技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種多孔氮化鎵的紫外光電探測器，包括：襯底；緩沖層，位于所述襯底之上；n型多孔氮化鎵層，位于所述緩沖層之上；一對電極，分別疊置于所述型多孔氮化鎵層之上。此外，本發(fā)明還提供了一種多孔氮化鎵的紫外光電探測器的制備方法，包括：在襯底上生長緩沖層；在緩沖層上制備n型多孔氮化鎵層；在n型多孔氮化鎵層上生長一對電極。本發(fā)明采用多孔氮化鎵結(jié)構(gòu)，使得氮化鎵與電極形成的肖特基結(jié)界面處會有大量的表面態(tài)密度，降低結(jié)勢壘高度，增強光效應。

技術(shù)研發(fā)人員：劉磊;楊超;趙麗霞
受保護的技術(shù)使用者：中國科學院半導體研究所
文檔號碼：201710053207
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.22
技術(shù)公布日：2017.05.10