技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及帶電粒子顯微術(shù)中的三維成像。一種使用帶電粒子顯微術(shù)研究樣本的方法，其包括以下步驟：（a）在樣本的表面上，選擇在XY平面中延伸并且包括在所述表面的二維掃描期間要被帶電粒子探測射束撞擊到其上的網(wǎng)格節(jié)點(diǎn)的虛擬采樣網(wǎng)格；（b）利用所述表面以下的相關(guān)聯(lián)的標(biāo)稱Z穿透深度di來為所述探測射束選擇著陸能量Ei；（c）在所述節(jié)點(diǎn)的每一個處，利用所述探測射束照射樣本并且檢測響應(yīng)于其而從樣本發(fā)出的輸出輻射，由此生成掃描圖像Ii；（d）針對與相關(guān)聯(lián)的一系列不同穿透深度{di}對應(yīng)的一系列不同著陸能量{Ei-}重復(fù)步驟（b）和（c），還包括以下步驟：（e）預(yù)先選擇Ei要在步驟（b）和（c）的第一迭代之后改變的初始能量增量?Ei；（f）將能量增量?Ei與值di中的對應(yīng)深度增量?d相關(guān)聯(lián)；（g）將所述采樣網(wǎng)格選擇為在X和Y上具有基本上相等的節(jié)點(diǎn)節(jié)距p，該節(jié)距p與?d的值相匹配以便產(chǎn)生基本上立方的采樣體素；（h）在系列{Ei}中選擇后續(xù)能量值，以便在所選擇的最小和最大著陸能量Emin和Emax的界限內(nèi)分別保持系列{di}的連續(xù)成員之間基本上恒定的深度增量?d。

技術(shù)研發(fā)人員：F.博霍貝;P.波托塞克;I.格斯特曼恩
受保護(hù)的技術(shù)使用者：FEI公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.23
技術(shù)公布日：2017.11.03