本發(fā)明屬于納米科學與技術(shù)領(lǐng)域、顯示技術(shù)領(lǐng)域、光電子科學與技術(shù)領(lǐng)域、集成電路科學與技術(shù)領(lǐng)域、微電子科學與技術(shù)領(lǐng)域以及真空科學與技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域,涉及到平面場發(fā)射發(fā)光顯示器的制作,具體涉及到碳納米管陰極的平面場發(fā)射發(fā)光顯示器的制作,特別涉及到一種圓弧輔全曲銀門控三連續(xù)洼面棱邊陰極結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器及其制作工藝。
背景技術(shù):
碳納米管是一種優(yōu)秀的冷陰極材料,并已被成功應用于場發(fā)射平面顯示器中。在顯示器的內(nèi)部真空環(huán)境中,碳納米管能夠在外加電場強度的作用下進行大量電子發(fā)射,從而形成場發(fā)射顯示器所必需的工作電流。隨著絲網(wǎng)印刷工藝的引入,制作大面積碳納米管層已經(jīng)變得很容易;制約著碳納米管陰極制備工藝的解決,極大促進了場發(fā)射平面顯示器的研究進展。當然,絲網(wǎng)印刷工藝同時也已被大量應用于場發(fā)射顯示器的其它結(jié)構(gòu)制作。在三極結(jié)構(gòu)的場發(fā)射顯示器中,門極被添加于陽極和碳納米管陰極之間;門極和碳納米管陰極之間的距離很小,但門極和陽極之間的距離卻很大。因而,在三極結(jié)構(gòu)的場發(fā)射顯示器中,也存在著一些技術(shù)困難需要得以解決。例如,其一,碳納米管制作面積問題。小的碳納米管層面積,也就意味著碳納米管的數(shù)量不會很多;沒有足夠數(shù)量的碳納米管同時進行場電子發(fā)射,也就無法達到場發(fā)射顯示器所需要的正常陽極電流,當然場發(fā)射顯示器就不能正常進行高質(zhì)量圖像顯示。這和碳納米管陰極的制作結(jié)構(gòu)、碳納米管層的制作工藝、碳納米管層的后處理工序等都有關(guān)系。其二,碳納米管陰極和門極的集成化制作問題。碳納米管層是一個很薄的材料層,同時也非常容易受到其它制作工藝的污染和損壞。因而需要將碳納米管陰極和門極進行集成化制作,以期能夠盡最大可能的對碳納米管層加以保護。一旦碳納米管層被損傷,前續(xù)已制作的其它工序可能就變無效了。其三,門極制作問題。門極結(jié)構(gòu)過于復雜,不僅無法達到大規(guī)模生產(chǎn)的最低要求,還極大降低了場發(fā)射發(fā)光顯示器的成品率;同時,門極對碳納米管陰極進行場電子發(fā)射的能力很弱,這些問題都削弱了門極結(jié)構(gòu)原本存在的意義。此外,場發(fā)射發(fā)光顯示器的制作成本很高,并不利于其進軍顯示市場。這些問題的存在,都需要認真思考和探索、研究。
技術(shù)實現(xiàn)要素:
發(fā)明目的:為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷和不足,本發(fā)明提供一種發(fā)光灰度可調(diào)節(jié)性能優(yōu)異的、制作工藝可靠的、發(fā)光亮度高的、響應時間短的帶有圓弧輔全曲銀門控三連續(xù)洼面棱邊陰極結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器。
技術(shù)方案:為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明提供的圓弧輔全曲銀門控三連續(xù)洼面棱邊陰極結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器,包括由上閉攏玻璃硬板、下閉攏玻璃硬板和透明玻璃框所構(gòu)成的真空室;在上閉攏玻璃硬板上有陽極方膜氧化物層、與陽極方膜氧化物層相連的陽極厚膜延展層以及制備在陽極方膜氧化物層上面的熒光粉層;在下閉攏玻璃硬板上有圓弧輔全曲銀門控三連續(xù)洼面棱邊陰極結(jié)構(gòu);位于真空室內(nèi)的消氣劑和孤立支撐柱附屬元件。
所述的圓弧輔全曲銀門控三連續(xù)洼面棱邊陰極結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃,可以為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃,也就是下閉攏玻璃硬板;下閉攏玻璃硬板上的印刷的絕緣漿料層形成深黑藏匿層;深黑藏匿層上的印刷的銀漿層形成陰極厚膜延展層;陰極厚膜延展層上的印刷的絕緣漿料層形成陰極面棱邊底下層;陰極面棱邊底下層的下表面為圓形平面、位于陰極厚膜延展層上,陰極面棱邊底下層中心垂直軸線垂直于下閉攏玻璃硬板,陰極面棱邊底下層的下表面中心位于陰極面棱邊底下層中心垂直軸線上,陰極面棱邊底下層的上表面為向上凸起的圓錐面、且陰極面棱邊底下層上表面的圓錐尖位于陰極面棱邊底下層中心垂直軸線上,陰極面棱邊底下層的外側(cè)面為向陰極面棱邊底下層中心垂直軸線凹陷的洼面、靠近上表面的部位和陰極面棱邊底下層中心垂直軸線的距離小而遠離上表面的部位和陰極面棱邊底下層中心垂直軸線的距離大;陰極面棱邊底下層中存在三角孔,三角孔內(nèi)印刷的銀漿層形成陰極下層豎直連線層;陰極下層豎直連線層和陰極厚膜延展層相互連通;陰極面棱邊底下層上表面的印刷的銀漿層形成陰極下層錐面連線層;陰極下層錐面連線層布滿陰極面棱邊底下層的上表面,陰極下層錐面連線層的外邊緣與陰極面棱邊底下層上表面的外邊緣相平齊;陰極下層錐面連線層和陰極下層豎直連線層相互連通;陰極下層錐面連線層上的印刷的絕緣漿料層形成陰極面棱邊底中層;陰極面棱邊底中層位于陰極下層錐面連線層上,陰極面棱邊底中層中心垂直軸線垂直于下閉攏玻璃硬板,陰極面棱邊底中層中心垂直軸線和陰極面棱邊底下層中心垂直軸線相重合,陰極面棱邊底中層的下表面中心位于陰極面棱邊底中層中心垂直軸線上,陰極面棱邊底中層的上表面為向上凸起的圓錐面、且陰極面棱邊底中層上表面的圓錐尖位于陰極面棱邊底中層中心垂直軸線上,陰極面棱邊底中層的外側(cè)面為向陰極面棱邊底中層中心垂直軸線凹陷的洼面、靠近上表面的部位和陰極面棱邊底中層中心垂直軸線的距離小而遠離上表面的部位和陰極面棱邊底中層中心垂直軸線的距離大,陰極面棱邊底中層的下表面和陰極面棱邊底下層上表面的交界處形成一個向外凸起的環(huán)棱邊;陰極面棱邊底中層中存在三角孔,三角孔內(nèi)印刷的銀漿層形成陰極中層豎直連線層;陰極中層豎直連線層和陰極下層錐面連線層相互連通;陰極面棱邊底中層上表面的印刷的銀漿層形成陰極中層錐面連線層;陰極中層錐面連線層布滿陰極面棱邊底中層的上表面,陰極中層錐面連線層的外邊緣和陰極面棱邊底中層上表面的外邊緣相平齊;陰極中層錐面連線層和陰極中層豎直連線層相互連通;陰極中層錐面連線層上的印刷的絕緣漿料層形成陰極面棱邊底上層;陰極面棱邊底上層位于陰極中層錐面連線層上,陰極面棱邊底上層中心垂直軸線垂直于下閉攏玻璃硬板,陰極面棱邊底上層中心垂直軸線和陰極面棱邊底下層中心垂直軸線相重合,陰極面棱邊底上層的下表面中心位于陰極面棱邊底上層中心垂直軸線上,陰極面棱邊底上層的上表面為圓形平面,陰極面棱邊底上層的上表面中心位于陰極面棱邊底上層中心垂直軸線上,陰極面棱邊底上層的外側(cè)面為向陰極面棱邊底上層中心垂直軸線凹陷的洼面、靠近上表面的部位和陰極面棱邊底上層中心垂直軸線的距離小而遠離上表面的部位和陰極面棱邊底上層中心垂直軸線的距離大,陰極面棱邊底上層的下表面和陰極面棱邊底中層的上表面的交界處形成一個向外凸起的環(huán)棱邊;陰極面棱邊底下層、陰極面棱邊底中層和陰極面棱邊底上層外側(cè)面上的刻蝕的金屬層形成陰極面棱邊底過渡層;陰極面棱邊底過渡層為傾斜的洼面形,陰極面棱邊底過渡層的洼面上邊緣截止于陰極面棱邊底上層和陰極面棱邊底中層交界處的環(huán)棱邊、且為圓環(huán)形,陰極面棱邊底過渡層的洼面下邊緣截止于陰極面棱邊底中層和陰極面棱邊底下層交界處的環(huán)棱邊、且為圓環(huán)形,陰極面棱邊底過渡層和陰極下層錐面連線層、陰極中層錐面連線層相互連通;深黑藏匿層上的印刷的絕緣漿料層形成門極面棱邊底一層;門極面棱邊底一層的下表面為平面、位于深黑藏匿層上;門極面棱邊底一層中存在圓形孔,圓形孔中暴露出陰極面棱邊底下層、陰極面棱邊底中層、陰極面棱邊底上層和陰極面棱邊底過渡層;門極面棱邊底一層圓形孔在門極面棱邊底一層上、下表面形成的截面為中空圓面;門極面棱邊底一層上表面上的印刷的銀漿層形成門極電極下曲面層;門極電極下曲面層為向門極面棱邊底一層內(nèi)部凹陷的曲面形、位于門極面棱邊底一層上表面上,門極電極下曲面層的前端朝向圓形孔方向、而后端朝向遠離圓形孔方向,門極電極下曲面層的前末端與圓形孔側(cè)壁相平齊、不向圓形孔突出,門極電極下曲面層的前端高度低而后端高度高;門極電極下曲面層上的印刷的絕緣漿料層形成門極面棱邊底二層;門極面棱邊底二層后側(cè)面上的印刷的銀漿層形成門極電極前中曲面層;門極電極前中曲面層為曲面形、位于門極面棱邊底二層的后側(cè)面上,門極電極前中曲面層的前端朝向圓形孔方向、而后端朝向遠離圓形孔方向,門極電極前中曲面層的前末端不和圓形孔側(cè)壁相接觸,門極電極前中曲面層的前端高度高而后端高度低,門極電極前中曲面層的后末端和門極電極下曲面層相連接;門極電極前中曲面層和門極電極下曲面層相互連通;門極電極下曲面層和門極電極前中曲面層上的印刷的絕緣漿料層形成門極面棱邊底三層;門極面棱邊底三層后側(cè)面上的印刷的銀漿層形成門極電極后中曲面層;門極電極后中曲面層為曲面形、位于門極電極下曲面層和門極電極前中曲面層上,門極電極后中曲面層的前端朝向圓形孔方向、而后端朝向遠離圓形孔方向,門極電極后中曲面層的前末端和門極電極前中曲面層的前末端相連接,門極電極后中曲面層的前端高度高而后端高度低,門極電極后中曲面層的后末端和門極電極下曲面層相連接;門極電極后中曲面層、門極電極前中曲面層和門極電極下曲面層相互連通;門極電極后中曲面層上的印刷的絕緣漿料層形成門極面棱邊底四層;門極面棱邊底四層、門極面棱邊底三層和門極面棱邊底二層上的印刷的銀漿層形成門極電極上曲面層;門極電極上曲面層為曲面形,門極電極上曲面層的前端朝向圓形孔方向、而后端朝向遠離圓形孔方向,門極電極上曲面層的前末端和圓形孔內(nèi)側(cè)壁相平齊、不向圓形孔突出,門極電極上曲面層的后末端和門極電極下曲面層的后末端相連接,門極電極上曲面層的中部和門極電極前中曲面層、門極電極后中曲面層相連接;門極電極上曲面層和門極電極下曲面層相互連通;門極電極上曲面層、門極電極前中曲面層和門極電極后中曲面層相互連通;深黑藏匿層上的印刷的絕緣漿料層形成門極面棱邊底五層;門極面棱邊底五層的下表面為平面、位于深黑藏匿層上;門極面棱邊底五層上表面的印刷的銀漿層形成門極厚膜延展層;門極厚膜延展層和門極電極下曲面層后末端、門極電極上曲面層的后末端相連接;門極厚膜延展層、門極電極下曲面層和門極電極上曲面層相互連通;門極電極上曲面層上的印刷的絕緣漿料層形成門極面棱邊底六層;碳納米管制備在陰極面棱邊底過渡層上。
所述的圓弧輔全曲銀門控三連續(xù)洼面棱邊陰極結(jié)構(gòu)的固定位置為下閉攏玻璃硬板;陰極面棱邊底過渡層可以為金屬銀、鉬、鎳、鉻、銅、鋁。
本發(fā)明同時提供帶有圓弧輔全曲銀門控三連續(xù)洼面棱邊陰極結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器的制作工藝,包括以下步驟:
1)下閉攏玻璃硬板的制作:對平面鈉鈣玻璃進行劃割,形成下閉攏玻璃硬板;
2)深黑藏匿層的制作:在下閉攏玻璃硬板上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成深黑藏匿層;
3)陰極厚膜延展層的制作:在深黑藏匿層上印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極厚膜延展層;
4)陰極面棱邊底下層的制作:在陰極厚膜延展層上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極面棱邊底下層;
5)陰極下層豎直連線層的制作:在陰極面棱邊底下層三角孔內(nèi)印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極下層豎直連線層;
6)陰極下層錐面連線層的制作:在陰極面棱邊底下層上表面印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極下層錐面連線層;
7)陰極面棱邊底中層的制作:在陰極下層錐面連線層上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極面棱邊底中層;
8)陰極中層豎直連線層的制作:在陰極面棱邊底中層三角孔內(nèi)印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極中層豎直連線層;
9)陰極中層錐面連線層的制作:在陰極面棱邊底中層上表面印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極中層錐面連線層;
10)陰極面棱邊底上層]的制作:在陰極中層錐面連線層上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極面棱邊底上層;
11)陰極面棱邊底過渡層的制作:在陰極面棱邊底下層、陰極面棱邊底中層和陰極面棱邊底上層外側(cè)面上制備出一個金屬鎳層,刻蝕后形成陰極面棱邊底過渡層;
12)門極面棱邊底一層的制作:在深黑藏匿層上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極面棱邊底一層;
13)門極電極下曲面層的制作:在門極面棱邊底一層上表面印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極電極下曲面層;
14)門極面棱邊底二層的制作:在門極電極下曲面層上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極面棱邊底二層;
15)門極電極前中曲面層的制作:在門極面棱邊底二層后側(cè)面上印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極電極前中曲面層;
16)門極面棱邊底三層的制作:在門極電極下曲面層和門極電極前中曲面層上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極面棱邊底三層;
17)門極電極后中曲面層的制作:在門極面棱邊底三層后側(cè)面上印刷的銀漿層形成門極電極后中曲面層;
18)門極面棱邊底四層的制作:在門極電極后中曲面層上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極面棱邊底四層;
19)門極電極上曲面層的制作:在門極面棱邊底四層、門極面棱邊底三層和門極面棱邊底二層上印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極電極上曲面層;
20)門極面棱邊底五層的制作:在深黑藏匿層上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極面棱邊底五層;
21)門極厚膜延展層的制作:在門極面棱邊底五層上表面印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極厚膜延展層;
22)門極面棱邊底六層的制作:在門極電極上曲面層上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極面棱邊底六層;
23)圓弧輔全曲銀門控三連續(xù)洼面棱邊陰極結(jié)構(gòu)的清潔:對圓弧輔全曲銀門控三連續(xù)洼面棱邊陰極結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理,除掉雜質(zhì)和灰塵;
24)碳納米管層的制作:將碳納米管印刷在陰極面棱邊底過渡層上,形成碳納米管層;
25)碳納米管層的處理:對碳納米管層進行后處理,改善其場發(fā)射特性;
26)上閉攏玻璃硬板的制作:對平面鈉鈣玻璃進行劃割,形成上閉攏玻璃硬板;
27)陽極方膜氧化物層的制作:對覆蓋于上閉攏玻璃硬板表面的錫銦氧化物膜層進行刻蝕,形成陽極方膜氧化物層;
28)陽極厚膜延展層的制作:在上閉攏玻璃硬板上印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陽極厚膜延展層;
29)熒光粉層的制作:在陽極方膜氧化物層上印刷熒光粉,經(jīng)烘烤工藝后形成熒光粉層;
30)顯示器器件裝配:將消氣劑安裝固定在上閉攏玻璃硬板的非顯示區(qū)域;然后,將上閉攏玻璃硬板、下閉攏玻璃硬板和透明玻璃框[29]和孤立支撐柱[30]裝配到一起,用夾子固定;
31)顯示器器件封裝:對已經(jīng)裝配的顯示器器件進行封裝工藝形成成品件。
所述步驟28具體為:在上閉攏玻璃硬板的非顯示區(qū)域印刷銀漿,經(jīng)過烘烤(最高烘烤溫度:150oC,最高烘烤溫度保持時間:5分鐘)之后,放置在燒結(jié)爐中進行燒結(jié)(最高燒結(jié)溫度:532 oC,最高燒結(jié)溫度保持時間:10分鐘)。
所述步驟29具體為:在上閉攏玻璃硬板的陽極方膜氧化物層上印刷熒光粉,然后放置在烘箱中進行烘烤(最高烘烤溫度:135oC,最高烘烤溫度保持時間:8分鐘)。
所述步驟31具體為:對已裝配的顯示器器件進行如下的封裝工藝:將顯示器器件放入烘箱中進行烘烤;放入燒結(jié)爐中進行燒結(jié);在排氣臺上進行器件排氣、封離;在烤消機上對消氣劑進行烤消,最后加裝管腳形成成品件。
有益效果:本發(fā)明具備以下顯著的進步:
首先,在所述的圓弧輔全曲銀門控三連續(xù)洼面棱邊陰極結(jié)構(gòu)中,制作了三連續(xù)洼面棱邊陰極。陰極面棱邊底過渡層的洼面上邊緣位于陰極面棱邊底上層和陰極面棱邊底中層交界處的環(huán)棱邊、且為圓環(huán)形,而陰極面棱邊底過渡層的洼面下邊緣位于陰極面棱邊底中層和陰極面棱邊底下層交界處的環(huán)棱邊、且為圓環(huán)形,這樣,三連續(xù)洼面棱邊陰極就有了很長的電極邊緣。當施加門極電壓后,由于場發(fā)射發(fā)光顯示器中特有的“邊緣電場增強”現(xiàn)象,三連續(xù)洼面棱邊陰極的電極邊緣部位的電場強度會得到極大增強,從而迫使位于電極邊緣上的碳納米管層發(fā)射出更多的陰極電子。這對于進一步提升發(fā)光顯示器的發(fā)光亮度、改善發(fā)光灰度可調(diào)節(jié)性是有利的。同時,在三連續(xù)洼面棱邊陰極中,由陰極下層錐面連線層和陰極中層錐面連線層同時對陰極面棱邊底過渡層上的碳納米管層進行傳遞陰極電勢,這在確保對碳納米管層進行快速、良好供電的同時,也避免了由于陰極連線供電不良而造成陰極不發(fā)射電子現(xiàn)象的出現(xiàn),提升了發(fā)光顯示器的制作成品率。其次,在所述的圓弧輔全曲銀門控三連續(xù)洼面棱邊陰極結(jié)構(gòu)中,制作了圓弧輔全曲銀門極。門極電極下曲面層和門極電極上曲面層主要負責控制碳納米管層的場電子發(fā)射,而門極電極前中曲面層和門極電極后中曲面層則主要承擔良好傳遞門極電勢的輔助功能。當在門極上施加適當電壓后,就會在碳納米管層表面形成強大電場強度,迫使碳納米管發(fā)射出大量電子,且碳納米管發(fā)射電子的數(shù)量多少隨著圓弧輔全曲銀門極上電壓大小的變化而變化,這充分體現(xiàn)了圓弧輔全曲銀門極的良好調(diào)控性能。第三,在所述的圓弧輔全曲銀門控三連續(xù)洼面棱邊陰極結(jié)構(gòu)中,碳納米管制備在了陰極面棱邊底過渡層上。一方面,陰極面棱邊底過渡層呈現(xiàn)環(huán)形的洼面,具有很大的表面積;這樣,制備在陰極面棱邊底過渡層表面的碳納米管層面積也就變大了,能夠參與場電子發(fā)射的碳納米管數(shù)量增多了,發(fā)光顯示器的陽極電流得到了顯著增大,這對于改善發(fā)光顯示器的發(fā)光亮度是有幫助的。另一方面,陰極面棱邊底過渡層的洼面上邊緣和洼面下邊緣均處于向外凸起的棱邊上,這能夠進一步縮減碳納米管陰極-圓弧輔全曲銀門極之間的有效距離,有利于進一步降低門極工作電壓、減小發(fā)光顯示器的功率損耗。此外,在制作過程中沒有采用特殊的制作材料,有助于降低發(fā)光顯示器的制作費用。
除了上面所述的本發(fā)明解決的技術(shù)問題、構(gòu)成技術(shù)方案的技術(shù)特征以及由這些技術(shù)方案的技術(shù)特征所帶來的優(yōu)點外,本發(fā)明的圓弧輔全曲銀門控三連續(xù)洼面棱邊陰極結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器所能解決的其他技術(shù)問題、技術(shù)方案中包含的其他技術(shù)特征以及這些技術(shù)特征帶來的優(yōu)點,將結(jié)合附圖做出進一步詳細的說明。
附圖說明
圖1是本發(fā)明實施例中單個圓弧輔全曲銀門控三連續(xù)洼面棱邊陰極結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖;
圖2是本發(fā)明實施例中圓弧輔全曲銀門控三連續(xù)洼面棱邊陰極結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖;
圖3是本發(fā)明實施例中圓弧輔全曲銀門控三連續(xù)洼面棱邊陰極結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖中:下閉攏玻璃硬板1、深黑藏匿層2、陰極厚膜延展層3、陰極面棱邊底下層4、陰極下層豎直連線層5、陰極下層錐面連線層6、陰極面棱邊底中層7、陰極中層豎直連線層8、陰極中層錐面連線層9、陰極面棱邊底上層10、陰極面棱邊底過渡層11、門極面棱邊底一層12、門極電極下曲面層13、門極面棱邊底二層14、門極電極前中曲面層15、門極面棱邊底三層16、門極電極后中曲面層17、門極面棱邊底四層18、門極電極上曲面層19、門極面棱邊底五層20、門極厚膜延展層21、門極面棱邊底六層22、碳納米管層23、上閉攏玻璃硬板24、陽極方膜氧化物層25、陽極厚膜延展層26、熒光粉層27、消氣劑28、透明玻璃框29、孤立支撐柱30。
具體實施方式
下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進行進一步說明,但本發(fā)明并不局限于本實施例。
本實施例的圓弧輔全曲銀門控三連續(xù)洼面棱邊陰極結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器如圖1、圖2和圖3所示,包括由上閉攏玻璃硬板24、下閉攏玻璃硬板1和透明玻璃框29所構(gòu)成的真空室,以及位于真空室內(nèi)的消氣劑28和孤立支撐柱30附屬元件。在上閉攏玻璃硬板24上有陽極方膜氧化物層25、與陽極方膜氧化物層25相連的陽極厚膜延展層26以及制備在陽極方膜氧化物層25上面的熒光粉層27;在下閉攏玻璃硬板1上有圓弧輔全曲銀門控三連續(xù)洼面棱邊陰極結(jié)構(gòu)。
圓弧輔全曲銀門控三連續(xù)洼面棱邊陰極結(jié)構(gòu)包括下閉攏玻璃硬板1、深黑藏匿層2、陰極厚膜延展層3、陰極面棱邊底下層4、陰極下層豎直連線層5、陰極下層錐面連線層6、陰極面棱邊底中層7、陰極中層豎直連線層8、陰極中層錐面連線層9、陰極面棱邊底上層10、陰極面棱邊底過渡層11、門極面棱邊底一層12、門極電極下曲面層13、門極面棱邊底二層14、門極電極前中曲面層15、門極面棱邊底三層16、門極電極后中曲面層17、門極面棱邊底四層18、門極電極上曲面層19、門極面棱邊底五層20、門極厚膜延展層21、門極面棱邊底六層22和碳納米管層23部分。
圓弧輔全曲銀門控三連續(xù)洼面棱邊陰極結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃,可以為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃,也就是下閉攏玻璃硬板1;下閉攏玻璃硬板1上的印刷的絕緣漿料層形成深黑藏匿層2;深黑藏匿層2上的印刷的銀漿層形成陰極厚膜延展層3;陰極厚膜延展層3上的印刷的絕緣漿料層形成陰極面棱邊底下層4;陰極面棱邊底下層4的下表面為圓形平面、位于陰極厚膜延展層3上,陰極面棱邊底下層4中心垂直軸線垂直于下閉攏玻璃硬板1,陰極面棱邊底下層4的下表面中心位于陰極面棱邊底下層4中心垂直軸線上,陰極面棱邊底下層4的上表面為向上凸起的圓錐面、且陰極面棱邊底下層4上表面的圓錐尖位于陰極面棱邊底下層4中心垂直軸線上,陰極面棱邊底下層4的外側(cè)面為向陰極面棱邊底下層4中心垂直軸線凹陷的洼面、靠近上表面的部位和陰極面棱邊底下層4中心垂直軸線的距離小而遠離上表面的部位和陰極面棱邊底下層4中心垂直軸線的距離大;陰極面棱邊底下層4中存在三角孔,三角孔內(nèi)印刷的銀漿層形成陰極下層豎直連線層5;陰極下層豎直連線層5和陰極厚膜延展層3相互連通;陰極面棱邊底下層4上表面的印刷的銀漿層形成陰極下層錐面連線層6;陰極下層錐面連線層6布滿陰極面棱邊底下層4的上表面,陰極下層錐面連線層6的外邊緣與陰極面棱邊底下層4上表面的外邊緣相平齊;陰極下層錐面連線層6和陰極下層豎直連線層5相互連通;陰極下層錐面連線層6上的印刷的絕緣漿料層形成陰極面棱邊底中層7;陰極面棱邊底中層7位于陰極下層錐面連線層6上,陰極面棱邊底中層7中心垂直軸線垂直于下閉攏玻璃硬板1,陰極面棱邊底中層7中心垂直軸線和陰極面棱邊底下層4中心垂直軸線相重合,陰極面棱邊底中層7的下表面中心位于陰極面棱邊底中層7中心垂直軸線上,陰極面棱邊底中層7的上表面為向上凸起的圓錐面、且陰極面棱邊底中層7上表面的圓錐尖位于陰極面棱邊底中層7中心垂直軸線上,陰極面棱邊底中層7的外側(cè)面為向陰極面棱邊底中層7中心垂直軸線凹陷的洼面、靠近上表面的部位和陰極面棱邊底中層7中心垂直軸線的距離小而遠離上表面的部位和陰極面棱邊底中層7中心垂直軸線的距離大,陰極面棱邊底中層7的下表面和陰極面棱邊底下層4上表面的交界處形成一個向外凸起的環(huán)棱邊;陰極面棱邊底中層7中存在三角孔,三角孔內(nèi)印刷的銀漿層形成陰極中層豎直連線層8;陰極中層豎直連線層8和陰極下層錐面連線層6相互連通;陰極面棱邊底中層7上表面的印刷的銀漿層形成陰極中層錐面連線層9;陰極中層錐面連線層9布滿陰極面棱邊底中層7的上表面,陰極中層錐面連線層9的外邊緣和陰極面棱邊底中層7上表面的外邊緣相平齊;陰極中層錐面連線層9和陰極中層豎直連線層8相互連通;陰極中層錐面連線層9上的印刷的絕緣漿料層形成陰極面棱邊底上層10;陰極面棱邊底上層10位于陰極中層錐面連線層9上,陰極面棱邊底上層10中心垂直軸線垂直于下閉攏玻璃硬板1,陰極面棱邊底上層10中心垂直軸線和陰極面棱邊底下層4中心垂直軸線相重合,陰極面棱邊底上層10的下表面中心位于陰極面棱邊底上層10中心垂直軸線上,陰極面棱邊底上層10的上表面為圓形平面,陰極面棱邊底上層10的上表面中心位于陰極面棱邊底上層10中心垂直軸線上,陰極面棱邊底上層10的外側(cè)面為向陰極面棱邊底上層10中心垂直軸線凹陷的洼面、靠近上表面的部位和陰極面棱邊底上層10中心垂直軸線的距離小而遠離上表面的部位和陰極面棱邊底上層10中心垂直軸線的距離大,陰極面棱邊底上層10的下表面和陰極面棱邊底中層7的上表面的交界處形成一個向外凸起的環(huán)棱邊;陰極面棱邊底下層4、陰極面棱邊底中層7和陰極面棱邊底上層10外側(cè)面上的刻蝕的金屬層形成陰極面棱邊底過渡層11;陰極面棱邊底過渡層11為傾斜的洼面形,陰極面棱邊底過渡層11的洼面上邊緣截止于陰極面棱邊底上層10和陰極面棱邊底中層7交界處的環(huán)棱邊、且為圓環(huán)形,陰極面棱邊底過渡層11的洼面下邊緣截止于陰極面棱邊底中層7和陰極面棱邊底下層4交界處的環(huán)棱邊、且為圓環(huán)形,陰極面棱邊底過渡層11和陰極下層錐面連線層6、陰極中層錐面連線層9相互連通;深黑藏匿層2上的印刷的絕緣漿料層形成門極面棱邊底一層12;門極面棱邊底一層12的下表面為平面、位于深黑藏匿層2上;門極面棱邊底一層12中存在圓形孔,圓形孔中暴露出陰極面棱邊底下層4、陰極面棱邊底中層7、陰極面棱邊底上層10和陰極面棱邊底過渡層11;門極面棱邊底一層12圓形孔在門極面棱邊底一層12上、下表面形成的截面為中空圓面;門極面棱邊底一層12上表面上的印刷的銀漿層形成門極電極下曲面層13;門極電極下曲面層13為向門極面棱邊底一層12內(nèi)部凹陷的曲面形、位于門極面棱邊底一層12上表面上,門極電極下曲面層13的前端朝向圓形孔方向、而后端朝向遠離圓形孔方向,門極電極下曲面層13的前末端與圓形孔側(cè)壁相平齊、不向圓形孔突出,門極電極下曲面層13的前端高度低而后端高度高;門極電極下曲面層13上的印刷的絕緣漿料層形成門極面棱邊底二層14;門極面棱邊底二層14后側(cè)面上的印刷的銀漿層形成門極電極前中曲面層15;門極電極前中曲面層15為曲面形、位于門極面棱邊底二層14的后側(cè)面上,門極電極前中曲面層15的前端朝向圓形孔方向、而后端朝向遠離圓形孔方向,門極電極前中曲面層15的前末端不和圓形孔側(cè)壁相接觸,門極電極前中曲面層15的前端高度高而后端高度低,門極電極前中曲面層15的后末端和門極電極下曲面層13相連接;門極電極前中曲面層15和門極電極下曲面層13相互連通;門極電極下曲面層13和門極電極前中曲面層15上的印刷的絕緣漿料層形成門極面棱邊底三層16;門極面棱邊底三層16后側(cè)面上的印刷的銀漿層形成門極電極后中曲面層17;門極電極后中曲面層17為曲面形、位于門極電極下曲面層13和門極電極前中曲面層15上,門極電極后中曲面層17的前端朝向圓形孔方向、而后端朝向遠離圓形孔方向,門極電極后中曲面層17的前末端和門極電極前中曲面層15的前末端相連接,門極電極后中曲面層17的前端高度高而后端高度低,門極電極后中曲面層17的后末端和門極電極下曲面層13相連接;門極電極后中曲面層17、門極電極前中曲面層15和門極電極下曲面層13相互連通;門極電極后中曲面層17上的印刷的絕緣漿料層形成門極面棱邊底四層18;門極面棱邊底四層18、門極面棱邊底三層16和門極面棱邊底二層14上的印刷的銀漿層形成門極電極上曲面層19;門極電極上曲面層19為曲面形,門極電極上曲面層19的前端朝向圓形孔方向、而后端朝向遠離圓形孔方向,門極電極上曲面層19的前末端和圓形孔內(nèi)側(cè)壁相平齊、不向圓形孔突出,門極電極上曲面層19的后末端和門極電極下曲面層13的后末端相連接,門極電極上曲面層19的中部和門極電極前中曲面層15、門極電極后中曲面層17相連接;門極電極上曲面層19和門極電極下曲面層13相互連通;門極電極上曲面層19、門極電極前中曲面層15和門極電極后中曲面層17相互連通;深黑藏匿層2上的印刷的絕緣漿料層形成門極面棱邊底五層20;門極面棱邊底五層20的下表面為平面、位于深黑藏匿層2上;門極面棱邊底五層20上表面的印刷的銀漿層形成門極厚膜延展層21;門極厚膜延展層21和門極電極下曲面層13后末端、門極電極上曲面層19的后末端相連接;門極厚膜延展層21、門極電極下曲面層13和門極電極上曲面層19相互連通;門極電極上曲面層19上的印刷的絕緣漿料層形成門極面棱邊底六層22;碳納米管制備在陰極面棱邊底過渡層11上。
圓弧輔全曲銀門控三連續(xù)洼面棱邊陰極結(jié)構(gòu)的固定位置為下閉攏玻璃硬板1;陰極面棱邊底過渡層11可以為金屬銀、鉬、鎳、鉻、銅、鋁。
本實施例的帶有圓弧輔全曲銀門控三連續(xù)洼面棱邊陰極結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器的制作工藝如下:
1)下閉攏玻璃硬板的制作:對平面鈉鈣玻璃進行劃割,形成下閉攏玻璃硬板;
2)深黑藏匿層的制作:在下閉攏玻璃硬板上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成深黑藏匿層;
3)陰極厚膜延展層的制作:在深黑藏匿層上印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極厚膜延展層;
4)陰極面棱邊底下層的制作:在陰極厚膜延展層上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極面棱邊底下層;
5)陰極下層豎直連線層的制作:在陰極面棱邊底下層三角孔內(nèi)印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極下層豎直連線層;
6)陰極下層錐面連線層的制作:在陰極面棱邊底下層上表面印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極下層錐面連線層;
7)陰極面棱邊底中層的制作:在陰極下層錐面連線層上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極面棱邊底中層;
8)陰極中層豎直連線層的制作:在陰極面棱邊底中層三角孔內(nèi)印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極中層豎直連線層;
9)陰極中層錐面連線層的制作:在陰極面棱邊底中層上表面印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極中層錐面連線層;
10)陰極面棱邊底上層]的制作:在陰極中層錐面連線層上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極面棱邊底上層;
11)陰極面棱邊底過渡層的制作:在陰極面棱邊底下層、陰極面棱邊底中層和陰極面棱邊底上層外側(cè)面上制備出一個金屬鎳層,刻蝕后形成陰極面棱邊底過渡層;
12)門極面棱邊底一層的制作:在深黑藏匿層上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極面棱邊底一層;
13)門極電極下曲面層的制作:在門極面棱邊底一層上表面印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極電極下曲面層;
14)門極面棱邊底二層的制作:在門極電極下曲面層上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極面棱邊底二層;
15)門極電極前中曲面層的制作:在門極面棱邊底二層后側(cè)面上印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極電極前中曲面層;
16)門極面棱邊底三層的制作:在門極電極下曲面層和門極電極前中曲面層上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極面棱邊底三層;
17)門極電極后中曲面層的制作:在門極面棱邊底三層后側(cè)面上印刷的銀漿層形成門極電極后中曲面層;
18)門極面棱邊底四層的制作:在門極電極后中曲面層上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極面棱邊底四層;
19)門極電極上曲面層的制作:在門極面棱邊底四層、門極面棱邊底三層和門極面棱邊底二層上印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極電極上曲面層;
20)門極面棱邊底五層的制作:在深黑藏匿層上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極面棱邊底五層;
21)門極厚膜延展層的制作:在門極面棱邊底五層上表面印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極厚膜延展層;
22)門極面棱邊底六層的制作:在門極電極上曲面層上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極面棱邊底六層;
23)圓弧輔全曲銀門控三連續(xù)洼面棱邊陰極結(jié)構(gòu)的清潔:對圓弧輔全曲銀門控三連續(xù)洼面棱邊陰極結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理,除掉雜質(zhì)和灰塵;
24)碳納米管層的制作:將碳納米管印刷在陰極面棱邊底過渡層上,形成碳納米管層;
25)碳納米管層的處理:對碳納米管層進行后處理,改善其場發(fā)射特性;
26)上閉攏玻璃硬板的制作:對平面鈉鈣玻璃進行劃割,形成上閉攏玻璃硬板;
27)陽極方膜氧化物層的制作:對覆蓋于上閉攏玻璃硬板表面的錫銦氧化物膜層進行刻蝕,形成陽極方膜氧化物層;
28)陽極厚膜延展層的制作:在上閉攏玻璃硬板上印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陽極厚膜延展層;具體是在上閉攏玻璃硬板的非顯示區(qū)域印刷銀漿,經(jīng)過烘烤(最高烘烤溫度:150oC,最高烘烤溫度保持時間:5分鐘)之后,放置在燒結(jié)爐中進行燒結(jié)(最高燒結(jié)溫度:532 oC,最高燒結(jié)溫度保持時間:10分鐘);
29)熒光粉層的制作:在陽極方膜氧化物層上印刷熒光粉,經(jīng)烘烤工藝后形成熒光粉層,具體是在上閉攏玻璃硬板的陽極方膜氧化物層上印刷熒光粉,然后放置在烘箱中進行烘烤(最高烘烤溫度:135oC,最高烘烤溫度保持時間:8分鐘);
30)顯示器器件裝配:將消氣劑安裝固定在上閉攏玻璃硬板的非顯示區(qū)域;然后,將上閉攏玻璃硬板、下閉攏玻璃硬板和透明玻璃框[29]和孤立支撐柱[30]裝配到一起,用夾子固定;
31)顯示器器件封裝:對已經(jīng)裝配的顯示器器件進行如下的封裝工藝:將顯示器器件放入烘箱中進行烘烤;放入燒結(jié)爐中進行燒結(jié);在排氣臺上進行器件排氣、封離;在烤消機上對消氣劑進行烤消,最后加裝管腳形成成品件。