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一種基于動態(tài)耦合效應(yīng)的半導(dǎo)體光電傳感器及其制備方法與流程

文檔序號:12725247閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種基于動態(tài)耦合效應(yīng)的半導(dǎo)體光電傳感器,其特征在于,包括:

不摻雜或是弱摻雜的襯底(1),埋層氧化層(2)和具有梯形臺面狀的半導(dǎo)體溝道區(qū)(3),在半導(dǎo)體溝道之上且覆蓋溝道的柵氧化層(4),部分覆蓋溝道區(qū)域且在溝道中間的正柵極(5);

以及,在左邊的源極區(qū)域(6)和右邊的漏極區(qū)域(7),源極區(qū)域(6)和漏極區(qū)域(7)是與半導(dǎo)體溝道具有良好的肖特基接觸的金屬或者金屬硅化物;

器件有四個金屬電極,分別是源極金屬接觸,漏極金屬接觸,正柵極金屬接觸和背柵極金屬接觸。

2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體光電傳感器,其特征在于,所述襯底為絕緣層上硅或者建立在絕緣層上的鍺、鍺硅或氮化鎵材料。

3.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體光電傳感器,其特征在于,所述源、漏極為肖特基金屬接觸,覆蓋整個溝道區(qū)域的臺面邊緣。

4.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體光電傳感器,其特征在于,所述柵極只覆蓋部分溝道,柵極離源極和漏極有一段距離,分別L1和L2;L1和L2大于50nm,且L1=L2。

5.如權(quán)利要求1-4之一所述的半導(dǎo)體光電傳感器的制備方法,其特征在于,具體步驟為:

(1)起始的絕緣層上硅,包括襯底(1),埋層氧化層(2)和上層半導(dǎo)體(3);

(2)通過光刻和濕法腐蝕形成具有梯形結(jié)構(gòu)的溝道臺面;

(3)淀積一層?xùn)叛趸瘜?4)和正柵極材料;

(3)光刻并刻蝕以形成正柵極圖形(5);

(4)光刻以打開源漏的窗口,之后刻蝕掉柵氧化層,再淀積金屬以形成源漏極;

(5)光刻并淀積金屬接觸以形成正柵和背柵的金屬接觸。

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