(gòu)成。第一電刷片5和第二電刷片6例如可采用下述方法制作。即在徑向上以大致相等的間隔將具有與內(nèi)筒體1和外筒體2之間的徑向長(zhǎng)度相同的厚度且可插入到空間4內(nèi)的筒狀部件(未示出)分割成多個(gè)圓弧部分(本實(shí)施方式中是分割成10部分)。此時(shí)，通過(guò)使該分割面交替向不同于徑向(圖1中為上下方向)的方向傾斜，形成帶有朝徑向的外向逐漸變窄的圓錐狀的分割面的一個(gè)圓弧部分，以及帶有朝徑向的外向逐漸變寬的圓錐狀的分割面的另一個(gè)圓弧部分，以一個(gè)圓弧部分作為第一電刷片5，以另一個(gè)圓弧部分作為第二電刷片6。由此，在第一電刷片5具有與內(nèi)筒體1的外周面1a面接觸的內(nèi)壁面5a的同時(shí)，第二電刷片6具有與外筒體2的內(nèi)周面2a面接觸的外壁面6a，作為第一電刷片5和第二電刷片6各自的分割面的側(cè)壁面5b、6b形成為相對(duì)徑向傾斜的圓錐狀并彼此面接觸。

再有，在將第一電刷片5和第二電刷片6插設(shè)在空間4內(nèi)的狀態(tài)下，沿與上述筒狀部件同心的圓弧切削第一電刷片5的外壁面5c以在第一電刷片5的外壁面5c和外筒體2的內(nèi)周面2a之間設(shè)置空間4a，同時(shí)沿與筒狀部件同心的圓弧切削第二電刷片6的內(nèi)壁面6c以在第二電刷片6的內(nèi)壁面6c和內(nèi)筒體1的外周面1a之間設(shè)置空間4b。由此，第一電刷片5具有彎曲成與其內(nèi)壁面5a同心的圓弧狀的外壁面5c，第二電刷片6具有彎曲成與其外壁面6a同心的圓弧狀的內(nèi)壁面6c。并且，通過(guò)第一電刷片5的外壁面5c和從該外壁面5c向徑向的外向延伸的第二電刷片6的側(cè)壁面6b、6b，以及第二電刷片6的內(nèi)壁面6c和從該內(nèi)壁面6c向徑向的內(nèi)向延伸的第一電刷片5的側(cè)壁面5b、5b來(lái)限定允許液體通過(guò)的連通路徑4a、4b。

進(jìn)而，在將第一電刷片5和第二電刷片6插設(shè)在空間4內(nèi)時(shí)，省略一個(gè)第一電刷片5，以第二電刷片61、62表示該省略的第一電刷片5兩側(cè)的第二電刷片6，在軸方向上彼此相鄰的第二電刷片61、62的側(cè)壁面6b間壓縮設(shè)置作為向兩第二電刷片61、62施加遠(yuǎn)離方向的作用力的施力裝置的盤(pán)簧7。此時(shí)，在軸方向上以等間隔設(shè)置三個(gè)具有相同彈性系數(shù)的盤(pán)簧7。此外，也可在內(nèi)筒體1的外周面1a和外筒體2的內(nèi)周面2a上預(yù)先設(shè)置向徑向突出的突出片8，在將第一電刷片5和第二電刷片6插設(shè)在空間4內(nèi)時(shí)，將第一電刷片5和第二電刷片6保持為軸方向位置固定。再有，也可根據(jù)需要在盤(pán)簧7上設(shè)置防止傾斜或壓曲的公知結(jié)構(gòu)。

采用上述方法，一旦旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)電機(jī)3a使外筒體2轉(zhuǎn)動(dòng)，則外筒體2相對(duì)于內(nèi)筒體1作相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)。此時(shí)，根據(jù)外筒體2的相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)速度、內(nèi)筒體1的外周面1a與第一電刷片5的摩擦阻力，或外筒體2的內(nèi)周面2a與第二電刷片6的摩擦阻力等，使第一電刷片5和第二電刷片6中的至少一種在內(nèi)筒體1的外周面1a或外筒體2的內(nèi)周面2a上移動(dòng)。隨著該移動(dòng)，第一電刷片5的內(nèi)壁面5a或第二電刷片6的外壁面6a損耗，在第一電刷片5的內(nèi)壁面5a與內(nèi)筒體1的外周面1a之間、或第二電刷片6的外壁面6a與外筒體2的內(nèi)周面2a之間產(chǎn)生縫隙。這樣一來(lái)，由于彼此面接觸的第一電刷片5和第二電刷片6的側(cè)壁面5b、6b呈圓錐狀，由盤(pán)簧7向第二電刷片6施加有作用力，所以第二電刷片61、62先被推向彼此分離的方向，兩第二電刷片61、62的外壁面6a與外筒體2的內(nèi)周面2a再次面接觸。隨之，以第一電刷片51、52表示在周方向上分別與兩第二電刷片61、62相鄰的第一電刷片5，第一電刷片51、52分別被推向徑向的內(nèi)向，這兩個(gè)第一電刷片51、52的內(nèi)壁面5a與內(nèi)筒體1的外周面1a再次面接觸。同樣地，其余的第二電刷片63～65被推向徑向的外向，其余的第一電刷片53、54被推向徑向的內(nèi)向，所有的第一電刷片5和第二電刷片6與外筒體2的內(nèi)周面2a和內(nèi)筒體1的外周面1a面接觸。

從而，即便第一電刷片5或第二電刷片6因滑動(dòng)而磨損，一般也能可靠地保證內(nèi)筒體1和外筒體2的接觸，在使內(nèi)筒體1和外筒體2相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)期間，可使電流有效地在內(nèi)筒體1和外筒體2之間流通，此外，只要盤(pán)簧7的作用力作用在第一電刷片5和第二電刷片6的徑向的厚度范圍內(nèi)，就能可靠地保證電刷br與內(nèi)筒體1和外筒體2的接觸，所以可實(shí)現(xiàn)增加供電裝置fm的使用壽命。此時(shí)，除為了設(shè)置盤(pán)簧7而省略了一個(gè)第一電刷片5的范圍外，在第二電刷片61、62的外壁面6a與外筒體2的內(nèi)周面2a面接觸的同時(shí)，第一電刷片51、52的內(nèi)壁面5a與內(nèi)筒體1的外周面1a也面接觸，因此，可保證比以往例子的電刷更大的接觸面積，在流通大的高頻電流這類(lèi)的情況下是有利的。并且，與以往例子的電刷相比，可縮短在電刷與內(nèi)筒體的外周面和外筒體的內(nèi)周面的接觸面積設(shè)計(jì)為相同時(shí)的軸方向的長(zhǎng)度，有利于使用本發(fā)明的供電裝置的裝置的小型化。

再有，由于限定出了允許液體通過(guò)的連通路徑4a、4b，所以根據(jù)供電裝置fm的用途，如果使冷卻水等冷媒或絕緣性的工作油等液體從內(nèi)筒體1的內(nèi)部空間1b流過(guò)該內(nèi)筒體1和外筒體2之間的空間4和連通路徑4a、4b而循環(huán)的話(huà)，則可用流過(guò)空間4和連通路徑4a、4b的液體來(lái)去除磨損粉塵，并且，也可消除因通電而產(chǎn)生的熱量。此外，在使用工作油這類(lèi)的情況下，可減輕第一電刷片5、第二電刷片6的損耗從而進(jìn)一步增加使用壽命。再有，在使液體循環(huán)的情況下，優(yōu)選在液體循環(huán)通道中設(shè)置去除磨損粉塵的過(guò)濾器。再有，由于第一電刷片5具有彎曲成與內(nèi)壁面5a同心的圓弧狀的外壁面5c，第二電刷片6具有彎曲成與外壁面6a同心的圓弧狀的內(nèi)壁面6c，所以能盡量保證第一電刷片5和第二電刷片6的徑向的厚度，增加可損耗的量從而可進(jìn)一步增加使用壽命。

以上對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明并不受上述方式所限定。在上述實(shí)施方式中，以用內(nèi)筒體1作為軸體的裝置為例進(jìn)行了說(shuō)明，但也可使用實(shí)心的裝置，再有，以旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)外筒體2的裝置為例進(jìn)行了說(shuō)明，但不僅是外筒體2，分別旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)內(nèi)筒體1和外筒體2的裝置也適用本發(fā)明。再有，在上述實(shí)施方式中，以只在內(nèi)筒體1和外筒體2之間通過(guò)電刷br通電的裝置為例進(jìn)行了說(shuō)明，但并不僅限于此，本發(fā)明也可適用于所謂的多極化裝置。此時(shí)，例如在軸方向上加入需要的絕緣距離將軸體和筒體劃分成多個(gè)，分別在劃分出的軸體和筒體之間插設(shè)上述電刷br即可。

再有，第一電刷片5和第二電刷片6的形狀，只要是具有與內(nèi)筒體1的外周面1a、外筒體2的內(nèi)周面2b分別面接觸的壁面5a、6a，或彼此面接觸的側(cè)壁面5b、6b的裝置即可，并不僅限于上述裝置，進(jìn)而，以切割第一電刷片5的外壁面5c和第二電刷片6的內(nèi)壁面6c限定出連通路徑4a、4b的裝置為例進(jìn)行了說(shuō)明，但例如也可通過(guò)在電刷片5、6上形成軸向貫通的通孔而設(shè)置連通路徑。再有，雖未特別圖示說(shuō)明，但例如也可在外筒體2的內(nèi)周面2a上形成縱貫其全長(zhǎng)的螺旋狀的朝徑向凹陷的槽部，通過(guò)在旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)外筒體2時(shí)，運(yùn)送存在于內(nèi)筒體1和外筒體2之間的空間4的液體，從而省去液體循環(huán)用的泵，使液體在供電裝置fm內(nèi)循環(huán)。再有，以在第二電刷片6間設(shè)置施力裝置的裝置為例進(jìn)行了說(shuō)明，但也可在第一電刷片5間設(shè)置施力裝置。再有，以使用盤(pán)簧7作為施力裝置的裝置為例進(jìn)行了說(shuō)明，但并不僅限于此。

接著，以將上述實(shí)施方式的接觸式供電裝置應(yīng)用于濺射裝置用的旋轉(zhuǎn)式陰極單元中為例進(jìn)行說(shuō)明。以下以圖3所示的旋轉(zhuǎn)式陰極單元的姿態(tài)為基準(zhǔn)，采用稱(chēng)為“上”、“下”、“左”、“右”的表示方向的用語(yǔ)，并且，構(gòu)成上述實(shí)施方式的供電裝置的部件采用同一符號(hào)。

參照?qǐng)D3和圖4，設(shè)置在圖外的真空室內(nèi)的旋轉(zhuǎn)式陰極單元rc間隔絕緣材料與作為成膜對(duì)象的基板w在上下方向上相對(duì)，并由圓筒狀的靶tg、經(jīng)夾具cp連接在靶tg的右端的驅(qū)動(dòng)塊10以及經(jīng)夾具cp連接在靶tg的左端的支撐塊20構(gòu)成。在支撐塊20上設(shè)置有由軸承21支撐的從動(dòng)軸22，旋轉(zhuǎn)自如地支撐靶tg的一端。靶tg由筒狀的襯底管31和通過(guò)銦或錫等粘接材料(未圖示)接合在襯底管31上的筒狀的靶材32構(gòu)成。作為靶材32，使用根據(jù)要在基板w上形成的膜的組成而從金屬或金屬化合物中適當(dāng)選擇的物質(zhì)。

襯底管31外插有在作為靶tg的軸方向的左右方向大致全長(zhǎng)上延伸的外管33，在外管33內(nèi)，同心設(shè)置內(nèi)管34。外管33的左右方向兩端的開(kāi)口分別由帽體35封閉，在帽體35上分別開(kāi)設(shè)軸方向的通孔35a。并且，內(nèi)管34的內(nèi)部空間構(gòu)成冷卻水等冷媒循環(huán)時(shí)的去路34a，內(nèi)管34和外管33之間的空間構(gòu)成回路33a。再有，雖未特別圖示說(shuō)明，但也可在內(nèi)管34和外管33之間的空間內(nèi)組裝具有公知結(jié)構(gòu)的磁鐵單元，在向靶tg施加規(guī)定的電位濺射靶材32時(shí)，產(chǎn)生漏磁場(chǎng)以便通過(guò)靶tg和基板w之間的磁場(chǎng)的垂直成分為零的位置的線沿靶材32的軸方向的大致全長(zhǎng)延伸并封閉成跑道狀。

驅(qū)動(dòng)塊10具有外殼11，外殼11的右內(nèi)壁上架設(shè)向左右方向延伸的內(nèi)筒體1，內(nèi)筒體1的左端與內(nèi)管34液密地連接。在固定在外殼11上的內(nèi)筒體1的周?chē)?，與該內(nèi)筒體1同心配置有外筒體2。在外筒體2的內(nèi)周面2a上，設(shè)置有徑向凹陷的環(huán)狀的凹部2b，在該凹部2b處嵌連有電刷br的第二電刷片6。此時(shí)，只有由第一電刷片5的外壁面5c和從該外壁面5c向徑向的外向延伸的第二電刷片6的側(cè)壁面6b、6b所限定出的連通路徑4b允許冷媒通過(guò)。

外筒體2由通過(guò)多個(gè)軸承12a插在外殼11內(nèi)的支撐部件13旋轉(zhuǎn)自如地支撐。在外筒體2上位于軸承12a的左右方向兩側(cè)外插設(shè)油封12b。再有，在外筒體2的外周面2a上，在與電機(jī)3a的驅(qū)動(dòng)軸上設(shè)置的皮帶輪3b之間卷繞有帶3c。再有，在外筒體2的左端液密地安裝有導(dǎo)電的法蘭14，經(jīng)該法蘭14通過(guò)夾具cp與襯底管31相連接。由此，一旦驅(qū)動(dòng)電機(jī)3a使外筒體2旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，則靶tg與該外筒體2一體地被以規(guī)定轉(zhuǎn)數(shù)來(lái)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。此時(shí)，內(nèi)筒體1經(jīng)電刷br與外筒體2導(dǎo)通，該外筒體2經(jīng)法蘭14與襯底管31進(jìn)而與靶材32導(dǎo)通(即內(nèi)筒體1與靶材32呈同電位)。在從外筒體2向左側(cè)突出的內(nèi)筒體1的部分外插設(shè)將來(lái)自回路33a的冷媒引導(dǎo)到內(nèi)筒體1和外筒體2之間的連通路徑4的引導(dǎo)板15。

在外殼11上設(shè)置有內(nèi)部分別設(shè)置了去路17a和回路17b且前端與內(nèi)筒體1相連接的導(dǎo)電的管道17。并且，去路17a與內(nèi)筒體1的內(nèi)部空間1b相連通，回路17b與內(nèi)筒體1和外筒體2之間的空間4相連通。由此，形成從管道17的去路17a經(jīng)內(nèi)筒體1的內(nèi)部空間1b與內(nèi)管34內(nèi)的去路34a相連通，從左側(cè)的帽體35的透孔35a通過(guò)回路33a，經(jīng)透孔35a與內(nèi)筒體1和外筒體2之間的空間4相連通，經(jīng)連通路徑4a返回回路17b的冷媒循環(huán)通道，在濺射中，可通過(guò)與冷媒的熱交換冷卻靶材32。再有，在管道17上連接有來(lái)自圖外的濺射電源的輸出電纜18。由此，可一邊通過(guò)電機(jī)3a旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)外筒體2而旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)靶tg，一邊經(jīng)來(lái)自濺射電源的輸出電纜18向靶材32施加例如帶有負(fù)電位的規(guī)定電力。

附圖標(biāo)記說(shuō)明

fm…接觸式供電裝置、內(nèi)筒體(軸體)、1…內(nèi)筒體(軸體)、1a…外周面、2…外筒體(筒體)、2a…內(nèi)周面、4…內(nèi)筒體和外筒體之間的空間、4a，4b…電刷片之間的連通路徑，br…電刷、5…第一電刷片、5a…內(nèi)壁面、5b…側(cè)壁面、5c…外壁面、6…第二電刷片、6a…外壁面、6b…側(cè)壁面、6c…內(nèi)壁面、7…盤(pán)簧(施力裝置)。