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用于FINFET架構(gòu)的用固態(tài)擴(kuò)散源摻雜的隔離阱的制作方法

文檔序號:12725221閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種結(jié)構(gòu),包括:

鰭狀物,所述鰭狀物包括硅并且包括位于第二區(qū)域之上的第一區(qū)域;

柵極疊置體,所述柵極疊置體與所述第一區(qū)域的側(cè)壁表面相鄰,其中,所述柵極疊置體包括柵極電介質(zhì)和柵極電極;

源極和漏極;

電介質(zhì)層,所述電介質(zhì)層與所述第二區(qū)域的側(cè)壁表面相鄰,其中,所述電介質(zhì)層包括雜質(zhì),所述雜質(zhì)還存在于所述第二區(qū)域內(nèi)并且與導(dǎo)電類型相關(guān)聯(lián);以及

隔離材料,所述隔離材料與所述電介質(zhì)層相鄰。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的結(jié)構(gòu),其中:

所述電介質(zhì)層包括磷摻雜的硅酸鹽玻璃(PSG);

所述雜質(zhì)是磷;并且

所述鰭狀物與PMOS晶體管相關(guān)聯(lián)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的結(jié)構(gòu),其中,所述電介質(zhì)層與所述柵極電極或柵極電介質(zhì)的至少其中之一接觸。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的結(jié)構(gòu),其中:

所述第一區(qū)域具有小于20nm的橫向?qū)挾龋?/p>

所述鰭狀物具有介于20nm與150nm之間的垂直高度;并且

所述電介質(zhì)層具有如正交于所述側(cè)壁表面所測量到的介于1nm與5nm之間的厚度。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的結(jié)構(gòu),其中,所述電介質(zhì)層具有大體上共形的厚度。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的結(jié)構(gòu),還包括第二鰭狀物,其中:

所述第二鰭狀物包括上層區(qū)域和下層區(qū)域;

第二柵極疊置體與所述上層區(qū)域的側(cè)壁表面相鄰;并且

第二源極和第二漏極耦合到所述上層區(qū)域;

第二電介質(zhì)層與所述下層區(qū)域的側(cè)壁表面相鄰,其中,所述第二電介質(zhì)層包括第二雜質(zhì),所述第二雜質(zhì)還存在于所述下層區(qū)域內(nèi)并且與第二互補(bǔ)導(dǎo)電類型相關(guān)聯(lián);并且

所述隔離材料將所述第一電介質(zhì)層與所述第二電介質(zhì)層分隔開。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的結(jié)構(gòu),其中,所述隔離材料包括多個電介質(zhì)層,所述多個電介質(zhì)層包括氮化硅層,所述氮化硅層與所述第一電介質(zhì)層和所述第二電介質(zhì)層相鄰。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的結(jié)構(gòu),其中:

所述第一電介質(zhì)層包括磷摻雜的硅酸鹽玻璃(PSG);

所述鰭狀物與PMOS晶體管相關(guān)聯(lián);

所述第二電介質(zhì)層包括硼摻雜的硅酸鹽玻璃(BSG);并且

所述第二鰭狀物與NMOS晶體管相關(guān)聯(lián)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的結(jié)構(gòu),其中:

所述第一電介質(zhì)層和所述第二電介質(zhì)層形成了與所述鰭狀物的所述第二區(qū)域或所述第二鰭狀物的下層區(qū)域中的至少一個區(qū)域的側(cè)壁表面相鄰的層的疊置體。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的結(jié)構(gòu),其中,所述層的疊置體還包括位于所述第一電介質(zhì)層與所述第二電介質(zhì)層之間的氮化硅層。

11.根據(jù)權(quán)利要求6所述的結(jié)構(gòu),其中,所述第一區(qū)域包括濃度在10e17cm-3與10e19cm-3之間的所述第一雜質(zhì)。

12.根據(jù)權(quán)力要求11所述的結(jié)構(gòu),其中,所述下層區(qū)域包括濃度在10e17cm-3與10e19cm-3之間的所述第二雜質(zhì)。

13.根據(jù)權(quán)力要求1所述的結(jié)構(gòu),其中,包括所述雜質(zhì)的所述電介質(zhì)層在與第二區(qū)域的所述側(cè)壁表面相交的襯底表面之上延伸,位于所述襯底表面之上的所述電介質(zhì)層將所述隔離電介質(zhì)與所述襯底表面分隔開。

14.一種結(jié)構(gòu),包括:

PMOS晶體管,所述PMOS晶體管進(jìn)一步包括:

第一鰭狀物,所述第一鰭狀物包括硅并且包括位于第二區(qū)域之上的第一區(qū)域;

柵極疊置體,所述柵極疊置體與所述第一區(qū)域的側(cè)壁表面相鄰,其中,所述柵極疊置體包括柵極電介質(zhì)和柵極電極;

源極和漏極;以及

第一電介質(zhì)層,所述第一電介質(zhì)層包括磷和硅、與所述第二區(qū)域的側(cè)壁表面相鄰,其中,磷還存在于所述第二區(qū)域內(nèi);

NMOS晶體管,所述NMOS晶體管進(jìn)一步包括:

第二鰭狀物,所述第二鰭狀物包括硅并且包括位于下層區(qū)域之上的上層區(qū)域;

柵極疊置體,所述柵極疊置體與所述上層區(qū)域的側(cè)壁表面相鄰,其中,所述柵極疊置體包括柵極電介質(zhì)和柵極電極;

源極和漏極;以及

第二電介質(zhì)層,所述第二電介質(zhì)層包括硼和硅、與所述第二區(qū)域的側(cè)壁表面相鄰,其中,硼還存在于所述下層區(qū)域內(nèi);以及

隔離材料,所述隔離材料將所述第一鰭狀物與所述第二鰭狀物分隔開,其中,所述隔離材料與所述第一電介質(zhì)層相鄰并且與所述第二電介質(zhì)層相鄰。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的結(jié)構(gòu),其中:

所述第一區(qū)域具有小于20nm的橫向?qū)挾龋?/p>

所述鰭狀物具有介于20nm與150nm之間的垂直高度;并且

所述第一電介質(zhì)層具有如正交于所述側(cè)壁表面所測量到的介于1nm與5nm之間的厚度。

16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的結(jié)構(gòu),其中,所述隔離材料包括多個電介質(zhì)層,所述多個電介質(zhì)層包括氮化硅層,所述氮化硅層與所述第一電介質(zhì)層和所述第二電介質(zhì)層相鄰。

17.根據(jù)權(quán)力要求14所述的結(jié)構(gòu),其中:

所述第一區(qū)域包括濃度在10e17cm-3與10e19cm-3之間的磷;并且

所述下層區(qū)域包括濃度在10e17cm-3與10e19cm-3之間的硼。

18.一種結(jié)構(gòu),包括:

鰭狀物,所述鰭狀物包括硅并且包括位于第二區(qū)域之上的第一區(qū)域;

柵極疊置體,所述柵極疊置體與所述第一區(qū)域的側(cè)壁表面相鄰,其中,所述柵極疊置體包括柵極電介質(zhì)和柵極電極;

源極和漏極;以及

電介質(zhì)層,所述電介質(zhì)層包括硼和硅、與所述第二區(qū)域的側(cè)壁表面相鄰,其中,硼還存在于所述第二區(qū)域內(nèi)。

19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的結(jié)構(gòu),還包括第二鰭狀物,其中:

所述第二鰭狀物包括上層區(qū)域和下層區(qū)域;

第二柵極疊置體與所述上層區(qū)域的側(cè)壁表面相鄰;并且

第二源極和第二漏極耦合到所述上層區(qū)域;

包括磷和硅的第二電介質(zhì)層與所述下層區(qū)域的側(cè)壁表面相鄰,其中,磷還存在于所述第二區(qū)域內(nèi);并且

隔離材料將所述第一電介質(zhì)層與所述第二電介質(zhì)層分隔開。

20.根據(jù)權(quán)利要求18所述的結(jié)構(gòu),其中,所述第一電介質(zhì)層和所述第二電介質(zhì)層形成了與所述鰭狀物的所述第二區(qū)域或所述第二鰭狀物的下層區(qū)域中的至少一個區(qū)域的側(cè)壁表面相鄰的層的疊置體。

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