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覆蓋金屬層填充孔或槽的封裝結(jié)構(gòu)及制作方法與流程

文檔序號:12065949閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種覆蓋金屬層填充孔或槽的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,包括一芯片,其包含功能面和與其相對的非功能面,所述功能面包含有功能區(qū)和位于四周的焊墊;一基板,正面具有圍堰,所述基板正面與芯片功能面通過圍堰鍵合,所述圍堰覆蓋芯片焊墊,功能區(qū)與基板之間形成空腔,所述基板背面具有通孔或槽,所述通孔或槽貫穿圍堰露出所述芯片焊墊;在通孔或槽內(nèi)以及基板背面鋪設(shè)有金屬層,所述金屬層與焊墊電性連接;所述金屬層上覆蓋有導(dǎo)電互連材料,該導(dǎo)電互連材料的厚度小于用于電性互連的導(dǎo)電凸塊的厚度,且所述導(dǎo)電互連材料填滿或部分填充了所述通孔或槽。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的覆蓋金屬層填充孔或槽的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述基板正面對應(yīng)功能區(qū)的位置具有凹腔,所述凹腔的腔壁與腔底的角度是90°或是90°~180°范圍之間,其中包括180°。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的覆蓋金屬層填充孔或槽的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述導(dǎo)電互連材料為錫膏或?qū)щ娔z。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的覆蓋金屬層填充孔或槽的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述導(dǎo)電互連材料在所述基板背面上呈單層或多層的平面狀。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的覆蓋金屬層填充孔或槽的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述芯片和基板以及導(dǎo)電互連材料的封裝體厚度小于360微米。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的覆蓋金屬層填充孔或槽的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述芯片和基板的組裝體與一電路板組裝,先使所述基板背面包含所述導(dǎo)電互連材料貼合于所述電路板上,然后在所述電路板上對所述組裝體的正面及周側(cè)進(jìn)行塑封層整體塑封。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或6所述的覆蓋金屬層填充孔或槽的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述電路板上所述芯片組裝體以外的區(qū)域結(jié)合有其他芯片,所述芯片組裝體及其他芯片進(jìn)行塑封層整體一次塑封。

8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的覆蓋金屬層填充孔或槽的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述基板為硅基板、玻璃基板、陶瓷基板、塑料基板中的一種或其它硬質(zhì)基板。

9.一種覆蓋金屬層填充孔或槽的封裝結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,包括以下步驟:

步驟一、提供一芯片,所述芯片包含功能面和與其相對的非功能面,所述功能面包含有功能區(qū)和位于四周的焊墊;

步驟二、提供一基板,所述基板正面鋪設(shè)可光刻聚合物膠,通過曝光、顯影形成圍堰;

步驟三、所述芯片功能面與基板正面通過圍堰鍵合;

步驟四、在所述基板背面對應(yīng)焊墊的位置刻蝕形成通孔或槽,并露出焊墊;

步驟五、在所述通孔或槽內(nèi)以及基板背面鋪設(shè)絕緣層,并將所述通孔或槽底部的絕緣層去除露出焊墊;

步驟六、在通孔或槽內(nèi)以及基板背面通過涂布或濺射的方式鋪設(shè)金屬層,所述金屬層與焊墊電性連接;

步驟七、采用印刷、點膠或涂布的方式在步驟六的金屬層上設(shè)置導(dǎo)電互連材料,并且將通孔或槽完全或部分填充,所述導(dǎo)電互連材料通過金屬層與芯片焊墊電性連接,該導(dǎo)電互連材料的厚度小于用于電性互連的導(dǎo)電凸塊的厚度;

步驟八、提供一電路板,將基板背面包含所述導(dǎo)電互連材料與電路板貼合,進(jìn)行回流焊工藝,使所述芯片和基板的組裝體與所述電路板通過導(dǎo)電互連材料進(jìn)行互連;

步驟九、在所述電路板上對所述步驟八的組裝體的正面及周側(cè)進(jìn)行塑封層整體塑封。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的覆蓋金屬層填充孔或槽的封裝結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,所述電路板上所述芯片和基板的組裝體以外的區(qū)域結(jié)合有其他芯片,所述未塑封的芯片和基板的組裝體及其他芯片進(jìn)行塑封層整體一次塑封。

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