1.一種自動晶圓搬送機，其特征在于：所述自動晶圓搬送機包括卡匣模組(1)、用于提取與存放晶圓的第一機械手臂模組(2)和用于傳送第一機械手臂模組上的晶圓至工作臺的第二機械手臂模組(3)，其中：
所述卡匣模組包括用于安裝卡匣的工作平臺(4)、用于Z軸方向上升降動作的卡匣升降臺傳動裝置(5)和卡匣模組固定架(6)，所述卡匣固定架上設有分布在工作平臺兩側(cè)用于掃描卡匣內(nèi)晶圓的光纖傳感器(7)；
所述第一機械手臂模組包括設有直線滑軌(27)的第一機械手臂固定座(8)、第一機械手臂固定座一側(cè)的直線傳動裝置(9)和在直線滑軌上做往復動作的第一機械手臂(10)，所述第一機械手臂末端設有用于承載晶圓的“C”型托盤(11)；
所述第二機械手臂模組包括設有兩根傳動軸滑軌(28)的傳動軸固定座(12)、兩根與傳動軸滑軌配合的第二機械手臂(13)、用于第二機械手臂模組Z軸方向上升降動作的升降軸傳動裝置(14)、用于第二機械手臂模組橫向動作的橫向傳動裝置(15)，所述第二機械手臂末端設有與“C”型托盤匹配的插盤(16)。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種自動晶圓搬送機，其特征在于：所述卡匣升降臺傳動裝置(5)和升降軸傳動裝置(14)均包括伺服電機(17)、絲桿(18)、用于聯(lián)動伺服電機(17)與絲桿(18)的第一同步皮帶(19)和用于升降的Z軸傳動滑軌(20)，伺服電機的主軸末端和絲桿末端均設有與第一同步皮帶匹配的第一皮帶齒輪(21)，所述伺服電機(17)和絲桿(18)均設有對應的安裝座，所述卡匣的工作平臺(4)和傳動軸固定座(12)均增設有與Z軸傳動滑軌匹配的滑塊(22)。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種自動晶圓搬送機，其特征在于：所述第一機械手臂模組的直線傳動裝置(9)和第二機械手臂模組橫向裝置(15)均包括步進電機(23)、第二同步皮帶(24)、兩個用于撐開第二同步皮帶的第二皮帶齒輪(25)，所述第二皮帶齒輪(25)中有一個固定于步進電機的主軸末端，所述第二皮帶齒輪(25)的另一個分別固定在第一機械手臂固定座(8)和傳動軸固定座(12)上，所述第二皮帶齒輪(25)將第二同步皮帶(24)撐開呈長方形循環(huán)傳動，撐開的第二同步皮帶夾(24)分別通過夾板(26)夾設第一機械手臂和第二機械手臂，通過步進電機(23)帶動第二同步皮帶(24)傳動，帶動第一機械手臂(10)和第二機械手臂(13)分別在直線導軌(27)和傳動軸滑軌(28)上進行往復動作。
4.根據(jù)權利要求1或2所述的一種自動晶圓搬送機，其特征在于：所述直線滑軌(27)、傳動軸滑軌(28)和Z軸傳動滑軌(20)均在兩端設有限位塊，所述第一機械手臂(10)和第二機械手臂(13)均設有行程限位器。
5.一種如權利要求1～4所述的自動晶圓搬送機的搬送方法，其特征在于：所述自動晶圓搬送機的搬送方法如下：
a、對機器進行組裝，試運行；
b、將卡匣安裝在卡匣的工作平臺上；
c、卡匣升降臺傳動裝置的伺服電機聯(lián)動絲桿對卡匣工作平臺進行下降，通過光纖傳感器對卡匣內(nèi)進行掃描，將卡匣內(nèi)存放有晶圓的層數(shù)和存放晶圓的總數(shù)發(fā)送至數(shù)據(jù)終端；
d、對卡匣內(nèi)晶圓進行提取：第一機械手臂上的托盤在直線滑軌上滑動至卡匣內(nèi)，針對第一片晶圓進行提取，并運輸?shù)降诙C械手臂插盤的上方；
e、晶圓對接：第二機械手臂模組通過升降軸傳動裝置上升，通過插盤將晶圓從托盤中提取；
f、晶圓輸送：第二機械手臂開始在傳動軸導軌上進行滑動，第二機械手臂的插盤將第一片晶圓送到晶圓工作臺；
g、第一機械手臂模組重復d步驟，托盤上提取第二片晶圓；
h、第二機械手臂模組重復e、f步驟，此時，裝夾有第一片晶圓的插盤位于托盤上方，裝夾有第二晶圓的插盤位于晶圓工作臺；
i、第一機械手臂模組沿直線滑軌將第一片晶圓存放回原位后，繼續(xù)重復d步驟。
6.根據(jù)權利要求5所述的一種自動晶圓搬送機的搬送方法，其特征在于：搬送步驟為逐步動作；行程到位，觸發(fā)安全信號才會進行下一步動作。
7.根據(jù)權利要求5所述的一種自動晶圓搬送機的搬送方法，其特征在于：步驟d中對晶圓層數(shù)的提取選擇分為人工、偶數(shù)、奇數(shù)、全選。
8.根據(jù)權利要求5所述的一種自動晶圓搬送機的搬送方法，其特征在于：步驟f中所述第二機械手臂的兩根插盤在傳動軸滑軌上垂直方向重合，間距為3mm。