技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種微環(huán)境與晶圓盒之間接口的密封裝置，包括：框形密封圈固定板，密封疊設(shè)于接口面向晶圓盒的一側(cè)；框形密封圈支撐板，可調(diào)節(jié)疊設(shè)于密封圈固定板外側(cè)；框形密封圈，固定在密封圈支撐板上，并至少將其內(nèi)外兩側(cè)壁的部分環(huán)繞覆蓋；其中，當(dāng)晶圓盒向接口移動(dòng)并壓緊密封圈支撐板時(shí)，通過使密封圈支撐板產(chǎn)生彈性形變，使密封圈支撐板兩側(cè)的密封圈對(duì)應(yīng)壓縮產(chǎn)生形變，形成晶圓盒與密封圈支撐板之間以及密封圈支撐板與密封圈固定板之間的密封，從而對(duì)接口進(jìn)行有效密封。本發(fā)明還對(duì)應(yīng)公開了一種密封方法。

技術(shù)研發(fā)人員：徐冬;劉東
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
文檔號(hào)碼：201710140799
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.10
技術(shù)公布日：2017.06.09