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壓電驅(qū)動裝置的制作方法

文檔序號:11547059閱讀:270來源:國知局
壓電驅(qū)動裝置的制造方法

本發(fā)明涉及用于使層疊型壓電元件振動,使與桿卡合的透鏡框等移動體沿軸向移動的壓電驅(qū)動裝置。



背景技術(shù):

作為使用層疊型壓電元件用于沿軸向驅(qū)動透鏡框的壓電驅(qū)動裝置,已知有例如日本特開2007-274777號公報所示的裝置。在該公報所示的壓電驅(qū)動裝置中,在壓電元件的非伸縮部分安裝連接端子,在連接端子上連接配線部件進行向壓電元件的電力供給。

在該公報所示的發(fā)明中,使壓電元件的非伸縮部分作為配重部發(fā)揮功能。然而,為了使壓電元件的非伸縮部分作為配重部發(fā)揮功能,而隨著壓電元件的小型化不得不相對增大非伸縮部分,違背壓電元件的小型化的要求。

因此,需要連結(jié)與壓電元件不同的、比重比壓電元件大的配重部件。該情況下,目前,需要在壓電元件的連接端子上連接配線部件的作業(yè)和連結(jié)壓電元件和配重部件的作業(yè),隨著壓電元件的小型化,這些作業(yè)的自動化也被期待。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本發(fā)明是鑒于這種實際情況而完成的,其目的在于,提供可以實現(xiàn)壓電元件的小型化,并且壓電元件和配重部件的連結(jié)及配線容易,并且機械強度優(yōu)異,壓電元件的位移的損失小的壓電驅(qū)動裝置。

為了實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明的第一觀點提供一種壓電驅(qū)動裝置,其特征在于,具有:

層疊型壓電元件,其具有夾著壓電體層層疊的內(nèi)部電極、和與所述內(nèi)部電極電連接的一對外部電極;

配重部件,其安裝于所述層疊型壓電元件的所述層疊方向的一方的第一端面;

桿,其安裝于所述層疊型壓電元件的所述層疊方向的另一方的第二端面,

通過驅(qū)動所述層疊型壓電元件,使相對于所述桿在軸向移動自如地卡合的移動部件沿著軸向移動,

一對所述外部電極分別具有在所述第一端面相互絕緣而形成的第一外部連接部及第二外部連接部,

相互絕緣的第一電路圖形及第二電路圖形形成于與所述第一端面相對的所述配重部件的相對面,這些第一電路圖形及第二電路圖形分別與所述第一外部連接部及所述第二外部連接部金屬結(jié)合。

在本發(fā)明的第一觀點的壓電驅(qū)動裝置中,不存在引線或金屬端子等經(jīng)由焊料等與層疊型壓電元件連接的情況。向本發(fā)明的層疊型壓電元件的電力供給通過配重部件的第一電路圖形和層疊型壓電元件的第一外部連接部的金屬結(jié)合、和配重部件的第二電路圖形和層疊型壓電元件的第二外部連接部的金屬結(jié)合進行。

因此,可以同時確保層疊型壓電元件和配重部件的牢固的連結(jié)、和用于向?qū)盈B型壓電元件的電連接的配線。因此,即使使層疊型壓電元件小型化,層疊型壓電元件和配重部件的連結(jié)也變得容易,并且用于向?qū)盈B型壓電元件的電力供給的配線也容易。另外,這些的自動作業(yè)也變得容易。

另外,通過層疊型壓電元件和配重部件的連結(jié)形成配線,在層疊型壓電元件上,引線或金屬端子等的配線部件不另外與配重連結(jié),因此不會有突發(fā)的力作用在配線部件上,在和配線部件的連接部也不會斷線。

另外,通過金屬結(jié)合連結(jié)層疊型壓電元件和配重部件,因此,它們的接合強度提高。另外,與通過粘接劑連結(jié)層疊型壓電元件和配重部件的情況比較,沒有在粘接劑部分的位移吸收,層疊型壓電元件的位移力直接傳向配重,驅(qū)動力提高(位移的損失小)。

優(yōu)選的是,所述配重部件由金屬構(gòu)成,絕緣層形成于所述配重部件的表面,所述第一電路圖形和所述第二電路圖形形成于所述絕緣層的表面。通過利用金屬構(gòu)成配重部件,有助于配重部件的密度提高,壓電驅(qū)動裝置的小型化。此外,在利用金屬構(gòu)成配重部件的情況下,絕緣成為問題,但通過由絕緣層包覆配重部件的表面,保持電路圖形相互的絕緣。

優(yōu)選的是,與所述外部電極絕緣的假電極形成于所述第二端面,與所述假電極相對的所述桿的金屬面與所述假電極金屬結(jié)合,所述桿和所述層疊型壓電元件連結(jié)。通過這樣構(gòu)成,層疊型壓電元件和桿的連結(jié)也牢固,它們的連結(jié)作業(yè)的自動化也變得容易。

優(yōu)選的是,所述第一電路圖形及第二電路圖形不僅連續(xù)形成至所述配重部件的相對面,而且連續(xù)形成至所述配重部件被安裝于框架的表面的安裝面。

連接所述第一電路圖形及第二電路圖形的框架側(cè)電路圖形形成于所述框架的表面。

通過這樣構(gòu)成,將配重部件連結(jié)在框架上,同時可以進行形成于框架的電路圖形和配重部件的電路圖形的電連接。這些的連接也可以通過金屬結(jié)合進行。

為了實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明第二觀點提供一種壓電驅(qū)動裝置,其特征在于,具有:

層疊型壓電元件,其具有夾著壓電體層層疊的內(nèi)部電極、和與所述內(nèi)部電極電連接的一對第一外部電極及第二外部電極;

配重部件,其安裝于所述層疊型壓電元件的所述層疊方向的一方的第一端面;

桿,其安裝于所述層疊型壓電元件的所述層疊方向的另一方的第二端面,

通過驅(qū)動所述層疊型壓電元件,使相對于所述桿在軸向移動自如地卡合的移動部件沿軸向移動,

所述第一外部電極具有形成于所述第一端面的第一外部連接部,

所述第二外部電極具有形成于所述第二端面的第二外部連接部,

配重側(cè)金屬面形成于與所述第一端面相對的所述配重部件的相對面,所述配重側(cè)金屬面與所述第一外部連接部金屬結(jié)合,

桿側(cè)金屬面形成于與所述第二端面相對的所述桿的相對面,所述桿側(cè)金屬面與所述第二外部連接部金屬結(jié)合。

本發(fā)明的第二觀點的壓電驅(qū)動裝置中,不存在引線或金屬端子等經(jīng)由焊料等與層疊型壓電元件連接的情況。向?qū)盈B型壓電元件的電力供給通過配重部件的配重側(cè)金屬面和層疊型壓電元件的第一外部連接部的金屬結(jié)合、及桿的桿側(cè)金屬面和層疊型壓電元件的第二外部連接部的金屬結(jié)合進行。進行這些金屬結(jié)合的部分是施加用于使層疊型壓電元件驅(qū)動的反極性的電壓的部分,同時兼?zhèn)鋵盈B型壓電元件和配重部件的連結(jié)、和層疊型壓電元件和桿的連結(jié)。

因此,可以同時確保層疊型壓電元件和配重部件的牢固的連結(jié)、層疊型壓電元件和桿的牢固的連結(jié)、用于向?qū)盈B型壓電元件的電連接的配線。因此,使層疊型壓電元件也小型化,層疊型壓電元件和配重部件的連結(jié)變得容易,并且層疊型壓電元件和桿的連結(jié)變得容易,另外,用于向?qū)盈B型壓電元件的電力供給的配線變得容易。另外,這些的自動作業(yè)也變得容易。

另外,在層疊型壓電元件上,引線或金屬端子等配線部件不另外和配重及桿連結(jié),因此,不會有突發(fā)的力作用在配線部件,在和配線部件的連接部也會斷線。另外,桿的至少一部(也可以是全部)、配重部件的至少一部(也可以是全部)兼作配線,所以還有助于零件數(shù)量的縮減。

再另外,層疊型壓電元件和配重部件通過金屬結(jié)合連結(jié),并且通過金屬結(jié)合連結(jié)層疊型壓電元件和桿,因此,它們的接合強度提高。另外,與利用粘接劑連結(jié)層疊型壓電元件和桿、或?qū)盈B型壓電元件和配重部件的情況比較,沒有在粘接劑部分的位移吸收,層疊型壓電元件的位移力直接傳到配重及桿,驅(qū)動力提高(位移的損失小)。

優(yōu)選的是,所述配重部件由金屬構(gòu)成。通過利用金屬構(gòu)成配重部件,配重部件的密度提高,有助于壓電驅(qū)動裝置的小型化。另外,通過利用金屬構(gòu)成配重部件,配重部件的外表面構(gòu)成配重側(cè)金屬面自身,并不需要與配重部件另外地形成金屬面。此外,在由金屬以外構(gòu)成配重部件的情況下,例如通過金屬膜等電路圖形等形成用于和層疊型壓電元件金屬結(jié)合的配重側(cè)金屬面即可。

優(yōu)選的是,桿壓件與所述桿接觸,通過所述桿及所述桿壓件,向所述桿側(cè)金屬面可供給電力。例如,在透鏡驅(qū)動裝置等中,桿壓件是必要的零件,不會增加零件數(shù)量,可以經(jīng)由桿側(cè)金屬面向?qū)盈B型壓電元件供給電力。

在所述桿是金屬的情況下,桿側(cè)金屬面利用桿自身的外表面可以容易地形成。該情況下,桿自身成為導電通路。桿是金屬以外的導電性部件的情況也相同。但是,為了形成金屬面,只要在桿的規(guī)定位置利用金屬膜等形成電路圖形即可。該點在桿為絕緣體的情況下也相同。

附圖說明

以下,基于附圖所示的實施方式說明本發(fā)明。

圖1是本發(fā)明的一實施方式的透鏡驅(qū)動裝置的概略剖視圖;

圖2是圖1所示的透鏡驅(qū)動裝置的分解立體圖;

圖3是本發(fā)明的其它實施方式的透鏡驅(qū)動裝置的概略剖視圖;

圖4是圖3所示的透鏡驅(qū)動裝置的分解立體圖。

具體實施方式

第一實施方式

如圖1所示,本發(fā)明第一實施方式的壓電驅(qū)動裝置10例如是使保持安裝于照相機等的透鏡12的透鏡框(移動體)14沿桿16的軸向(z軸方向)移動的透鏡驅(qū)動裝置。透鏡框14在桿16的軸向的規(guī)定位置通過摩擦卡合,軸向移動自如地安裝。

層疊型壓電元件20通過在z軸方向伸縮振動,桿16進行振動,通過該振動,使透鏡框14相對于桿16向z軸方向的一方或另一方移動。向哪個方向移動到哪種程度由施加在層疊型壓電元件20的電壓波形的形狀或施加時間等決定。

壓電驅(qū)動裝置10具有桿16、層疊型壓電元件20、配重部件30。桿16通常具有圓柱形狀,例如由碳纖維增強塑料、不銹鋼等鋼材、鋁等非鐵金屬等構(gòu)成。桿16插通形成于透鏡框14的貫通孔14a而卡合,在z軸方向移動自如地保持透鏡框14。

層疊型壓電元件20具有含有大致棱柱狀(本實施方式中為四棱柱)的外觀形狀的元件主體21、第一外部電極26和第二外部電極27。在元件主體21的內(nèi)部,第一及第二內(nèi)部電極24、25夾著壓電體層22交替層疊。第一內(nèi)部電極24和第二內(nèi)部電極25b交替層疊的壓電體層26的部分為在z軸方向伸縮變形的活性部,只有形成于這些層疊部的z軸方向的兩端的壓電層的部分為非活性部。此外,元件主體21的外觀形狀不限于棱柱狀,也可以是圓柱狀、橢圓柱狀其它的形狀。

形成于元件主體21的外表面的第一外部電極26由第一外部連接部26a和第一側(cè)面電極部26b構(gòu)成,這些形成一體。另外,和第一外部電極26絕緣并形成于元件主體21的外表面的第二外部電極27由第二外部連接部27a和第二側(cè)面電極部27b構(gòu)成,這些形成一體。

第一側(cè)面電極部26b形成于與元件主體21的x軸方向相對的一對側(cè)面中的一方,只與元件主體21的第一內(nèi)部電極24連接,不與第二內(nèi)部電極25連接。第一側(cè)面電極26b在元件主體21的側(cè)面,延伸至z軸方向的下端,與形成于元件主體21的z軸方向的下端面(第一端面)的第一外部連接部26a連續(xù)地連接。

第二側(cè)面電極部27b形成于與元件主體21的x軸方向相對的一對側(cè)面中的另一方,只與元件主體21的第二內(nèi)部電極25連接,不與第一內(nèi)部電極24連接。第二側(cè)面電極27b在元件主體21的側(cè)面,延伸至z軸方向的下端,與形成于元件主體21的z軸方向的下端面(第一端面)的第二外部連接部27a連續(xù)地連接。在元件主體21的z軸方向的下端面,第一外部連接部26a和第二外部連接部27a遠離x軸方向形成并絕緣。

本實施方式中,在與元件主體21的y軸方向相對的一對側(cè)面未形成有外部電極26、27,如果確保外部電極26、27相互的絕緣,也可以在側(cè)面也連續(xù)地形成。此外,在附圖中,x軸、y軸及z軸相互垂直,z軸與內(nèi)部電極24、25的層疊方向一致,也與桿16的軸向一致。

本實施方式中,假電極28形成于元件主體21的z軸方向的上端面(第二端面)。假電極28與外部電極26、27一樣,可以形成于元件主體21的外表面,由與外部電極26、27同樣的材質(zhì)構(gòu)成,和外部電極26、27絕緣。另外,在圖2所示的元件主體21的側(cè)面中未形成有外部電極26、27的側(cè)面(在y軸方向相對的側(cè)面)也可以形成有用于防止遷移的樹脂層。樹脂層還可以覆蓋側(cè)面電極部26b及/或27b。

作為構(gòu)成第一內(nèi)部電極24及第二內(nèi)部電極25的導電材料,例如,列舉有ag、pd、au、pt等貴金屬及它們的合金(ag-pd等)或cu、ni等卑金屬及它們的合金等,沒有特別限定。

構(gòu)成第一外部電極26及第二外部電極27的導電材料也沒有特別限定,可以使用與構(gòu)成內(nèi)部電極的導電材料同樣的材料。此外,第一外部電極26及第二外部電極27例如,通過導電膏體的燒制等形成于元件主體21的外表面,上述各種金屬的鍍層或濺射層也可以形成于其表面。假電極28也同樣構(gòu)成。外部電極26、27及假電極28的厚度沒有特別限定,但優(yōu)選0.5~50μm。

另外,壓電體層22的材質(zhì)只要是顯示壓電效果或反壓電效果的材料,沒有特別限制,例如,列舉有pbzrxti1-xo3、batio3等。另外,也可以含有用于特性提高等的成分,其含量根據(jù)希望的特性適當決定即可。

如圖2所示,壓電驅(qū)動裝置10中,配重部件30的z軸方向的上表面配置為與元件主體21的z軸方向的下端面相對。配重部件30作為整體是長方體形狀,如圖1所示,內(nèi)部具有配重主體32。此外,配重部件30的整體形狀不限定于長方體形狀。

配重主體32優(yōu)選以作為用于給桿16帶來位移的慣性體而適當?shù)匕l(fā)揮作用的方式由包括鎢等比重較大的金屬材料等構(gòu)成,但沒有特別限定,例如也可以由鐵、鋼材、貴金屬、鋁等導體構(gòu)成。配重主體32由金屬構(gòu)成的情況下,在配重主體32的外表面由絕緣層34包覆。

作為絕緣層34,例如,由環(huán)氧、丙烯酸、聚酰亞胺、聚對二甲苯等非導電性塑料、氧化膜、黑色鉻酸鹽、dlc等構(gòu)成,通過涂敷、燒制、蒸鍍、熱處理、電鍍、粘接等方法形成于配重主體32的外表面。此外,配重主體32由塑料或陶瓷等絕緣材料構(gòu)成的情況下,不需要在配重主體32的外表面設(shè)有絕緣層34。

本實施方式中,相互絕緣的第一電路圖形36和第二電路圖形37形成于絕緣層34的表面。這些電路圖形36及37例如與外部電極26、27同樣形成于配重部件30的表面,也可以由同樣的材質(zhì)構(gòu)成。另外,這些電路圖形36及37的厚度優(yōu)選0.5~50μm。

這些電路圖形36及37分別具有形成于配重部件30的z軸方向的上表面(和層疊型壓電元件20的相對面)的第一相對圖形36a及第二相對圖形37a。第一相對圖形36a與第一外部連接部26a金屬結(jié)合,第二相對圖形37a與第二外部連接部27a金屬結(jié)合。用于使其金屬結(jié)合的方法沒有特別限定,使用超聲波接合、固相擴散接合、摩擦接合等固相接合技術(shù)、激光、脈沖熱等產(chǎn)生的熔敷接合等。

這些電路圖形36及37分別不僅連續(xù)形成至第一相對圖形36a及第二相對圖形37a,而且連續(xù)形成至配重部件30被安裝于框架40的表面42的安裝面即配重部件的z軸方向下表面。即,電路圖形36及37分別具有形成于配重部件30的z軸方向下表面的第一安裝圖形36b及第二安裝圖形37b。

第一相對圖形36a和第一安裝圖形36b是第一電路圖形36的一部分,它們通過形成于配重部件30的側(cè)面的電路圖形電連接。第二相對圖形37a和第二安裝圖形37b是第二電路圖形37的一部分,它們通過形成于配重部件30的側(cè)面的電路圖形電連接。

第一安裝圖形36b與位于形成于框架40的表面42的配重用安裝部44的第一框架側(cè)電路圖形46金屬結(jié)合。另外,第二安裝圖形37b與位于形成于框架40的表面42的配重用安裝部44的第二框架側(cè)電路圖形47金屬結(jié)合。金屬結(jié)合通過上述的方法進行。

框架40例如,也可以是安裝有環(huán)繞圖1所示的透鏡保持框14的殼體的固定部件,電路圖形46及47形成于表面42。如圖1所示,電路圖形46及47上連接有驅(qū)動電路50。

驅(qū)動電路50是用于在層疊型壓電元件20施加驅(qū)動電壓的電路。驅(qū)動電路50也可以安裝于框架40,也可以與框架分開設(shè)置。用于在框架40上形成電路圖形46及47的方法沒有特別限定,例如,使用用于在一般的電路基板形成電路圖形的方法等。

驅(qū)動電路50輸出的電壓波形沒有特別限定,驅(qū)動電路50通過輸出例如鋸齒波形的電壓波形,可以在作為移動部件的透鏡框14上產(chǎn)生超過層疊型壓電元件20的變形量及與此相關(guān)的桿16的位移量的移動量。

本實施方式中,如圖1所示,層疊型壓電元件20和桿16的接合通過形成于桿16的z軸方向的下表面的金屬面18、和形成于層疊型壓電元件20的z軸方向的上表面的假電極28的金屬結(jié)合來進行。金屬結(jié)合通過上述的方法來進行。各部位的金屬結(jié)合也可以分別進行,也可以同時進行。此外,在桿16由金屬構(gòu)成的情況下,金屬面18是桿16的z軸方向的下表面本身,由金屬以外構(gòu)成的情況下,以在桿16的z軸方向的下表面形成有金屬面18的方式形成金屬膜。

在本實施方式的壓電驅(qū)動裝置10中,不存在引線或金屬端子等經(jīng)由焊料等與層疊型壓電元件20連接的情況。向?qū)盈B型壓電元件20的電力供給通過層疊型壓電元件20的第一外部連接部26和配重部件30的電路圖形36的金屬結(jié)合、和層疊型壓電元件20的第二外部連接部27和配重部件30的電路圖形37的金屬結(jié)合來進行。向這些電路圖形36、37的電力供給從圖1所示的驅(qū)動電路50通過框架側(cè)電路圖形46、47進行。

因此,可以同時確保層疊型壓電元件20和配重部件30的牢固的連結(jié)、用于向?qū)盈B型壓電元件20的電連接的配線。因此,使層疊型壓電元件20也小型化,層疊型壓電元件20和配重部件30的連結(jié)也變得容易,用于向?qū)盈B型壓電元件20的電力供給的配線變得容易。另外,它們的自動作業(yè)也變得容易。

另外,通過層疊型壓電元件20和配重部件30的連結(jié)形成配線,在層疊型壓電元件20上引線或金屬端子等配線部件不和配重部件另外連結(jié),所以不會有突發(fā)的力作用在配線部件上,在和配線部件的連接部也不會斷線。

再另外,層疊型壓電元件20和配重部件30通過金屬結(jié)合連接,由此它們的接合強度提高。另外,與通過粘接劑連結(jié)層疊型壓電元件20和配重部件30的情況比較,沒有在粘接劑部分的位移吸收,層疊型壓電元件20的位移力直接傳到配重部件30,驅(qū)動力提高(位移的損失小)。

另外,本實施方式中,配重部件30的配重主體32由金屬構(gòu)成,絕緣層34形成于配重主體32的表面,第一電路圖形36和第二電路圖形37形成于絕緣層34的表面。通過利用金屬構(gòu)成配重主體32,配重部件30的密度提高,有助于壓電驅(qū)動裝置10的小型化。此外,在利用金屬構(gòu)成配重主體32的情況下,絕緣成為問題,但通過利用絕緣層34包覆配重主體32的表面,確保電路圖形36、37相互的絕緣。

另外,和外部電極26、27絕緣的假電極28形成于元件主體21的z軸方向上端面,與假電極28相對的桿16的金屬面18與假電極28金屬結(jié)合,桿16和層疊型壓電元件20連結(jié)。通過這樣地構(gòu)成,層疊型壓電元件20和桿16的連結(jié)也變得牢固,并且它們的連結(jié)作業(yè)的自動化也變得容易。

另外,本實施方式中,如圖2所示,第一電路圖形36及第二電路圖形37不僅連續(xù)形成至配重部件30的和層疊型壓電元件的相對面,而且連續(xù)形成至配重部件30被安裝于框架40的表面42的安裝面。連接有第一電路圖形36及第二電路圖形37的框架側(cè)電路圖形46、47形成于框架的表面。

通過這樣地構(gòu)成,將配重部件30與框架40連結(jié),同時可以進行形成于框架40的電路圖形46、47和配重部件30的電路圖形36、37的電連接。這些連接也可以通過金屬結(jié)合來進行。

此外,在上述的第一實施方式中,只要層疊型壓電元件20和配重部件30金屬結(jié)合即可,其它的部分也可以是除金屬結(jié)合以外的結(jié)合。例如,桿16和層疊型壓電元件20通過金屬結(jié)合以外的方法例如焊料接合或通過粘接進行接合。另外,配重部件30和框架的連接也可以通過金屬結(jié)合以外的方法例如焊料接合或通過粘接(包含導電性粘接劑)進行接合。

第二實施方式

如圖3所示,本發(fā)明第二實施方式的壓電驅(qū)動裝置110是上述的第一實施方式的變形例,在共通的部件上附加共通的部件符號。另外,與第一實施方式共用的部分的說明一部分省略。

壓電驅(qū)動裝置110具有桿16、層疊型壓電元件120、配重部件130。桿16一般地具有圓柱形狀,例如由碳纖維增強塑料、不銹鋼等鋼材、鋁等非鐵金屬等構(gòu)成。桿16插通形成于透鏡框14的貫通孔14a而卡合,在z軸方向移動自如地保持透鏡框14。

層疊型壓電元件120具有含有大致棱柱狀(本實施方式中四棱柱)的外觀形狀的元件主體21、第一外部電極126和第二外部電極127。在元件主體21的內(nèi)部第一及第二內(nèi)部電極24、25夾著壓電體層22交替層疊。第一內(nèi)部電極24和第二內(nèi)部電極25b交替層疊的壓電體層126的部分為在z軸方向伸縮變形的活性部,僅形成于這些層疊部的z軸方向的兩端的壓電層的部分為非活性部。此外,元件主體21的外觀形狀不限定于棱柱狀,也可以是圓柱狀、橢圓柱狀其它的形狀。

形成于元件主體21的外表面的第一外部電極126由第一外部連接部126a和第一側(cè)面電極部126b構(gòu)成,這些形成一體。另外,和第一外部電極126絕緣并形成于元件主體21的外表面的第二外部電極127由第二外部連接部127a和第二側(cè)面電極部127b構(gòu)成,這些形成一體。

第一側(cè)面電極部126b形成于與元件主體21的x軸方向相對的一對側(cè)面中的一方,只與元件主體21的第一內(nèi)部電極24連接,不與第二內(nèi)部電極25連接。第一側(cè)面電極126b在元件主體21的側(cè)面,延伸至z軸方向的下端,與形成于元件主體21的z軸方向的下端面(第一端面)的第一外部連接部126a連續(xù)地連接。

第二側(cè)面電極部127b形成于與元件主體21的x軸方向相對的一對側(cè)面中的另一方,只與元件主體21的第二內(nèi)部電極25連接,不與第一內(nèi)部電極24連接。第二側(cè)面電極127b在元件主體21的側(cè)面,延伸至z軸方向的上端,與形成于元件主體21的z軸方向的上端面(第二端面)的第二外部連接部127a連續(xù)地連接。第一外部連接部126a和第二外部連接部127a在層疊型壓電元件120的z軸方向的兩端相互相對地形成。

如圖4所示,本實施方式中,在與元件主體21的y軸方向相對的一對側(cè)面未形成有外部電極126、127,如果確保外部電極126、127相互的絕緣,也可以與這些側(cè)面也連續(xù)地形成。此外,附圖中,x軸、y軸及z軸相互垂直,z軸與內(nèi)部電極24、25的層疊方向一致,也與桿16的軸向一致。

在圖4所示的元件主體21的側(cè)面中未形成有外部電極126、127的側(cè)面(在y軸方向相對的側(cè)面)也可以形成有用于防止遷移的樹脂層。樹脂層也可以還包覆側(cè)面電極部126b及/或127b。

構(gòu)成第一外部電極126及第二外部電極127的導電材料也沒有特別限定,可以使用與構(gòu)成內(nèi)部電極的導電材料同樣的材料。此外,第一外部電極126及第二外部電極127例如通過導電膏體的燒制形成于元件主體21的外表面,上述各種金屬的鍍層或濺射層也可以形成于其表面。外部電極126、127的厚度沒有特別限定,優(yōu)選0.5~50μm。

如圖4所示,壓電驅(qū)動裝置110中,配重部件130的z軸方向的上表面以與元件主體21的z軸方向的下端面相對的方式配置。配重部件130作為整體為長方體形狀,其形狀沒有特別限定。

配重部件130以作為用于給桿16帶來位移的慣性體適當發(fā)揮作用的方式優(yōu)選含有鎢等比重較大的金屬材料等,但沒有特別限定,例如,也可以通過鐵、鋼材、貴金屬、鋁等導體構(gòu)成。配重主體132由金屬構(gòu)成的情況下,配重主體132的外表面為金屬面。

特別是,在與層疊型壓電元件120的z軸方向的下表面對應(yīng)的配重部件130的相對面形成有將第一外部連接部126a金屬結(jié)合的配重側(cè)金屬面136。另外,配重部件130的z軸方向的下表面也為金屬面,與形成于框架40的表面42的框架側(cè)電路圖形146金屬結(jié)合。

此外,配重部件130也可以由塑料、陶瓷等絕緣材料構(gòu)成。該情況下,在與層疊型壓電元件120的z軸方向的下表面對應(yīng)的配重部件130的相對面上需要形成將第一外部連接部126a金屬結(jié)合的配重側(cè)金屬面136,并且配重部件130的z軸方向的下面作為金屬面,也需要將它們之間電連接。因此,在絕緣性的配重部件130的表面形成由金屬膜等構(gòu)成的電路圖形即可。

另外,在配重部件130由金屬構(gòu)成的情況下,成為金屬面的配重側(cè)金屬面136及成為金屬面的配重安裝面138以外的外表面也可以由絕緣膜包覆。

本實施方式中,作為用于使其金屬結(jié)合的方法沒有特別限定,使用超聲波接合、固相擴散接合、摩擦接合等固相接合技術(shù)、激光、脈沖熱等產(chǎn)生的熔敷接合等。

框架40也可以例如是安裝有環(huán)繞圖3所示的透鏡保持框14的殼體的固定部件??蚣軅?cè)電路圖形146、與其一體化連接的引線圖形146a形成于框架40的表面。如圖3所示,驅(qū)動電路50與框架側(cè)電路圖形146的引線圖形146a連接。引線圖形146a與圖3所示的驅(qū)動電路50連接。這些圖形146、146a可以通過金屬膏體的燒制法、電鍍法、或濺射法等形成于由絕緣材料構(gòu)成的框架42的表面。

本實施方式中,如圖3所示,層疊型壓電元件120和桿16的接合通過形成于桿16的z軸方向的下表面的桿側(cè)金屬面18、和形成于層疊型壓電元件120的z軸方向的上表面的第二外部連接部127a的金屬結(jié)合來進行。金屬結(jié)合通過上述的方法來進行。各部位的金屬結(jié)合也可以分別進行,也可以同時進行。此外,在桿16由金屬構(gòu)成的情況下,桿側(cè)金屬面18為桿16的z軸方向的下表面本身,在由金屬以外構(gòu)成的情況下,以在桿16的z軸方向的下表面形成有金屬面18的方式形成金屬膜。

在不妨礙透鏡框14的z軸方向移動的位置,在桿16的z軸方向的途中桿壓件147與桿16接觸。桿壓件147例如具有桿16的支撐及桿16的定位等的功能,一般地安裝于透鏡驅(qū)動裝置上。本實施方式中由導電性部件構(gòu)成桿壓件147自身,或桿壓件147自身由絕緣性部件構(gòu)成,在和桿16的接觸部以形成導電性路徑的方式具備電路圖形或?qū)щ娦圆考?/p>

在由導電性部件構(gòu)成桿壓件147的情況下,在桿壓件147上例如連接配線147a。配線147a與驅(qū)動電路50連接。配線147a的至少一部分也可以由引線構(gòu)成,優(yōu)選例如由形成于框架40的表面的電路圖形構(gòu)成。桿壓件147由絕緣部件構(gòu)成的情況下,配線147a與形成于桿壓件147的表面的電路圖形連接。形成于桿壓件147的表面的電路圖形與桿16的表面電連接。

只要桿16由導電性部件構(gòu)成,則來自驅(qū)動電路50的一方的電壓經(jīng)由配線147a傳到桿壓件147自身或其電路圖形,從此,通過桿16及金屬面18傳到第二外部電極127。桿16由絕緣部件構(gòu)成的情況下,通過形成于桿16的表面的電路圖形、和金屬面18,傳到第二外部電極127。來自驅(qū)動電路50的另一方的電壓通過引線圖形146a、框架側(cè)電路圖形146及配重部件130傳到第一外部電極126。

驅(qū)動電路50是用于在層疊型壓電元件120施加驅(qū)動電壓的電路。驅(qū)動電路50也可以安裝于框架40,也可以與框架40分開設(shè)置。用于在框架40上形成圖形146、146a或其它的電路圖形的方法沒有特別限定,使用例如用于在一般的電路基板形成電路圖形的方法等。

驅(qū)動電路50輸出的電壓波形沒有特別限定,驅(qū)動電路50例如通過輸出鋸齒波形的電壓波形,可以在作為移動部件的透鏡框14產(chǎn)生超過層疊型壓電元件120的變形量及與其相關(guān)的桿16的位移量的移動量。

本實施方式的壓電驅(qū)動裝置110中,不存在引線或金屬端子等經(jīng)由焊料與層疊型壓電元件120連接的情況。向?qū)盈B型壓電元件120的電力供給通過配重側(cè)金屬面136和第一外部連接部126的金屬結(jié)合、及桿側(cè)金屬面18和第二外部連接部127的金屬結(jié)合來進行。進行這些金屬結(jié)合的部分是施加用于使層疊型壓電元件120驅(qū)動的反極性的電壓的部分,同時兼?zhèn)鋵盈B型壓電元件120和配重部件130的連結(jié)、層疊型壓電元件120和桿16的連結(jié)。

因此,可以同時確保層疊型壓電元件120和配重部件130的牢固的連結(jié)、層疊型壓電元件120和桿16的牢固的連結(jié)、用于向?qū)盈B型壓電元件120的電連接的配線。因此,即使層疊型壓電元件120小型化,層疊型壓電元件120和配重部件130的連結(jié)變得容易,同時層疊型壓電元件120和桿16的連結(jié)也變得容易,用于在層疊型壓電元件120的電力供給的配線變得容易。另外,它們的自動作業(yè)也變得容易。

另外,在層疊型壓電元件120上引線或金屬端子等配線部件不和配重部件另外連結(jié),因此也沒有突發(fā)的力作用在配線部件上,在和配線部件的連接部也不會斷線。另外,桿16的至少一部分(也可以是全部)、配重部件130的至少一部分(也可以是全部)兼作配線,也有助于零件數(shù)量的減縮。

再另外,層疊型壓電元件120和配重部件130通過金屬結(jié)合連結(jié),并且層疊型壓電元件120和桿16的連結(jié)通過金屬結(jié)合形成,因此它們的接合強度提高。另外,與利用粘接劑連結(jié)這些的情況比較,沒有在粘接劑部分的位移吸收,層疊型壓電元件120的位移力直接傳到配重部件130及桿16,從而驅(qū)動力提高(位移的損失小)。

另外,本實施方式中,通過由金屬構(gòu)成配重部件130,配重部件130的密度提高,有助于壓電驅(qū)動裝置110的小型化。另外,通過利用金屬構(gòu)成配重部件130,配重部件130的外表面構(gòu)成配重側(cè)金屬面自身,不需要和配重部件130分開形成金屬面。此外,在利用金屬以外構(gòu)成配重部件130的情況下,例如只要由金屬膜等電路圖形等形成用于和層疊型壓電元件金屬結(jié)合的配重側(cè)金屬面即可。

另外,桿壓件147與桿16接觸,通過桿16及桿壓件147,可向桿側(cè)金屬面供給電力。例如在透鏡驅(qū)動裝置等中,桿壓件是必要的零件,不增加零件數(shù)量,可以經(jīng)由桿側(cè)金屬面18向?qū)盈B型壓電元件120供給電力。

另外,本實施方式中,在桿16是金屬的情況下,桿側(cè)金屬面18可以利用桿16本身的外表面容易地形成。該情況下,桿16本身為導電通路。桿16是金屬以外的導電性部件的情況也同樣。但是,為了形成金屬面18,在桿16的規(guī)定位置通過金屬膜等形成電路圖形即可。該點與桿16是絕緣體的情況也同樣。

另外,在本實施方式中,將配重部件130與框架40連結(jié),同時可以進行形成于框架40的電路圖形146和配重部件130的電連接。這些連接也可以通過金屬結(jié)合來進行。

此外,在上述的第二實施方式中,將層疊型壓電元件120和配重部件130金屬結(jié)合,并且將層疊型壓電元件120和桿16金屬結(jié)合即可,其它的部分也可以是除金屬結(jié)合以外。例如,配重部件130和框架40通過金屬結(jié)合以外的方法,例如焊料接合或粘接(包含導電性粘接劑)也可以進行接合。

本發(fā)明不限定于上述的第一及第二實施方式,在本發(fā)明的范圍內(nèi)可以進行各種改變。

例如,在上述的兩個實施方式中,作為用于金屬結(jié)合的方法,使用超聲波接合,但也可以使用其它的方法。作為用于金屬結(jié)合的其它的方法,例如例示擴散接合、摩擦接合、激光、脈沖熱等。

另外,在上述的兩個實施方式中,作為壓電驅(qū)動裝置10(或110),例示了使保持透鏡12的透鏡框14沿著桿移動的驅(qū)動裝置,但作為移動體也可以是透鏡框以外的部件。作為移動體例如例示被稱為滑塊的板簧等。

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