相關(guān)申請(qǐng)案的交叉參考

本申請(qǐng)案依據(jù)35u.s.c.§119(e)主張2015年2月7日申請(qǐng)的標(biāo)題為高產(chǎn)率制品緩沖(highthroughputworkinprocessbuffer)的序列號(hào)為62/113,376的美國(guó)臨時(shí)申請(qǐng)案的權(quán)利，發(fā)明者為邁克爾·布林(michaelbrain)，所述臨時(shí)申請(qǐng)案的全部?jī)?nèi)容以引用的方式并入本文中。

本發(fā)明大體上涉及半導(dǎo)體裝置制作線工具，且更具體來(lái)說(shuō)，本發(fā)明涉及用于半導(dǎo)體裝置制作線工具的過(guò)程流程管理的高產(chǎn)率緩沖系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

現(xiàn)代半導(dǎo)體裝置制作線中的過(guò)程流程使用由一系列半導(dǎo)體制作工具執(zhí)行的大量制作步驟。在一些情況中，過(guò)程流程可含有在一組半導(dǎo)體裝置制作線工具(包含超過(guò)一百種不同類型的多于一千個(gè)設(shè)備單元)中的重入流程中的超過(guò)800個(gè)過(guò)程步驟。過(guò)程流程中的晶片通常通過(guò)自動(dòng)化材料處理系統(tǒng)(amhs)在可密封容器(或前開(kāi)式晶片傳送盒(foup))中移動(dòng)通過(guò)過(guò)程步驟。每一半導(dǎo)體裝置制作線工具含有用于接納可密封容器的標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)備前端模塊(efem)，替代地是裝載端口。一旦半導(dǎo)體裝置制作線工具已接納可密封容器，則所述可密封容器即在受控環(huán)境中打開(kāi)，經(jīng)處理且返回到foup以由amhs拾取。在此方面，可密封容器為過(guò)程流程中的晶片存儲(chǔ)及傳送提供干凈且受保護(hù)環(huán)境。

大體上期望減少與缺少在待處理的工具裝載端口處可用的可密封容器相關(guān)聯(lián)的半導(dǎo)體裝置制作線工具的空閑時(shí)間或匱乏。然而，每一半導(dǎo)體裝置制作線工具的處理時(shí)間及可密封容器通過(guò)amhs在半導(dǎo)體裝置制作線工具之間的傳遞時(shí)間可不同，從而需要先進(jìn)型過(guò)程流程優(yōu)化系統(tǒng)。典型半導(dǎo)體裝置制作線工具含有兩個(gè)到四個(gè)裝載端口來(lái)充當(dāng)用于傳入或傳出可密封容器的臨時(shí)存儲(chǔ)裝置。然而，額外裝載端口可仍不足以消除匱乏，尤其是針對(duì)高產(chǎn)率半導(dǎo)體裝置制作線工具。此外，實(shí)際考慮通常限制給定半導(dǎo)體裝置制作線工具的裝載端口數(shù)目。舉例來(lái)說(shuō)，增加裝載端口的數(shù)目消耗過(guò)程線上的珍貴空間，增加晶片處理系統(tǒng)(例如，amhs)的行進(jìn)需求，且增加環(huán)繞半導(dǎo)體裝置制作線工具的環(huán)境外殼的尺寸，所有這些都增加操作花費(fèi)且增加維修需求。因此，可期望提供用于糾正例如以上確認(rèn)的此類缺陷的系統(tǒng)及方法。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

根據(jù)本發(fā)明的一或多個(gè)說(shuō)明性實(shí)施例揭示一種用于半導(dǎo)體裝置制作工具的緩沖系統(tǒng)。在一個(gè)說(shuō)明性實(shí)施例中，所述系統(tǒng)包含一或多個(gè)可伸縮架子。在另一說(shuō)明性實(shí)施例中，所述一或多個(gè)可伸縮架子經(jīng)配置以支撐可密封容器。在另一說(shuō)明性實(shí)施例中，所述系統(tǒng)包含可定位于所述半導(dǎo)體裝置制作工具的一或多個(gè)裝載端口上方的一或多個(gè)滑動(dòng)組合件。在另一說(shuō)明性實(shí)施例中，所述一或多個(gè)滑動(dòng)組合件經(jīng)配置以將所述可密封容器輸送到所述一或多個(gè)可伸縮架子下方的一或多個(gè)位置。在另一說(shuō)明性實(shí)施例中，所述系統(tǒng)包含一或多個(gè)舉升組合件。在另一說(shuō)明性實(shí)施例中，所述一或多個(gè)舉升組合件經(jīng)配置以使可密封容器在包含所述一或多個(gè)可伸縮架子、所述一或多個(gè)滑動(dòng)組合件及所述一或多個(gè)裝載端口的群組中的任何兩者之間輸送。

根據(jù)本發(fā)明的一或多個(gè)說(shuō)明性實(shí)施例揭示一種半導(dǎo)體裝置制作線工具。在一個(gè)說(shuō)明性實(shí)施例中，所述半導(dǎo)體裝置制作線工具包含一或多個(gè)裝載端口。在另一說(shuō)明性實(shí)施例中，所述半導(dǎo)體裝置制作線工具包含緩沖子系統(tǒng)。在另一說(shuō)明性實(shí)施例中，所述緩沖子系統(tǒng)包含一或多個(gè)可伸縮架子。在另一說(shuō)明性實(shí)施例中，所述一或多個(gè)可伸縮架子經(jīng)配置以支撐可密封容器。在另一說(shuō)明性實(shí)施例中，所述緩沖子系統(tǒng)包含可定位于所述一或多個(gè)裝載端口上方的一或多個(gè)滑動(dòng)組合件。在另一說(shuō)明性實(shí)施例中，所述一或多個(gè)滑動(dòng)組合件經(jīng)配置以將可密封容器輸送到所述一或多個(gè)可伸縮架子下方的一或多個(gè)位置。在另一說(shuō)明性實(shí)施例中，所述緩沖子系統(tǒng)包含一或多個(gè)舉升組合件。在另一說(shuō)明性實(shí)施例中，所述一或多個(gè)舉升組合件經(jīng)配置以使可密封容器在包含所述一或多個(gè)可伸縮架子、所述一或多個(gè)滑動(dòng)組合件及所述一或多個(gè)裝載端口的群組中的任何兩者之間輸送。

根據(jù)本發(fā)明的一或多個(gè)說(shuō)明性實(shí)施例揭示一種用于緩沖半導(dǎo)體裝置制作線工具的方法。在一個(gè)說(shuō)明性實(shí)施例中，所述方法包含將一或多個(gè)可密封容器支撐于一或多個(gè)可伸縮架子上。在另一說(shuō)明性實(shí)施例中，所述方法包含將所述一或多個(gè)可密封容器中的至少一者輸送到一或多個(gè)裝載端口。在另一說(shuō)明性實(shí)施例中，所述一或多個(gè)可伸縮架子中的至少一者收縮以提供一或多個(gè)可密封容器的間隙。在另一說(shuō)明性實(shí)施例中，所述方法包含將所述一或多個(gè)可密封容器中的至少一者輸送到所述一或多個(gè)可伸縮架子中的至少一者。

應(yīng)理解，以上一般描述及以下詳細(xì)描述兩者僅為示范性及解釋性的且不必限制本發(fā)明。并入且構(gòu)成特性的部分的所附圖式說(shuō)明本發(fā)明的標(biāo)的物。描述及圖式共同用于解釋本發(fā)明的原理。

附圖說(shuō)明

所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員通過(guò)參考所附圖式可更好地理解本發(fā)明的眾多優(yōu)勢(shì)，其中：

圖1a是根據(jù)本發(fā)明的一或多個(gè)實(shí)施例的與半導(dǎo)體裝置制作線工具相關(guān)聯(lián)的高產(chǎn)率緩沖系統(tǒng)的簡(jiǎn)化正視圖。

圖1b是根據(jù)本發(fā)明的一或多個(gè)實(shí)施例的與半導(dǎo)體裝置制作線工具相關(guān)聯(lián)的高產(chǎn)率緩沖系統(tǒng)的簡(jiǎn)化側(cè)視圖。

圖1c是根據(jù)本發(fā)明的一或多個(gè)實(shí)施例的與半導(dǎo)體裝置制作線工具相關(guān)聯(lián)的高產(chǎn)率緩沖系統(tǒng)的簡(jiǎn)化俯視圖，其中可伸縮架子在收縮位置中接合。

圖1d是根據(jù)本發(fā)明的一或多個(gè)實(shí)施例的與半導(dǎo)體裝置制作線工具相關(guān)聯(lián)的高產(chǎn)率緩沖系統(tǒng)的簡(jiǎn)化俯視圖，其中可伸縮架子在延伸位置中接合。

圖2是根據(jù)本發(fā)明的一或多個(gè)實(shí)施例的與半導(dǎo)體裝置制作線工具相關(guān)聯(lián)的高產(chǎn)率緩沖系統(tǒng)的簡(jiǎn)化正視圖，其中可密封容器位于可伸縮架子上。

圖3是根據(jù)本發(fā)明的一或多個(gè)實(shí)施例的包含運(yùn)動(dòng)銷狹槽的可密封容器的底側(cè)302的示意圖。

圖4a是根據(jù)本發(fā)明的一或多個(gè)實(shí)施例的與半導(dǎo)體裝置制作線工具相關(guān)聯(lián)的高產(chǎn)率緩沖系統(tǒng)的簡(jiǎn)化正視圖，其說(shuō)明其中三個(gè)裝載端口正由可密封容器使用且隊(duì)列的可密封容器支撐于可伸縮架子上的狀態(tài)。

圖4b是根據(jù)本發(fā)明的一或多個(gè)實(shí)施例的與半導(dǎo)體裝置制作線工具相關(guān)聯(lián)的高產(chǎn)率緩沖系統(tǒng)的簡(jiǎn)化正視圖，其說(shuō)明輸送可密封容器的舉升組合件及滑動(dòng)組合件的并發(fā)運(yùn)動(dòng)。

圖4c是根據(jù)本發(fā)明的一或多個(gè)實(shí)施例的與半導(dǎo)體裝置制作線工具相關(guān)聯(lián)的高產(chǎn)率緩沖系統(tǒng)的簡(jiǎn)化正視圖，其說(shuō)明位于滑動(dòng)組合件上的可密封容器。

圖4d是根據(jù)本發(fā)明的一或多個(gè)實(shí)施例的與半導(dǎo)體裝置制作線工具相關(guān)聯(lián)的高產(chǎn)率緩沖系統(tǒng)的簡(jiǎn)化正視圖，其說(shuō)明與定位于滑動(dòng)組合件上的可密封容器脫嚙的舉升組合件。

圖4e是根據(jù)本發(fā)明的一或多個(gè)實(shí)施例的與半導(dǎo)體裝置制作線工具相關(guān)聯(lián)的高產(chǎn)率緩沖系統(tǒng)的簡(jiǎn)化正視圖，其說(shuō)明經(jīng)由滑動(dòng)組合件傳送第一可密封容器及兩個(gè)舉升組合件的并發(fā)運(yùn)動(dòng)。

圖4f是根據(jù)本發(fā)明的一或多個(gè)實(shí)施例的與半導(dǎo)體裝置制作線工具相關(guān)聯(lián)的高產(chǎn)率緩沖系統(tǒng)的簡(jiǎn)化正視圖，其說(shuō)明可伸縮架子收縮的并發(fā)運(yùn)動(dòng)及舉升組合件的運(yùn)動(dòng)。

圖4g是根據(jù)本發(fā)明的一或多個(gè)實(shí)施例的與半導(dǎo)體裝置制作線工具相關(guān)聯(lián)的高產(chǎn)率緩沖系統(tǒng)的簡(jiǎn)化正視圖，其說(shuō)明第一可密封容器到可伸縮架子及第二并發(fā)容器到裝載端口的并發(fā)傳送。

圖5a是根據(jù)本發(fā)明的一或多個(gè)實(shí)施例的其中連結(jié)兩個(gè)緩沖系統(tǒng)的緩沖集群的簡(jiǎn)化俯視圖。

圖5b是根據(jù)本發(fā)明的一或多個(gè)實(shí)施例的簡(jiǎn)化示意圖，其說(shuō)明用于使可密封容器在緩沖系統(tǒng)之間輸送的滾筒組合件。

圖6是根據(jù)本發(fā)明的一或多個(gè)實(shí)施例的流程圖，其說(shuō)明用于緩沖半導(dǎo)體裝置制作線工具的方法。

具體實(shí)施方式

現(xiàn)將詳細(xì)參考在所附圖式中說(shuō)明的所揭示的標(biāo)的物。

大體上參考圖1a到6，根據(jù)本發(fā)明的一或多個(gè)實(shí)施例描述用于為半導(dǎo)體裝置制作線工具提供高產(chǎn)率緩沖的系統(tǒng)及方法。本發(fā)明的實(shí)施例涉及與半導(dǎo)體裝置制作工具相關(guān)聯(lián)的含有可伸縮架子的緩沖系統(tǒng)。額外實(shí)施例涉及含有舉升組合件及滑動(dòng)組合件以使可密封容器在可伸縮架子與半導(dǎo)體裝置制作線工具的裝載端口之間輸送的緩沖系統(tǒng)。本發(fā)明的實(shí)施例提供可密封容器的水平及垂直輸送。此外，本發(fā)明的實(shí)施例提供環(huán)繞半導(dǎo)體裝置制作線工具的空間的有效使用，這又導(dǎo)致過(guò)程流程的增加的產(chǎn)率。在本文中應(yīng)注意，術(shù)語(yǔ)可密封容器及foup出于本發(fā)明的目的而交替使用。

在本文中應(yīng)意識(shí)到，半導(dǎo)體裝置制作線工具的產(chǎn)率是取決于大量因素，包含(但不限制于)工具的處理時(shí)間、工具上的裝載端口的數(shù)目、用于包含待處理的晶片的可密封容器的局部存儲(chǔ)位置的數(shù)目、局部可接近存儲(chǔ)位置與裝載端口之間的傳送速度，及可密封容器往返工具的傳遞時(shí)間。例如(但不限制于)局部存儲(chǔ)位置的數(shù)目及局部存儲(chǔ)位置與裝載端口之間的傳送速度的特定因素可針對(duì)每一半導(dǎo)體裝置制作線工具局部經(jīng)優(yōu)化以減少工具的匱乏且進(jìn)一步減少外部輸送系統(tǒng)(例如amhs)上的負(fù)載。一般來(lái)說(shuō)，經(jīng)設(shè)計(jì)以介接于半導(dǎo)體裝置制作線工具與外部處理系統(tǒng)之間以減輕工具的匱乏的系統(tǒng)被稱為緩沖系統(tǒng)。

在本文中應(yīng)進(jìn)一步意識(shí)到，半導(dǎo)體裝置制作線工具的產(chǎn)率另外取決于與緩沖系統(tǒng)設(shè)備相關(guān)聯(lián)的維修需求。舉例來(lái)說(shuō)，例如復(fù)雜多軸機(jī)器人元件或倒置安裝輸送系統(tǒng)的特定設(shè)備當(dāng)操作時(shí)可提供特定等級(jí)的效能，但可遭受需要臨時(shí)將工具從生產(chǎn)線移除的相對(duì)高的維修需求，由此減少總產(chǎn)率。因此，期望提供高等級(jí)的操作可靠性的緩沖系統(tǒng)。

在2004年7月29日申請(qǐng)的第7,578,650號(hào)美國(guó)專利案中大體描述了使用高架卡車的具有快速交換緩沖的緩沖系統(tǒng)，所述專利案的全部?jī)?nèi)容以引用的方式并入本文中。在2002年2月19日申請(qǐng)的第6,726,429號(hào)美國(guó)專利案中大體描述具有垂直堆疊存儲(chǔ)裝置的緩沖系統(tǒng)，所述專利案的全部?jī)?nèi)容以引用的方式并入本文中。

圖1a到1d說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的一或多個(gè)實(shí)施例的與半導(dǎo)體裝置制作線工具相關(guān)聯(lián)的高產(chǎn)率緩沖系統(tǒng)100的簡(jiǎn)化示意圖。圖1a及1b是根據(jù)本發(fā)明的一或多個(gè)實(shí)施例的分別說(shuō)明高產(chǎn)率緩沖系統(tǒng)的正視圖及側(cè)視圖的簡(jiǎn)化示意圖。在一個(gè)實(shí)施例中，半導(dǎo)體裝置制作線工具102包含用于接納可密封容器的一或多個(gè)裝載端口114a到114c。半導(dǎo)體裝置制作線工具102可接近裝載端口上的可密封容器的內(nèi)含物以進(jìn)行處理。

在本文中應(yīng)注意，本發(fā)明不限制于特定數(shù)目的裝載端口。舉例來(lái)說(shuō)，緩沖系統(tǒng)100可與具有單一裝載端口、兩個(gè)裝載端口或大量裝載端口的半導(dǎo)體裝置制作線工具102相關(guān)聯(lián)。此外，緩沖系統(tǒng)100可與制作線工具102上可用的裝載端口的子集合相關(guān)聯(lián)。在一個(gè)實(shí)施例中，緩沖系統(tǒng)100與提供一個(gè)裝載端口開(kāi)口使得外部處理系統(tǒng)可直接接近裝載端口的制作線工具相關(guān)。提供外部處理系統(tǒng)直接接近一或多個(gè)裝載端口可提供故障安全，使得緩沖系統(tǒng)100發(fā)生故障時(shí)制作線工具可在有限容量中操作。在此方面，緩沖系統(tǒng)100可為模塊式，根據(jù)需要用作為許多升降機(jī)及架子，以滿足產(chǎn)率需求、服務(wù)部分或全部工具裝載端口且提供需要的許多自由裝載端口amhs接口位置。在另一實(shí)施例中，緩沖系統(tǒng)100可與一個(gè)以上制作線工具102相關(guān)聯(lián)。

在一個(gè)實(shí)施例中，由緩沖系統(tǒng)100管理的可密封容器仍然處于經(jīng)定向垂直于半導(dǎo)體裝置制作線工具102的前側(cè)的垂直平面中。在此方面，將可密封容器的輸送限制為所述垂直平面內(nèi)的運(yùn)動(dòng)。將可密封容器的運(yùn)動(dòng)限制于垂直平面內(nèi)允許沿線性路徑的有效輸送。此外，將可密封容器的運(yùn)動(dòng)限制于垂直平面提供底板空間的有效使用，這又減少外部設(shè)備上的約束。舉例來(lái)說(shuō)，有效使用底板空間可減少外部處理系統(tǒng)行進(jìn)的長(zhǎng)度及持久性，減少環(huán)繞半導(dǎo)體裝置制作工具102的環(huán)境外殼的尺寸及/或減少空氣處理器的負(fù)載需求。然而在本文中應(yīng)注意，將可密封容器的運(yùn)動(dòng)限制于垂直平面不是本發(fā)明的需求，且不應(yīng)解釋為限制性。

在另一實(shí)施例中，緩沖系統(tǒng)100包含用于支撐可密封容器的可伸縮架子104a到104e。在另一實(shí)施例中，外部處理系統(tǒng)(未展示)，例如(但不限制于)amhs，可接近由可伸縮架子104a到104e支撐的可密封容器。在此方面，可伸縮架子104a到104e可在緩沖系統(tǒng)100中臨時(shí)存儲(chǔ)可密封容器。

可伸縮架子可位于緩沖系統(tǒng)100內(nèi)的任何位置上，包含(但不限制于)相關(guān)聯(lián)半導(dǎo)體裝置制作工具的裝載端口的上方、下方或相鄰的位置。在一個(gè)實(shí)施例中，一或多個(gè)可伸縮架子位于比相關(guān)裝載端口更高的高度處以促進(jìn)有效接近外部處理系統(tǒng)。舉例來(lái)說(shuō)，位于比相關(guān)聯(lián)裝載端口更高的高度處的可伸縮架子減少到amhs的輸送距離，這可減少傳遞時(shí)間且改進(jìn)過(guò)程流程的效率。在另一實(shí)施例中，可伸縮架子定位于每一裝載端口正上方(例如，可伸縮架子104b到104d定位于圖1a中的裝載端口114a到114c上方)，使得位于在延伸位置中接合的可伸縮架子104b到104d上的可密封容器定位于裝載端口114a到114c正上方。圖1c及1d是根據(jù)本發(fā)明的一或多個(gè)實(shí)施例的說(shuō)明其中可伸縮架子分別收縮及延伸的高產(chǎn)率緩沖系統(tǒng)100的簡(jiǎn)化示意圖。在此方面，定位于在延伸位置中的可伸縮架子104b到104d上的可密封容器可經(jīng)由線性垂直路徑輸送到裝載端口114a到114c。在本文中應(yīng)注意，可快速實(shí)現(xiàn)可密封容器從可伸縮架子104b到104d到裝載端口114a到114c的線性垂直輸送而使與外部處理系統(tǒng)將可密封容器上載到可伸縮架子104b到104d上而非直接上載到裝載端口114a到114c上相關(guān)聯(lián)的延遲最小化。在另一實(shí)施例中，可密封容器可通過(guò)使位于裝載端口114a到114c上方的任何可伸縮架子104b到104d收縮而直接上載到裝載端口114a到114c上。在本文中應(yīng)注意，緩沖系統(tǒng)可包含任何數(shù)目的可伸縮架子。在此方面，緩沖系統(tǒng)可包含單個(gè)可伸縮架子，兩個(gè)可伸縮架子或大量可伸縮架子。

在另一實(shí)施例中，可伸縮架子104a到104i沿相鄰于裝載端口114a到114c的垂直管柱定位。圖2是根據(jù)本發(fā)明的一或多個(gè)實(shí)施例的說(shuō)明含有12個(gè)可密封容器202a到202l的緩沖系統(tǒng)的高產(chǎn)率緩沖系統(tǒng)的簡(jiǎn)化正視圖。在另一實(shí)施例中，可伸縮架子104a到104i沿相鄰于裝載端口114a到114c的垂直管柱定位?？缮炜s架子104a、104f及104h定位于相鄰于裝載端口114a的垂直管柱中，且可伸縮架子104e、104g及104i定位于相鄰于裝載端口114c的垂直管柱中。在本文中應(yīng)注意，任何數(shù)目的可伸縮架子104a到104i可位于相鄰于裝載端口114a到114c的垂直管柱中。

在本文中應(yīng)進(jìn)一步注意，如相鄰于裝載端口114a到114c的存儲(chǔ)架子(例如，可伸縮架子104a到104i)的垂直管柱的以上描述僅出于說(shuō)明目的提供且不應(yīng)解釋為限制性。舉例來(lái)說(shuō)，含有存儲(chǔ)架子的垂直管柱可與裝載端口114a到114c分離及/或相對(duì)于裝載端口114a到114c旋轉(zhuǎn)。

可伸縮架子104a到104i可為所屬領(lǐng)域中已知的任何類型。舉例來(lái)說(shuō)，可伸縮架子104a到104i可沿線性路徑或旋轉(zhuǎn)路徑移動(dòng)。在一個(gè)實(shí)施例中，可伸縮架子104a到104i由安裝于線性軌道上的板組成?？赏ㄟ^(guò)(但不限制于)導(dǎo)螺桿、皮帶驅(qū)動(dòng)、磁帶驅(qū)動(dòng)、電纜驅(qū)動(dòng)或線性電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)可伸縮架子104a到104i的運(yùn)動(dòng)。

再次參考圖1a到1d，在另一實(shí)施例中，緩沖系統(tǒng)100包含垂直輸送可密封容器的舉升組合件108a到108e。在另一實(shí)施例中，緩沖系統(tǒng)100包含與用于將可密封容器垂直輸送往返可伸縮架子(例如，往返可伸縮架子104a到104e)的每一可伸縮架子相關(guān)聯(lián)的舉升組合件。在另一實(shí)施例中，舉升組合件108b到108d與裝載端口114a到114c相關(guān)聯(lián)。在此方面，舉升組合件108b到108d可在裝載端口114a到114c與定位于裝載端口114a到114c正上方的可伸縮架子104b到104d之間上下輸送可密封容器。在一個(gè)實(shí)施例中，可伸縮架子104b到104d收縮以提供通過(guò)舉升組合件108a到108e輸送的可密封容器的間隙。舉例來(lái)說(shuō)，可通過(guò)舉升組合件108b到108d首先將可密封容器從可伸縮架子104b到104d舉升、使得可伸縮架子104b到104d收縮且將可密封容器垂直輸送到裝載端口而輸送位于在延伸位置中接合的可伸縮架子104b到104d上的可密封容器。步驟的類似序列可用于執(zhí)行將可密封容器從裝載端口114a到114c輸送到可伸縮架子104b到104d的逆操作。此外，在相鄰于裝載端口的垂直管柱中的可伸縮架子(例如，104a、104e)收縮以提供通過(guò)舉升組合件(例如，108a、108e)輸送可密封容器的間隙。在另一實(shí)施例中，舉升組合件108a到108e可將可密封容器沿舉升組合件108a到108e的行進(jìn)路徑輸送到任何中間位置。

舉升組合件108a到108e可為適合用于輸送可密封容器的所屬領(lǐng)域中已知的任何類型。在一個(gè)實(shí)施例中，舉升組合件(例如，108a到108e中的任何者)含有包含用于將可密封容器從底側(cè)舉升的任何數(shù)目的叉齒的叉。在另一實(shí)施例中，舉升組合件含有具有兩個(gè)叉齒的叉。在另一實(shí)施例中，舉升組合件108a到108e沿一或多個(gè)線性軌道組合件112行進(jìn)。此外，可通過(guò)(但不限制于)電纜驅(qū)動(dòng)、磁帶驅(qū)動(dòng)或配重驅(qū)動(dòng)舉升組合件108a到108e的運(yùn)動(dòng)。在本文中應(yīng)注意，緩沖系統(tǒng)可包含任何數(shù)目的舉升組合件。在此方面，緩沖系統(tǒng)可包含單個(gè)舉升組合件、兩個(gè)舉升組合件或大量舉升組合件。

在另一實(shí)施例中，緩沖系統(tǒng)100包含水平輸送可密封容器的滑動(dòng)組合件106。在一個(gè)實(shí)施例中，滑動(dòng)組合件106的至少一部分可定位于可伸縮架子104a到104e之下及裝載端口114a到114c之上。在此方面，舉升組合件108a到108e可使得可密封容器從可伸縮架子104a到104e或裝載端口114a到114c傳送到滑動(dòng)組合件106。此外，滑動(dòng)組合件106可將可密封容器輸送到可伸縮架子104a到104e中的任何者之下的一或多個(gè)位置，或替代地，輸送到裝載端口114a到114c中的任何者之上的一或多個(gè)位置。在一個(gè)實(shí)施例中，滑動(dòng)組合件106將滑動(dòng)容器輸送到與可伸縮架子104a到104e中的任何者或裝載端口114a到114c中的任何者對(duì)準(zhǔn)的位置。舉例來(lái)說(shuō)，考慮圖1a，可經(jīng)由通過(guò)舉升組合件108c到滑動(dòng)組合件106的垂直輸送，其后接著通過(guò)滑動(dòng)組合件106到可伸縮架子104a之下的位置的水平輸送，且進(jìn)一步接著經(jīng)由舉升組合件108a到可伸縮架子104a的垂直輸送而將裝載端口114b上的可密封容器輸送到非直接在裝載端口114a之上的可伸縮架子104a。

緩沖系統(tǒng)100可包含用于水平輸送可密封容器的任何數(shù)目的滑動(dòng)組合件106。在此方面，緩沖系統(tǒng)可包含單個(gè)滑動(dòng)組合件、兩個(gè)滑動(dòng)組合件或大量滑動(dòng)組合件。舉例來(lái)說(shuō)，多個(gè)滑動(dòng)組合件可垂直布置于可伸縮架子104a到104e與裝載端口114a到114c之間。在此方面，每一滑動(dòng)組合件(例如，106)可水平輸送緩沖系統(tǒng)100內(nèi)的給定高度處的可密封容器。在另一實(shí)施例中，一或多個(gè)滑動(dòng)組合件106位于一或多個(gè)裝載端口114a到114c之下。

滑動(dòng)組合件106可為適合用于輸送可密封容器的所屬領(lǐng)域中已知的任何類型。在一個(gè)實(shí)施例中，滑動(dòng)組合件106包含從底側(cè)支撐可密封容器使其沿軌道行進(jìn)的板110?？赏ㄟ^(guò)(但不限制于)導(dǎo)螺桿、皮帶驅(qū)動(dòng)、磁帶驅(qū)動(dòng)、電纜驅(qū)動(dòng)或線性電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)滑動(dòng)組合件106的運(yùn)動(dòng)。在一個(gè)實(shí)施例中，滑動(dòng)組合件106可以懸臂式配置安裝到半導(dǎo)體裝置制作線工具102的前側(cè)。在另一實(shí)施例中，滑動(dòng)組合件106可安裝于靠近半導(dǎo)體裝置制作線工具102的底板的部分上。

為了促進(jìn)安全，緩沖組合件的所有移動(dòng)部分可包含安全阻擋器以防止對(duì)任何人或組件的損傷，包含(但不限制于)緩沖系統(tǒng)100、半導(dǎo)體裝置制作線工具102、可密封容器或其內(nèi)的內(nèi)含物、操作及維修人員或外部系統(tǒng)。在一個(gè)實(shí)施例中，舉升系統(tǒng)108a到108e包含經(jīng)配置以將可密封容器鎖定于適當(dāng)位置上而防止機(jī)械失效時(shí)掉落的制動(dòng)器。接著，可由技術(shù)人員或外部處理系統(tǒng)手動(dòng)取回可密封容器。在另一實(shí)施例中，傳送組合件106包含防止運(yùn)動(dòng)越過(guò)界定限制的遮蔽或阻擋器。此外，緩沖系統(tǒng)100可包含安全聯(lián)鎖。舉例來(lái)說(shuō)，一旦中斷聯(lián)鎖，則即可停止、限制或以其它方式約束組件(例如但不限制于可伸縮架子、舉升組合件或滑動(dòng)組合件)的運(yùn)動(dòng)。作為另一實(shí)例，一旦中斷聯(lián)鎖，則到緩沖系統(tǒng)100的至少一部分或制作線工具102的電力可斷接。

圖3是根據(jù)本發(fā)明的一或多個(gè)實(shí)施例的說(shuō)明可密封容器的底側(cè)302的示意圖。在本文中應(yīng)注意，許多自動(dòng)化材料處理系統(tǒng)通過(guò)舉升可密封容器上的頂部把手而使可密封容器在半導(dǎo)體裝置制作線工具102之間輸送。然而，在延長(zhǎng)時(shí)間段內(nèi)從頂部把手支撐可密封容器可使得可密封容器變形且又負(fù)面地影響可密封容器的內(nèi)部的壓力?？擅芊馊萜鞯膬?nèi)部上的相對(duì)于外部壓力的負(fù)面壓力可導(dǎo)致引入污染物。此外，經(jīng)設(shè)計(jì)以從頂部把手支撐可密封容器的抓握機(jī)構(gòu)的故障可導(dǎo)致可密封容器的掉落及可密封容器內(nèi)的內(nèi)含物的毀滅性損壞。

在一個(gè)實(shí)施例中，可密封容器在存儲(chǔ)及輸送期間連續(xù)支撐于底側(cè)上。緩沖系統(tǒng)100的組件可傳送可密封容器的支撐同時(shí)通過(guò)所屬領(lǐng)域中已知的任何過(guò)程維持可密封的底側(cè)支撐。舉例來(lái)說(shuō)，可在緩沖系統(tǒng)100的兩個(gè)組件之間的傳送期間維持可密封容器的底側(cè)支撐，其中緩沖系統(tǒng)100的兩個(gè)組件支撐可密封容器的底側(cè)的互補(bǔ)部分。再次參考圖1a到1d，在一個(gè)實(shí)施例中，可伸縮架子104a到104e的寬度比可密封容器的寬度更窄，使得可密封容器的底側(cè)的部分延伸超過(guò)可伸縮架子104a到104e。此外，舉升組合件108a到108e含有具有通過(guò)可伸縮架子104a到104e的至少寬度分離的兩個(gè)叉齒的叉。在此方面，舉升組合件108a到108e可通過(guò)簡(jiǎn)單垂直平移將可密封容器從可伸縮架子104a到104e舉升超過(guò)可伸縮架子104a到104e的高度。在另一實(shí)施例中，舉升組合件108a到108e含有具有三個(gè)叉齒的叉且可伸縮架子104a到104e含有互補(bǔ)凹口。在另一實(shí)施例中，舉升組合件108a到108e含有經(jīng)定向穿過(guò)可伸縮架子104a到104e上的互補(bǔ)開(kāi)口之間使得在傳送期間維持可密封容器的底側(cè)支撐的一或多個(gè)特征。在另一實(shí)施例中，與滑動(dòng)組合件106相關(guān)聯(lián)的板110及裝載端口114a到114c的裝卸站類似地支撐可密封容器的底側(cè)的部分，使得可類似地經(jīng)由簡(jiǎn)單垂直平移將可密封容器往返舉升組合件108a到108e進(jìn)行傳送。在另一實(shí)施例中，舉升組合件108a到108e支撐安裝到可密封容器的側(cè)的側(cè)運(yùn)送器軌道306。在另一實(shí)施例中，舉升組合件108a到108e支撐安裝到可密封容器的底部的運(yùn)送器板(未展示)。在本文中應(yīng)注意，運(yùn)送器軌道306或運(yùn)送器板(未展示)可充當(dāng)通過(guò)外部處理系統(tǒng)輸送的支撐點(diǎn)。

在另一實(shí)施例中，可密封容器在緩沖系統(tǒng)100內(nèi)經(jīng)由對(duì)應(yīng)于可密封容器的底側(cè)上的運(yùn)動(dòng)銷狹槽的運(yùn)動(dòng)銷而對(duì)準(zhǔn)。在一個(gè)實(shí)施例中，三個(gè)運(yùn)動(dòng)銷狹槽304a到304c連接到緩沖系統(tǒng)100內(nèi)的組件上的對(duì)應(yīng)運(yùn)動(dòng)銷以提供穩(wěn)定接觸來(lái)限制六個(gè)自由度以牢固地定位可密封容器。舉例來(lái)說(shuō)，可伸縮架子104a到104e中的任何者或全部、與滑動(dòng)組合件106相關(guān)的板110或裝載端口114a到114c可含有用于對(duì)準(zhǔn)可密封容器的運(yùn)動(dòng)銷或運(yùn)動(dòng)狹槽。在本文中應(yīng)注意，可密封容器的運(yùn)動(dòng)銷對(duì)準(zhǔn)在輸送期間可提供精確對(duì)準(zhǔn)以及穩(wěn)定性。特定來(lái)說(shuō)，在緩沖系統(tǒng)100中的水平或垂直輸送期間，運(yùn)動(dòng)銷可防止可密封容器滑動(dòng)。然而在本文中應(yīng)注意，圖3中運(yùn)動(dòng)銷狹槽的說(shuō)明僅為說(shuō)明呈現(xiàn)且不應(yīng)解釋為限制性。緩沖系統(tǒng)100的組件可含有適合用于運(yùn)動(dòng)對(duì)準(zhǔn)可密封容器的運(yùn)動(dòng)銷或運(yùn)動(dòng)銷狹槽的任何數(shù)目或配置。此外，可使用第一或第二運(yùn)動(dòng)銷傳送可密封容器。在另一實(shí)施例中，使用一組第二運(yùn)動(dòng)銷將可密封容器傳送到可密封容器的底側(cè)上的相同運(yùn)動(dòng)狹槽內(nèi)。

再次參考圖2，每一可伸縮架子104a到104i可與外部處理系統(tǒng)介接而通過(guò)作為輸入端口以接納含有待由半導(dǎo)體裝置制作線工具處理的晶片的可密封容器或作為輸出端口以支撐含有待由半導(dǎo)體裝置制作線工具處理的晶片的可密封容器。在一個(gè)實(shí)施例中，可伸縮架子104a、104f、104h及104e、104g、104i的垂直管柱充當(dāng)專用輸入及/或輸出管柱。舉例來(lái)說(shuō)，可伸縮架子104b到104d可經(jīng)配置為輸入端口以促進(jìn)到裝載端口114a到114c的快速傳送。此外，可伸縮架子104a、104f、104h及104e、104g、104i可經(jīng)配置為輸出端口。在此方面，可通過(guò)工具的材料流程需要確定特定數(shù)目的管柱及其用途。

在另一實(shí)施例中，每一可伸縮架子104a到104i根據(jù)需要?jiǎng)討B(tài)地操作作為輸入或輸出端口。舉例來(lái)說(shuō)，每一可伸縮架子104a到104i可獨(dú)立地操作作為輸入端口或輸出端口。此外，外部處理系統(tǒng)可通過(guò)使在比給定的可伸縮架子104a到104i更高的高度處的所有可伸縮架子收縮而接近位于給定可伸縮架子104a到104i上的可密封容器。在另一實(shí)施例中，可伸縮架子104a到104i經(jīng)配置以當(dāng)延伸及/或收縮時(shí)將可密封容器支撐于延伸位置中，收縮位置中。經(jīng)配置以將可密封容器支撐于任何位置中的可伸縮架子104a到104i在相鄰于裝載端口114a到114c的半導(dǎo)體裝置制作線工具102的側(cè)上的間隙可用于的管柱中可尤其有利。在另一實(shí)施例中，可伸縮架子104a到104i中的任何者用于將可密封容器傳送到第二靠近緩沖系統(tǒng)。

在另一實(shí)施例中，緩沖系統(tǒng)100的全部或部分組件經(jīng)配置以同時(shí)移動(dòng)。在本文中應(yīng)注意，緩沖系統(tǒng)100的全部或部分組件的并發(fā)運(yùn)動(dòng)可提供多個(gè)可密封容器的快速輸送且將外部處理系統(tǒng)上的負(fù)載需求最小化。圖4a到4g說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的一或多個(gè)實(shí)施例的經(jīng)由可伸縮架子104a到104e、滑動(dòng)組合件106及舉升組合件108a到108e的并發(fā)運(yùn)動(dòng)而處理多個(gè)可密封容器的緩沖系統(tǒng)的簡(jiǎn)化示意圖。圖4a說(shuō)明其中與半導(dǎo)體裝置制作線工具102相關(guān)聯(lián)的三個(gè)裝載端口114a到114c正由可密封容器202b到202d使用且成隊(duì)列的可密封容器202a支撐于可伸縮架子104b上的狀態(tài)。圖4b說(shuō)明其中半導(dǎo)體裝置制作工具102已完成處理可密封容器202b的內(nèi)含物的狀態(tài)。舉升組合件108b將可密封容器202b舉升到比滑動(dòng)組合件106更高的位置。同時(shí)，與滑動(dòng)組合件106相關(guān)聯(lián)的板110從可伸縮架子104e之下的位置移動(dòng)到可伸縮架子104b之下的位置。圖4c說(shuō)明其中舉升組合件108b將可密封容器202b降低到板110上的狀態(tài)。圖4d說(shuō)明其中舉升組合件108b繼續(xù)垂直向下運(yùn)動(dòng)以與可密封容器202b完全脫嚙的狀態(tài)。圖4e說(shuō)明其中滑動(dòng)組合件106經(jīng)由板110將可密封容器202b傳送到可伸縮架子104a之下的位置的狀態(tài)。同時(shí)，舉升組合件108b垂直上升以從可伸縮架子104b舉升可密封容器202a。同樣同時(shí)，舉升組合件108a垂直上升以與可密封容器202b接合。圖4f說(shuō)明其中可伸縮架子104a及104b收縮的狀態(tài)。同時(shí)，舉升組合件108a朝可伸縮架子104a輸送可密封容器202b而舉升組合件108b朝裝載端口114a輸送可密封容器202a。圖4g說(shuō)明其中舉升組合件108b將可密封容器202a傳送到裝載端口114a以用于處理的狀態(tài)。同時(shí)，可伸縮架子104a延伸使得舉升組合件108a將可密封容器202b釋放到可伸縮架子104a上?，F(xiàn)在可密封容器202b準(zhǔn)備好由外部處理系統(tǒng)拾取。

制作線中的第一緩沖系統(tǒng)100可將可密封容器傳送到第二緩沖系統(tǒng)100。此外，任何數(shù)目的緩沖系統(tǒng)100可經(jīng)耦合以形成其中可密封容器可在緩沖系統(tǒng)100之間輸送而無(wú)外部處理系統(tǒng)的緩沖集群。圖5a及5b是根據(jù)本發(fā)明的一或多個(gè)實(shí)施例的說(shuō)明其中連結(jié)兩個(gè)緩沖系統(tǒng)的緩沖集群的簡(jiǎn)化示意圖。圖5a是根據(jù)本發(fā)明的一或多個(gè)實(shí)施例的其中第一緩沖系統(tǒng)100-1連結(jié)到第二緩沖系統(tǒng)100-2使得可密封容器在第一緩沖系統(tǒng)100-1與第二緩沖系統(tǒng)100-2之間輸送的簡(jiǎn)化示意圖。在一個(gè)實(shí)施例中，第一緩沖系統(tǒng)100-1包含：可伸縮架子104a-1、104b-1、104c-1；具有板110-1的滑動(dòng)組合件106-1；舉升組合件108a-1、108b-1、108c-1及線性軌道組合件112-1。在另一實(shí)施例中，第二緩沖系統(tǒng)100-2包含：可伸縮架子104a-2、104b-2、104c-2；具有板110-2的滑動(dòng)組合件106-2；舉升組合件108a-2、108b-2、108c-2及線性軌道組合件112-2。在另一實(shí)施例中，與第一半導(dǎo)體裝置制作線工具102-1相關(guān)聯(lián)的可伸縮架子104a-1、104b-1及104c-1經(jīng)由滾筒組合件502a到502c耦合到與第二半導(dǎo)體裝置制作線工具102-2相關(guān)聯(lián)的可伸縮架子104a-2、104b-2及104c-2。圖5b是根據(jù)本發(fā)明的一或多個(gè)實(shí)施例的說(shuō)明用于使可密封容器在緩沖系統(tǒng)100之間輸送的滾筒組合件的簡(jiǎn)化示意圖。在一個(gè)實(shí)施例中，滾筒組合件502a到502c含有耦合到一系列滾筒506以用于輸送可密封容器的平臺(tái)504。

在另一實(shí)施例中，滾筒組合件502a到502c含有用于動(dòng)態(tài)地調(diào)整滾筒組合件502a到502c的每一端的相對(duì)高度的剪式支架508a、508b。在另一實(shí)施例中，可伸縮架子104-1及104-2定位于滾筒組合件502a到502c中的凹口中。在此方面，滾筒組合件(例如502a)可通過(guò)將第一剪式腿508a延伸高于第二剪式腿508b使得滾筒506支撐可密封容器(例如202a)而與位于第一緩沖系統(tǒng)100-1的可伸縮架子(例如104a-1)上的可密封容器(例如202a)接合。一旦對(duì)可密封容器的支撐傳送到滾筒組合件502，重力或電動(dòng)機(jī)力即可驅(qū)動(dòng)將可密封容器(例如202a)輸送到第二緩沖系統(tǒng)100-2。在另一實(shí)施例中，與緩沖系統(tǒng)100-2相關(guān)聯(lián)的可伸縮架子(例如，104a-2、104b-2、104c-2)延伸超過(guò)在裝載端口114a-2、114b-2或114c-2正上方的位置以從滾筒組合件502a到502c接納可密封容器。舉例來(lái)說(shuō)，圖5a說(shuō)明位于處于準(zhǔn)備傳送到緩沖系統(tǒng)100-2的位置中的可伸縮架子104a-1上的可密封容器202a。此外，圖5a說(shuō)明從可伸縮架子104b-1接納的可密封容器202b。可密封容器可類似地從緩沖系統(tǒng)100-2輸送到緩沖系統(tǒng)100-1。

在本文中應(yīng)注意，使可密封容器在緩沖集群內(nèi)的緩沖系統(tǒng)之間輸送的以上描述僅為說(shuō)明目的提供且不應(yīng)解釋為限制性。舉例來(lái)說(shuō)，可通過(guò)適合用于輸送可密封容器的所屬領(lǐng)域中已知的任何輸送系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)緩沖系統(tǒng)之間的可密封容器的輸送。在一個(gè)實(shí)施例中，可密封容器通過(guò)耦合到一或多個(gè)軌道系統(tǒng)的一或多個(gè)板在緩沖集群內(nèi)的緩沖系統(tǒng)之間輸送。在此方面，耦合到一或多個(gè)軌道系統(tǒng)的一或多個(gè)板可提供可密封容器在緩沖系統(tǒng)之間的水平及垂直輸送兩者。在另一實(shí)施例中，可密封容器經(jīng)由一或多個(gè)局部吊掛系統(tǒng)在緩沖集群內(nèi)的緩沖系統(tǒng)之間輸送。

在另一實(shí)施例中，緩沖集群內(nèi)的緩沖系統(tǒng)100可接近共同外部處理系統(tǒng)520，例如(但不限制于)amhs。在此方面，緩沖集群可通過(guò)提供半導(dǎo)體裝置制作線工具102之間的直接輸送而減少外部處理系統(tǒng)520上的負(fù)載。舉例來(lái)說(shuō)，圖5a說(shuō)明位于由外部處理系統(tǒng)520提供的可伸縮架子104c-1上的可密封容器202c。在本文中應(yīng)注意，緩沖集群可尤其有利于通過(guò)提供半導(dǎo)體裝置制作線工具(例如，102-1及102-2)之間的直接輸送而使用多個(gè)半導(dǎo)體裝置制作線工具(例如，102-1及102-2)之間的交替處理步驟的過(guò)程流程。在本文中應(yīng)進(jìn)一步注意，可密封容器在緩沖集群中的緩沖系統(tǒng)100之間的輸送可顯著比通過(guò)外部處理系統(tǒng)的輸送更快。

在一個(gè)實(shí)施例中，緩沖系統(tǒng)100直接與半導(dǎo)體裝置制作線工具102集成。在此方面，半導(dǎo)體裝置制作線工具102含有緩沖系統(tǒng)100的能力。此外，直接集成可允許軟件的共同集合與半導(dǎo)體裝置制作線工具的處理及緩沖操作介接。在另一實(shí)施例中，緩沖系統(tǒng)100與半導(dǎo)體裝置制作線工具102分離但附接到半導(dǎo)體裝置制作線工具102。在另一實(shí)施例中，緩沖系統(tǒng)100分離地安裝成靠近于半導(dǎo)體裝置制作線工具102。

緩沖系統(tǒng)100可與半導(dǎo)體處理工具集成，例如(但不限制于)沉積工具(例如，氣相沉積工具、電氣化學(xué)沉積工具、分子束外延(mbe)工具、或原子層沉積工具)、移除工具(例如，化學(xué)機(jī)械平坦化(cmp)工具、濕式蝕刻工具或干式蝕刻工具)、光刻工具、離子植入工具或熱退火工具。緩沖系統(tǒng)100可另外與檢驗(yàn)工具集成，例如(但不限制于)缺陷檢測(cè)工具。緩沖系統(tǒng)100可進(jìn)一步與度量衡工具集成，包含(但不限制于)重疊對(duì)齊工具、光學(xué)臨界尺寸(cd)工具、形狀度量衡工具、膜厚度特性工具、晶片度量衡工具或表面構(gòu)形分析工具。一般來(lái)說(shuō)，緩沖系統(tǒng)100與適合用于半導(dǎo)體裝置制作線的任何類型的工具的集成是在本發(fā)明的精神及范圍內(nèi)的。

圖6是根據(jù)本發(fā)明的一或多個(gè)實(shí)施例的說(shuō)明用于緩沖半導(dǎo)體裝置制作線工具的方法500的流程圖。申請(qǐng)人注意，在本文中先前描述的系統(tǒng)100的背景內(nèi)容中的實(shí)施例及詳細(xì)技術(shù)應(yīng)解釋為擴(kuò)展到方法600。然而應(yīng)進(jìn)一步注意，方法600不限制于系統(tǒng)100的架構(gòu)。在步驟602中，方法包含在兩個(gè)或兩個(gè)以上可伸縮架子上接納一或多個(gè)可密封容器，使得所述一或多個(gè)可密封容器定位于一或多個(gè)裝載端口上方。舉例來(lái)說(shuō)，可通過(guò)外部處理系統(tǒng)(例如但不限制于amhs)接納一或多個(gè)可密封容器。在步驟604中，方法包含將一或多個(gè)可密封容器中的至少一者輸送到一或多個(gè)裝載端口。在一個(gè)實(shí)施例中，兩個(gè)或兩個(gè)以上可伸縮架子中的至少一者收縮以提供一或多個(gè)可密封容器的間隙。在另一實(shí)施例中，一或多個(gè)可密封容器定位于一或多個(gè)裝載端口正上方，使得所述一或多個(gè)可密封容器沿線性垂直路徑輸送到一或多個(gè)裝載端口。在另一實(shí)施例中，一或多個(gè)可密封容器進(jìn)一步定位以相對(duì)于一或多個(gè)裝載端口而水平地偏移。舉例來(lái)說(shuō)，可密封容器可位于已占有的裝載端口正上方。作為進(jìn)一步實(shí)例，可密封容器可位于非定位在裝載端口正上方的可伸縮架子(例如，圖2中的104a、104e、104h、104j或104m中的任何者)上。在另一實(shí)施例中，使用一或多個(gè)舉升組合件使一或多個(gè)可密封容器沿垂直路徑輸送。在另一實(shí)施例中，使用一或多個(gè)滑動(dòng)組合件使一或多個(gè)可密封容器沿水平路徑輸送。在另一實(shí)施例中，一或多個(gè)可密封容器在一或多個(gè)舉升組合件與一或多個(gè)滑動(dòng)組合件之間傳送以提供沿垂直及水平路徑兩者到一或多個(gè)裝載端口的輸送。可通過(guò)半導(dǎo)體裝置制作線工具102接近裝載端口上的可密封容器而用于處理。在步驟606中，方法包含將一或多個(gè)可密封容器中的至少一者輸送到至少一個(gè)可伸縮架子。類似于輸送到一或多個(gè)裝載端口，可經(jīng)由舉升組合件及滑動(dòng)組合件的任何組合使可密封容器傳送到至少一個(gè)可伸縮架子。可通過(guò)外部處理系統(tǒng)取回位于可伸縮架子上的可密封容器。

在本文中描述的標(biāo)的物有時(shí)說(shuō)明其它組件內(nèi)含有的或與其它組件連接的不同組件。應(yīng)理解，此類描繪的架構(gòu)僅為示范性且實(shí)際上可實(shí)施獲取相同功能的許多其它架構(gòu)。在概念性意義中，獲取相同功能的組件的任何布置有效地“結(jié)合”使得獲取所需功能。因此，不考慮架構(gòu)或中間組件，在本文中經(jīng)組合以獲取特定功能的任何兩個(gè)組件可被視為彼此“結(jié)合”使得獲取所需功能。同樣地，結(jié)合的任何兩個(gè)組件還可被認(rèn)為彼此“連接”或“耦合”以獲取所欲功能，且能夠結(jié)合的任何兩個(gè)組件還可被認(rèn)為彼此“可耦合”以獲取期望的功能。可耦合的特定實(shí)例包含(但不限制于)實(shí)體可配接及/或?qū)嶓w相互作用的組件及/或無(wú)線可相互作用及/或無(wú)線相互作用組件及/或邏輯相互作用及/或邏輯可相互作用組件。

據(jù)信，通過(guò)以上描述將了解本發(fā)明及其許多伴隨優(yōu)勢(shì)，且將明白在不違背所揭示的標(biāo)的物或不犧牲所有其關(guān)鍵優(yōu)勢(shì)的情況下可對(duì)組件的形式，構(gòu)造及布置作出各種改變。所描述的形式僅為解釋性，且所附權(quán)利要求書(shū)希望涵蓋且包含此類改變。此外，應(yīng)了解由所附權(quán)利要求書(shū)界定本發(fā)明。