本發(fā)明涉及一種等離子體(plasma)處理裝置。
背景技術(shù)：
：：在半導(dǎo)體裝置或液晶顯示器(display)或者光盤(opticaldisk)等各種產(chǎn)品的制造工序中，有時(shí)要在例如晶片(wafer)或玻璃(glass)基板等工件(work)上形成光學(xué)膜等薄膜。薄膜能夠通過對(duì)工件形成金屬等的膜的成膜、或?qū)λ纬傻哪みM(jìn)行蝕刻(etching)、氧化或氮化等膜處理而制作。成膜或膜處理能夠利用各種方法來進(jìn)行，作為其一，有使用等離子體的方法。在成膜時(shí)，向配置有靶材(target)的腔室(chamber)內(nèi)導(dǎo)入惰性氣體，并施加直流電流。使等離子體化的惰性氣體的離子(ion)碰撞至靶材，使從靶材撞出的材料堆積于工件以進(jìn)行成膜。在膜處理中，向配置有電極的腔室內(nèi)導(dǎo)入工藝氣體(processgas)，對(duì)電極施加高頻電壓。使等離子體化的工藝氣體的離子碰撞至工件上的膜，由此進(jìn)行膜處理。有一種等離子體處理裝置，其在一個(gè)腔室的內(nèi)部安裝有旋轉(zhuǎn)平臺(tái)(table)，沿旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上方的周方向配置有多個(gè)成膜用的單元(unit)與膜處理用的單元，以便能夠連續(xù)地進(jìn)行此種成膜與膜處理(例如參照專利文獻(xiàn)1)。通過將工件保持于旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上來搬送，并使其通過成膜單元與膜處理單元的正下方，從而形成光學(xué)膜等。在使用旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的等離子體處理裝置中，作為膜處理單元，有時(shí)使用上端封閉且下端具有開口部的筒形的電極(以下稱作“筒形電極”)。在使用筒形電極的情況下，在腔室的上部設(shè)有開口部，將筒形電極的上端經(jīng)由絕緣物安裝于所述開口部。筒形電極的側(cè)壁在腔室的內(nèi)部延伸存在，且下端的開口部隔著微小的間隙面向旋轉(zhuǎn)平臺(tái)。腔室接地，筒形電極作為陽(yáng)極(anode)發(fā)揮功能，腔室與旋轉(zhuǎn)平臺(tái)作為陰極(cathode)發(fā)揮功能。向筒形電極的內(nèi)部導(dǎo)入工藝氣體并施加高頻電壓，從而使等離子體產(chǎn)生。所產(chǎn)生的等離子體中所含的電子流入作為陰極的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)側(cè)。使由旋轉(zhuǎn)平臺(tái)所保持的工件通過筒形電極的開口部之下，由此等離子體中所含的離子碰撞至工件以進(jìn)行膜處理?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1：日本專利特開2002-256428號(hào)公報(bào)技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：[發(fā)明所要解決的課題]在腔室中，以覆蓋在內(nèi)部延伸的筒形電極的側(cè)壁的方式安裝有筒形的護(hù)罩。護(hù)罩安裝于腔室的開口部的緣部，與筒形電極的側(cè)壁平行地延伸。連接于所述腔室的護(hù)罩也作為陰極發(fā)揮功能。護(hù)罩與筒形電極隔著微小的間隙相向配置，以便不與筒形電極接觸。近年來，需要處理的工件有大型化的傾向，而且要求提高處理效率，因此，筒形電極有大型化的傾向。為了減少因筒形電極的大型化而增加的重量，有使筒形電極變薄的傾向。在膜處理中，因等離子體的產(chǎn)生而筒形電極的溫度大幅上升，因此，變薄的筒形電極因熱而發(fā)生變形并產(chǎn)生與護(hù)罩接觸的可能性。因筒形電極與護(hù)罩接觸、即施加有電壓的電極與接地的電極接觸而發(fā)生異常放電，等離子體變得不穩(wěn)定。結(jié)果有可能無(wú)法進(jìn)行穩(wěn)定的膜處理。本發(fā)明的目的在于，為了解決如上所述的課題，提供一種防止筒形電極與護(hù)罩的接觸而可穩(wěn)定地進(jìn)行膜處理的可靠性高的等離子體處理裝置。[解決課題的技術(shù)手段]為了達(dá)成所述目的，本發(fā)明的等離子體處理裝置包括：筒形電極，具有設(shè)有開口部的一端與被封閉的另一端，內(nèi)部導(dǎo)入工藝氣體，通過施加電壓而使所述工藝氣體等離子體化；真空容器，具有開口，所述筒形電極在所述真空容器的內(nèi)部延伸存在且所述另一端經(jīng)由絕緣構(gòu)件而安裝于所述開口；搬送部，將利用所述工藝氣體受到處理的工件搬送至所述筒形電極的開口部之下；護(hù)罩，連接于所述真空容器，且隔著間隙覆蓋在所述真空容器的內(nèi)部延伸存在的所述筒形電極；以及間隔件，包含絕緣材料，且設(shè)置于所述筒形電極與所述護(hù)罩的間隙中。所述間隔件可為塊形形狀。所述間隔件與所述筒形電極相向的面及與所述護(hù)罩相向的面的面積可為1cm2～3cm2。所述間隔件可在與所述筒形電極相向的面的位于所述真空容器的所述開口側(cè)的角部具有向所述護(hù)罩側(cè)傾斜的傾斜部。所述間隔件可利用包含絕緣材料的螺栓固定于所述護(hù)罩。所述間隔件可設(shè)置于所述筒形電極的一端的附近。所述間隔件可設(shè)置于所述筒形電極的一端的附近、另一端的附近、及一端與另一端的中間附近。所述筒形電極及所述護(hù)罩為方筒狀，所述間隔件可分別設(shè)置于所述筒形電極及所述護(hù)罩的相向的間隙中。[發(fā)明的效果]通過在筒形電極的側(cè)壁與護(hù)罩的間隙中配置間隔件，能夠提供一種防止筒形電極與護(hù)罩的接觸而可穩(wěn)定地進(jìn)行膜處理的可靠性高的等離子體處理裝置。附圖說明圖1是示意性地表示本發(fā)明的實(shí)施方式的等離子體處理裝置的構(gòu)成的平面圖。圖2是圖1的a-a剖面圖。圖3是圖1的b-b剖面圖，是從旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的中心觀察膜處理單元的圖。圖4是間隔件的放大側(cè)視圖。圖5是間隔件的放大正視圖。圖6是表示將間隔件安裝于護(hù)罩的狀態(tài)的圖。圖7是表示間隔件的設(shè)置形態(tài)的另一例的圖。圖8是表示作為比較例的、絕緣構(gòu)件覆蓋筒形電極與護(hù)罩的間隙整體的形態(tài)的圖。[符號(hào)的說明]1：腔室(真空容器)1a：開口2：排氣部3：旋轉(zhuǎn)平臺(tái)(搬送部)3a：保持部3b：旋轉(zhuǎn)軸4a、4b、4c、4d、4f、4g：處理單元(成膜單元)4e：處理單元(膜處理單元)5：加載互鎖部6：靶材7：dc電源8：濺射氣體導(dǎo)入部9：隔離壁10：筒形電極10a：凸緣11：開口部12：殼體13：護(hù)罩15：rf電源16：工藝氣體導(dǎo)入部20：控制部21：匹配器22：絕緣構(gòu)件30：間隔件30a、30b、30c、30d：側(cè)面31：螺栓孔32：螺栓33：傾斜部p：搬送路w：工件d：間隙具體實(shí)施方式[構(gòu)成]參照附圖來具體說明本發(fā)明的實(shí)施方式。如圖1及圖2所示，等離子體處理裝置具有大致圓筒形的腔室1。在腔室1中設(shè)有排氣部2，能夠?qū)⑶皇?的內(nèi)部排氣成真空。即，腔室1作為真空容器發(fā)揮功能。在腔室1的上表面設(shè)有開口1a，但在所述開口1a中嵌入有后述的筒形電極10，從而腔室1的內(nèi)部被保持為氣密。旋轉(zhuǎn)軸3b貫穿腔室1的底部而豎立設(shè)置于腔室1的內(nèi)部。在旋轉(zhuǎn)軸3b上，安裝有大致圓形的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)3。在旋轉(zhuǎn)軸3b上連結(jié)有未圖示的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。通過驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)，旋轉(zhuǎn)平臺(tái)3以旋轉(zhuǎn)軸3b為中心而旋轉(zhuǎn)。腔室1、旋轉(zhuǎn)平臺(tái)3及旋轉(zhuǎn)軸3b在等離子體處理裝置中是作為陰極發(fā)揮作用，因此可包含電阻小的導(dǎo)電性金屬構(gòu)件。旋轉(zhuǎn)平臺(tái)3例如可采用在不銹鋼的板狀構(gòu)件的表面噴鍍有氧化鋁。在旋轉(zhuǎn)平臺(tái)3的上表面，設(shè)有多個(gè)保持工件w的保持部3a。多個(gè)保持部3a是沿著旋轉(zhuǎn)平臺(tái)3的周方向而等間隔地設(shè)置。通過旋轉(zhuǎn)平臺(tái)3旋轉(zhuǎn)，由保持部3a所保持的工件w沿旋轉(zhuǎn)平臺(tái)3的周方向移動(dòng)。換言之，在旋轉(zhuǎn)平臺(tái)3的面上，形成有工件w的圓形的移動(dòng)軌跡即搬送路徑(以下稱作“搬送路p”)。保持部3a例如可采用載置工件w的托盤(tray)。以下，在簡(jiǎn)稱作“周方向”時(shí)，是指“旋轉(zhuǎn)平臺(tái)3的周方向”，在簡(jiǎn)稱作“半徑方向”時(shí)，是指“旋轉(zhuǎn)平臺(tái)3的半徑方向”。而且，本實(shí)施方式中，作為工件w的示例，使用了平板狀的基板，但進(jìn)行等離子體處理的工件w的種類、形狀及材料并不限定于特定。例如，也可使用中心具有凹部或者凸部的彎曲的基板。而且，也可使用包含金屬、碳(carbon)等導(dǎo)電性材料的基板，包含玻璃或橡膠等絕緣物的基板，包含硅等半導(dǎo)體的基板。在旋轉(zhuǎn)平臺(tái)3的上方，設(shè)有進(jìn)行等離子體處理裝置中的各工序的處理的單元(以下稱作“處理單元”)。各處理單元是以下述方式而配置：沿著形成于旋轉(zhuǎn)平臺(tái)3的面上的工件w的搬送路p，彼此隔開規(guī)定的間隔而鄰接。使由保持部3a所保持的工件w通過各處理單元之下，由此來進(jìn)行各工序的處理。圖1的示例中，沿著旋轉(zhuǎn)平臺(tái)3上的搬送路p而配置有七個(gè)處理單元4a～處理單元4g。本實(shí)施方式中，處理單元4a、處理單元4b、處理單元4c、處理單元4d、處理單元4f、處理單元4g是對(duì)工件w進(jìn)行成膜處理的成膜單元。處理單元4e是對(duì)通過成膜單元而形成于工件w的膜進(jìn)行處理的膜處理單元。本實(shí)施方式中，設(shè)成膜單元為進(jìn)行濺射(sputtering)的單元來進(jìn)行說明。而且，設(shè)膜處理單元4e為進(jìn)行后氧化的單元來進(jìn)行說明。所謂后氧化，是指如下所述的處理：對(duì)于通過成膜單元而成膜的金屬膜，導(dǎo)入由等離子體所生成的氧離子等，從而對(duì)金屬膜進(jìn)行氧化。在處理單元4a與處理單元4g之間，設(shè)有加載互鎖(loadlock)部5，所述加載互鎖部5從外部將未處理的工件w搬入至腔室1的內(nèi)部，并將處理完畢的工件w搬出至腔室1的外部。另外，本實(shí)施方式中，將工件w的搬送方向設(shè)為沿圖1的順時(shí)針方向從處理單元4a的位置朝向處理單元4g的方向。當(dāng)然，這只是一例，搬送方向、處理單元的種類、排列順序及數(shù)量并不限定于特定，能夠適當(dāng)決定。圖2表示作為成膜單元的處理單元4a的構(gòu)成例。其他的成膜單元4b、成膜單元4c、成膜單元4d、成膜單元4f、成膜單元4g也可與成膜單元4a同樣地構(gòu)成，但也可應(yīng)用其他構(gòu)成。如圖2所示，成膜單元4a具備安裝于腔室1的內(nèi)部上表面的靶材6，以作為濺射源。靶材6是包含堆積在工件w上的材料的板狀構(gòu)件。靶材6被設(shè)置于當(dāng)工件w通過成膜單元4a之下時(shí)與工件w相向的位置。在靶材6上，連接有對(duì)靶材6施加直流電壓的直流(directcurrent，dc)電源7。而且，在腔室1的內(nèi)部上表面的、安裝有靶材6的部位附近，設(shè)置有將濺射氣體導(dǎo)入至腔室1內(nèi)部的濺射氣體導(dǎo)入部8。濺射氣體例如可使用氬等惰性氣體。在靶材6的周圍，設(shè)置有用于減少等離子體的流出的隔離壁9。另外，關(guān)于電源，可應(yīng)用dc脈沖電源、射頻(radiofrequency，rf)電源等眾所周知的電源。圖2及圖3表示膜處理單元4e的構(gòu)成例。膜處理單元4e具備設(shè)置于腔室1的內(nèi)部上表面的筒形電極10。筒形電極10為方筒狀，一端具有開口部11，另一端被封閉。筒形電極10中，使具有開口部的一端(以下稱作“下端”)為下側(cè)，使被封閉的另一端(以下稱作“上端”)為上側(cè)，且上端經(jīng)由絕緣構(gòu)件22而安裝于腔室1的上表面中所設(shè)的開口1a。筒形電極10的側(cè)壁在腔室1的內(nèi)部延伸存在，下端的開口部11面向旋轉(zhuǎn)平臺(tái)3。更具體而言，在上端設(shè)有向外伸出的凸緣10a。絕緣構(gòu)件22固定于凸緣10a的下表面與腔室1的開口1a的周緣，由此將腔室1的內(nèi)部保持為氣密。絕緣構(gòu)件22并不限定于特定的材料，例如可包含聚四氟乙烯(polytetrafluoroethylene，ptfe)等材料。筒形電極10的開口部11被配置在與形成于旋轉(zhuǎn)平臺(tái)3上的搬送路p對(duì)置的位置。即，旋轉(zhuǎn)平臺(tái)3作為搬送部搬送工件w而使其通過開口部11的正下方。并且，開口部11正下方的位置成為工件w的通過位置。如圖1所示，當(dāng)從上方觀察時(shí)，筒形電極10呈從旋轉(zhuǎn)平臺(tái)3的半徑方向上的中心側(cè)朝向外側(cè)擴(kuò)徑的扇形。此處所說的扇形是指扇子扇面的部分的形狀。筒形電極10的開口部11也同樣為扇形。被保持在旋轉(zhuǎn)平臺(tái)3上的工件w通過開口部11之下的速度在旋轉(zhuǎn)平臺(tái)3的半徑方向上越朝向中心側(cè)則越慢，越朝向外側(cè)則越快。因此，若開口部11為簡(jiǎn)單的長(zhǎng)方形或正方形，則在半徑方向上的中心側(cè)與外側(cè)，工件w通過開口部11正下方的時(shí)間會(huì)產(chǎn)生差異。通過使開口部11從半徑方向上的中心側(cè)朝向外側(cè)擴(kuò)徑，從而能夠?qū)⒐ぜ通過開口部11的時(shí)間設(shè)為固定，能夠使后述的等離子體處理變得均等。但是，若通過時(shí)間的差異為不會(huì)造成產(chǎn)品方面的問題的程度，則也可為長(zhǎng)方形或正方形。筒形電極10的大小或壁面的厚度并不限定于特定，但有大型化及薄型化的傾向，例如有時(shí)使用周方向的寬度為300mm～400mm、半徑方向的寬度為800mm、壁面的厚度為1mm左右的筒形電極。如上所述，筒形電極10貫穿腔室1的開口1a，且一部分露出至腔室1的外部。所述筒形電極10中的露出至腔室1外部的部分如圖2所示，被殼體12所覆蓋。通過殼體12來將腔室1的內(nèi)部空間保持為氣密。筒形電極10的位于腔室1內(nèi)部的部分、即側(cè)壁的周圍由護(hù)罩13所覆蓋。護(hù)罩13是與筒形電極10為同軸的扇形的方筒，且比筒形電極10大。護(hù)罩13連接于腔室1。具體而言，護(hù)罩13從腔室1的開口1a的緣部豎立設(shè)置，并向腔室1的內(nèi)部延伸，下端位于與筒形電極10的開口部11相同的高度。護(hù)罩13與腔室1同樣地作為陰極發(fā)揮作用，因此可包含電阻小的導(dǎo)電性金屬構(gòu)件。護(hù)罩13可與腔室1一體成型，或者也可使用固定金屬件等安裝于腔室1。護(hù)罩13是為了使筒形電極10內(nèi)穩(wěn)定地產(chǎn)生等離子體而設(shè)。護(hù)罩13的各側(cè)壁以與筒形電極10的各側(cè)壁隔著規(guī)定的間隙d大致平行地延伸的方式設(shè)置。若間隙d變得過大，則靜電電容變小，或筒形電極10內(nèi)所產(chǎn)生的等離子體進(jìn)入間隙d中，因此理想的是間隙d盡可能小。但是，若間隙d變得過小，則筒形電極10與護(hù)罩13之間的靜電電容變大，因此也不優(yōu)選。間隙d的大小可根據(jù)對(duì)等離子體的產(chǎn)生而言必需的靜電電容來適當(dāng)設(shè)定，例如可設(shè)為7mm。另外，圖3僅圖示了護(hù)罩13及筒形電極10的在半徑方向上延伸的兩個(gè)側(cè)壁面，但在護(hù)罩13及筒形電極10的在周方向上延伸的兩個(gè)側(cè)壁面之間也可設(shè)有與半徑方向的側(cè)壁面相同大小的間隙d。而且，在筒形電極10上連接有工藝氣體導(dǎo)入部16，從外部的工藝氣體供給源經(jīng)由工藝氣體導(dǎo)入部16而向筒形電極10的內(nèi)部導(dǎo)入工藝氣體。工藝氣體可根據(jù)膜處理的目的來適當(dāng)變更。例如，在進(jìn)行蝕刻時(shí)，可使用氬等惰性氣體來作為蝕刻氣體。當(dāng)進(jìn)行氧化處理或后氧化處理時(shí)，可使用氧。當(dāng)進(jìn)行氮化處理時(shí)，可使用氮。在筒形電極10上，連接有用于施加高頻電壓的rf電源15。在rf電源15的輸出側(cè)，串聯(lián)連接有作為匹配電路的匹配器(matchingbox)21。rf電源15也連接于腔室1。若從rf電源15施加電壓，則筒形電極10作為陽(yáng)極發(fā)揮作用，腔室1、護(hù)罩13及旋轉(zhuǎn)平臺(tái)3作為陰極發(fā)揮作用。匹配器21通過使輸入側(cè)及輸出側(cè)的阻抗匹配，從而使等離子體的放電穩(wěn)定化。另外，腔室1或旋轉(zhuǎn)平臺(tái)3接地。連接于腔室1的護(hù)罩13也接地。rf電源15及工藝氣體導(dǎo)入部16均經(jīng)由殼體12上所設(shè)的貫穿孔而連接于筒形電極10。若從工藝氣體導(dǎo)入部16向筒形電極10內(nèi)導(dǎo)入作為工藝氣體的氧氣，并從rf電源15對(duì)筒形電極10施加高頻電壓，則氧氣等離子體化，從而產(chǎn)生電子、離子及自由基等。當(dāng)氧氣等離子體化時(shí)，筒形電極10的內(nèi)部成為高溫。如上所述，筒形電極10有大型化及薄型化的傾向，因此有可能因熱而撓曲或發(fā)生變形。如上所述，筒形電極10與護(hù)罩13之間的間隙d小，因此若筒形電極10發(fā)生變形，則有可能與護(hù)罩13接觸。本發(fā)明的實(shí)施方式中，在筒形電極10與護(hù)罩13之間的間隙d中設(shè)置有間隔件30。即使筒形電極10發(fā)生變形，間隔件30會(huì)抑制筒形電極10的移動(dòng)，因此也可防止筒形電極10與護(hù)罩13的接觸。圖4～圖6表示間隔件的放大圖。間隔件30為長(zhǎng)方體的塊形形狀。為了維持陽(yáng)極-陰極間的絕緣，間隔件30可包含絕緣材料。間隔件30可與絕緣構(gòu)件22同樣地包含ptfe。間隔件30具有與腔室1的上表面及底面相向的且彼此平行的上表面及下表面，還具有連接上表面與下表面的四個(gè)側(cè)面30a、側(cè)面30b、側(cè)面30c、側(cè)面30d。以貫穿與筒形電極10相向的側(cè)面30a以及與護(hù)罩13相向的側(cè)面30b的方式設(shè)有螺栓孔31。螺栓孔31在筒形電極10側(cè)為供螺栓32的頭部進(jìn)入的大小，但在護(hù)罩13側(cè)縮徑而成為僅供螺栓32的軸部通過的大小。在圖示的示例中，螺栓孔31平行地設(shè)有兩個(gè)，但螺栓孔31的數(shù)量或螺栓孔31的位置并不限定于圖示的示例，可適當(dāng)進(jìn)行設(shè)計(jì)。如圖6所示，間隔件30利用通過了螺栓孔31的螺栓32而固定于護(hù)罩13。另外，螺栓32可使用包含聚醚醚酮(polyetheretherketone，peek)或ptfe等絕緣材料。間隔件30的大小可適當(dāng)決定，理想的是使包含絕緣材料的間隔件30為小型的，以便不會(huì)對(duì)陽(yáng)極-陰極間的靜電電容產(chǎn)生大的影響。例如，作為與筒形電極10相向的面的側(cè)面30a以及作為與護(hù)罩13相向的面的側(cè)面30b的面積可為1cm2～3cm2左右。作為與側(cè)面30a及側(cè)面30b正交且連接側(cè)面30a及側(cè)面30b的面的側(cè)面30c、側(cè)面30d的寬度可和筒形電極10與護(hù)罩13之間的間隙d相同或比所述間隙d稍小，以便嵌入至護(hù)罩13與筒形電極10之間的間隙d中。例如，若間隙d為7mm，則可將側(cè)面30c、側(cè)面30d的寬度設(shè)為6mm。與筒形電極10相向的側(cè)面30a的位于腔室1的開口1a側(cè)的角部被斜切而設(shè)有向護(hù)罩13側(cè)傾斜的傾斜部33。傾斜角度可適當(dāng)設(shè)定，例如可相對(duì)于側(cè)面30a而為30°。當(dāng)安裝間隔件30時(shí)，在已將筒形電極10從腔室1的開口1a拆除的狀態(tài)下利用螺栓32將間隔件30安裝于護(hù)罩13。其后，從開口1a將筒形電極10嵌入。如上所述，間隔件30的尺寸形成為嵌入至間隙d，因此，通過具有傾斜部33，可將筒形電極10順暢地插入。在圖3的示例中，兩個(gè)間隔件30分別設(shè)置于方筒狀的護(hù)罩13及筒形電極10的沿半徑方向的兩個(gè)側(cè)壁面之間的間隙d、即相向的間隙d中。通過將兩個(gè)間隔件30分別設(shè)置于相向的間隙d中，可穩(wěn)定地維持間隙d。而且，兩個(gè)間隔件30分別設(shè)置于筒形電極10的下端附近。認(rèn)為筒形電極10的成為開放端的下端附近較安裝于腔室1的上端附近更容易發(fā)生變形。通過將間隔件30設(shè)置于下端附近，可防止筒形電極10的容易發(fā)生變形的下端附近與護(hù)罩13接觸。然而，圖3的示例終究只是一例，間隔件30的設(shè)置數(shù)量及設(shè)置位置并不限定于此。只要即使在筒形電極10發(fā)生了變形的情況下仍可維持護(hù)罩13與筒形電極10的間隙d而防止接觸，且間隔件30所引起的靜電電容的增加為不會(huì)對(duì)匹配器21的控制產(chǎn)生影響的范圍，則設(shè)置位置及設(shè)置數(shù)量可適當(dāng)設(shè)定。例如，如圖7所示，也可不僅在下端的附近，也在上端的附近、上端與下端的中間附近設(shè)置間隔件30，以便可在整體上穩(wěn)定地維持間隙d。當(dāng)然，也可不配置于三個(gè)位置的全部，例如可僅設(shè)置于上端附近或中間附近。間隔件30的設(shè)置間隔可為等間隔?；蛘撸O(shè)置也可不為等間隔，例如可在下端附近設(shè)置得較多。另外，圖3、圖7示出了設(shè)置于方筒狀的護(hù)罩13及筒形電極10的沿半徑方向的兩個(gè)側(cè)壁面之間的間隙d中的示例，但也可設(shè)置于沿周方向的兩個(gè)側(cè)壁面之間的間隙d中。當(dāng)然，還可設(shè)置于半徑方向的間隙d及周方向的間隙d兩者中?；蛘?，也可不設(shè)置于相向的間隙d兩者中，而將間隔件30設(shè)置于半徑方向的間隙d中的一個(gè)與周方向的間隙d中的一個(gè)。等離子體處理裝置還包括控制部20?？刂撇?0包含可編程邏輯控制器(programmablelogiccontroller，plc)或中央處理器(centralprocessingunit，cpu)等運(yùn)算處理裝置?？刂撇?0進(jìn)行與濺射氣體及工藝氣體向腔室1的導(dǎo)入及排氣相關(guān)的控制、dc電源7及rf電源15的控制、及旋轉(zhuǎn)平臺(tái)3的轉(zhuǎn)速控制等控制。[動(dòng)作及作用]對(duì)本實(shí)施方式的等離子體處理裝置的動(dòng)作與間隔件30的作用進(jìn)行說明。從加載互鎖室將未處理的工件w搬入至腔室1。搬入的工件w由旋轉(zhuǎn)平臺(tái)3的保持部3a予以保持。腔室1的內(nèi)部由排氣部2進(jìn)行排氣而成為真空狀態(tài)。通過驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)3，從而使工件w沿著搬送路p來搬送，以使其通過各處理單元4a～處理單元4g之下。在成膜單元4a中，從濺射氣體導(dǎo)入部8導(dǎo)入濺射氣體，從dc電源7對(duì)濺射源施加直流電壓。通過直流電壓的施加，濺射氣體等離子體化，從而產(chǎn)生離子。當(dāng)所產(chǎn)生的離子碰撞到靶材6時(shí)，靶材6的材料飛出。飛出的材料堆積于通過成膜單元4a之下的工件w，由此在工件w形成薄膜。其他的成膜單元4b、成膜單元4c、成膜單元4d、成膜單元4f、成膜單元4g中，也以同樣的方法來進(jìn)行成膜。但是，未必需要利用所有的成膜單元來進(jìn)行成膜。作為一例，此處，對(duì)于工件w，通過dc濺射來形成si膜。利用成膜單元4a～成膜單元4d進(jìn)行了成膜的工件w接著在搬送路p上由旋轉(zhuǎn)平臺(tái)3予以搬送，從而在膜處理單元4e中，通過筒形電極10的開口部11正下方的位置、即膜處理位置。如上所述，本實(shí)施方式中，對(duì)在膜處理單元4e中進(jìn)行后氧化的示例進(jìn)行說明。在膜處理單元4e中，從工藝氣體導(dǎo)入部16向筒形電極10內(nèi)導(dǎo)入作為工藝氣體的氧氣，并從rf電源15對(duì)筒形電極10施加高頻電壓。通過高頻電壓的施加，氧氣等離子體化，從而產(chǎn)生電子、離子及自由基等。等離子體從作為陽(yáng)極的筒形電極10的開口部11流向作為陰極的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)3。通過等離子體中的離子碰撞至通過開口部11之下的工件w的薄膜，從而使薄膜受到后氧化。如上所述，在rf電源15上連接有匹配器21。匹配器21使輸出側(cè)阻抗與輸入側(cè)阻抗匹配，以使流至陰極側(cè)的電流成為最大值，以便進(jìn)行穩(wěn)定的等離子體放電。然而，筒形電極10會(huì)因等離子體處理時(shí)產(chǎn)生的熱而撓曲或發(fā)生變形，若與護(hù)罩13接觸則有可能發(fā)生異常放電。本實(shí)施方式中，在護(hù)罩13與筒形電極10之間的間隙d中設(shè)置有間隔件30，因此即使筒形電極10發(fā)生變形，也可防止護(hù)罩13的接觸。此處，若以防止筒形電極10向護(hù)罩13的接觸為目的，則也考慮如圖8所示，可使介于筒形電極10的上端的凸緣10a與腔室1的開口1a的周緣之間的絕緣構(gòu)件22擴(kuò)張而覆蓋筒形電極10與護(hù)罩13之間的間隙d的整體。然而，因絕緣構(gòu)件22占據(jù)筒形電極10與護(hù)罩13之間的間隙d的整體，陽(yáng)極-陰極間的靜電電容將大幅增加。匹配器21基于預(yù)先設(shè)定的陽(yáng)極-陰極間的靜電電容來進(jìn)行阻抗控制。對(duì)于現(xiàn)有的等離子體處理裝置，當(dāng)將絕緣構(gòu)件22更換為占據(jù)間隙d的整體時(shí)，必須基于增加的靜電電容值來進(jìn)行匹配器21的再設(shè)定，從而繁瑣。因此，本實(shí)施方式中，以不會(huì)對(duì)陽(yáng)極-陰極間的靜電電容產(chǎn)生大的影響的方式將塊形形狀的間隔件30設(shè)置于筒形電極10與護(hù)罩13之間的間隙d中。間隔件30設(shè)置于間隙d的一部分中。由此，與占據(jù)間隙d整體的圖8的絕緣構(gòu)件22相比，增加率被抑制得較低。即使因間隔件30而靜電電容稍有增加，只要為匹配器21的控制的容許范圍，則無(wú)須進(jìn)行匹配器21的再設(shè)定。已知若靜電電容的增加率未滿約±1％，則即使不進(jìn)行匹配器21的再設(shè)定，也可維持穩(wěn)定的等離子體。此處，對(duì)圖8所示的絕緣構(gòu)件22覆蓋筒形電極10與護(hù)罩13之間的間隙d的整體的情況下、與本實(shí)施方式的配置間隔件30的情況下的靜電電容的增加率進(jìn)行比較研究。在圖8的構(gòu)成中，在絕緣構(gòu)件22包含ptfe的情況下，間隙d被置換成相對(duì)介電常數(shù)為2.1的ptfe，因此，與在間隙d中未配置任何物質(zhì)的情況相比靜電電容成為約2倍，靜電電容的增加率為約100％。即，在設(shè)為圖8的構(gòu)成的情況下會(huì)超過匹配器21的控制的容許范圍，因此需要進(jìn)行匹配器21的再設(shè)定。將間隔件30配置于間隙d中的本實(shí)施方式的構(gòu)成中的靜電電容的增加率r[％]可如以下般求出。在包含平行板式的陽(yáng)極-陰極的電容器中，在板間距離為k[m]、各平行板的面積為s[m2]的情況下，靜電電容c[f]可利用以下的式(1)來求出。[數(shù)學(xué)式1]此處，ε0為真空下的介電常數(shù)，為8.85×10-12[f/m]。εr為介電體的相對(duì)介電常數(shù)。在本實(shí)施方式的間隔件30包含ptfe的情況下，εr成為2.1。作為每1個(gè)間隔件30的靜電電容的增加量cp，只要從一個(gè)間隔件30的靜電電容中除去置換有一個(gè)間隔件30的空間的靜電電容即可，因此，可利用以下的式(2)來求出。[數(shù)學(xué)式2]此處，sp為間隔件30的與筒形電極10相向的面積[m2]。式(1)的板間距離k[m]與間隙d的大小相對(duì)應(yīng)。將sp＝6×10-4[m2]＝6[cm2]、d＝7×10-3[m]＝7[mm]代入所述式(2)，則cp的值為8.35×10-13[f]。若將不具有間隔件30時(shí)的筒形電極10的靜電電容設(shè)為c0[f]，則因使用間隔件30而帶來的靜電電容的增加率r[％]可藉由以下的式(3)來求出。[數(shù)學(xué)式3]此處，n為間隔件30的設(shè)置個(gè)數(shù)。當(dāng)將間隔件30的設(shè)置個(gè)數(shù)設(shè)為例如9個(gè)時(shí)，在式(3)中代入c0＝7.6×10-10[f]、n＝9，則增加率r＝0.99[％]左右。即，即使設(shè)置9個(gè)間隔件30，與未配置間隔件30的情況相比，靜電電容的增加率仍被抑制為未滿1％，因此不會(huì)對(duì)匹配器21的控制產(chǎn)生影響，即使不進(jìn)行再設(shè)定，也可維持穩(wěn)定的等離子體。[效果]如上所述，本實(shí)施方式的等離子體處理裝置包括：筒形電極10，具有作為設(shè)有開口部11的一端的下端與作為被封閉的另一端的上端，內(nèi)部導(dǎo)入工藝氣體，通過施加電壓而使所述工藝氣體等離子體化；以及作為具有開口1a的真空容器的腔室1，上端經(jīng)由絕緣構(gòu)件22而安裝于腔室1的開口1a的筒形電極10在腔室1的內(nèi)部延伸存在。而且，等離子體處理裝置包括：作為搬送部的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)3，將利用工藝氣體受到處理的工件w搬送至筒形電極10的開口部11之下；護(hù)罩13，隔著間隙d覆蓋在真空容器的內(nèi)部延伸存在的筒形電極10；以及間隔件30，設(shè)置于筒形電極10與護(hù)罩13的間隙d的一部分中且包含絕緣材料。在膜處理中，因等離子體的產(chǎn)生而溫度大幅上升，因此，筒形電極10因熱而發(fā)生變形并產(chǎn)生與護(hù)罩13接觸的可能性。通過在筒形電極10的側(cè)壁與護(hù)罩13的間隙d中配置間隔件30，可防止筒形電極10與護(hù)罩13的接觸以穩(wěn)定地進(jìn)行膜處理。而且，間隔件30并非設(shè)置于間隙d的整體而是僅設(shè)置于一部分，由此不會(huì)對(duì)陽(yáng)極-陰極間的靜電電容產(chǎn)生大的影響，因此即使在將間隔件30安裝于現(xiàn)有的等離子體處理裝置的情況下，也無(wú)須進(jìn)行匹配器21的再設(shè)定，便利性高。間隔件30可為塊形形狀。由此，即使在筒形電極10的側(cè)壁與護(hù)罩13的狹窄的間隙d中也容易進(jìn)行插入，安裝也變得容易。間隔件30的作為與筒形電極10相向的面的側(cè)面30a及作為與護(hù)罩13相向的面的側(cè)面30b的面積可為1cm2～3cm2。通過使間隔件30為小型，可減少陽(yáng)極-陰極間的靜電電容的變化。由此，即使在將間隔件30安裝于現(xiàn)有的等離子體處理裝置的情況下，也無(wú)須進(jìn)行匹配器21的再設(shè)定，便利性高。間隔件30可在側(cè)面30a的位于腔室1的開口1a側(cè)的角部具有向護(hù)罩13側(cè)傾斜的傾斜部33。筒形電極10與護(hù)罩13的間隙d狹窄，因此，若在設(shè)置間隔件30之后再將筒形電極10從腔室1的開口1a插入，則容易卡掛于間隔件30。此處，間隔件30的角部?jī)A斜，由此可防止卡掛，從而可實(shí)現(xiàn)筒形電極10的順暢插入。由此，可提高組裝效率。間隔件30可利用包含絕緣材料的螺栓32固定于護(hù)罩13。通過固定間隔件30的螺栓32也包含絕緣材料，可維持陽(yáng)極-陰極間的絕緣。間隔件30可配置于筒形電極10的設(shè)有開口部11的下端的附近。通過將間隔件30配置于筒形電極10的容易發(fā)生變形的下端附近，可有效地防止向護(hù)罩13的接觸。間隔件30可設(shè)置于筒形電極10的設(shè)有開口部11的下端的附近、上端的附近、下端與上端的中間附近。通過分散地配置間隔件30，可在整體上穩(wěn)定地維持筒形電極10與護(hù)罩13之間的間隙d。筒形電極10及護(hù)罩13為方筒狀，間隔件30可分別設(shè)置于筒形電極10及護(hù)罩13的相向的間隙d中。通過將兩個(gè)間隔件30分別設(shè)置于相向的間隙d中，可穩(wěn)定地維持間隙d。[其他實(shí)施方式](1)本發(fā)明并不限定于所述實(shí)施方式。例如，所述實(shí)施方式中，在膜處理中進(jìn)行后氧化，但也可進(jìn)行蝕刻處理或氮化處理。當(dāng)進(jìn)行蝕刻處理時(shí)，可向膜處理單元4e內(nèi)導(dǎo)入氬氣，且當(dāng)進(jìn)行氮化處理時(shí)，可向膜處理單元4e內(nèi)導(dǎo)入氮?dú)狻?2)收容旋轉(zhuǎn)平臺(tái)3或各處理單元的腔室1的形狀或者處理單元的種類及配置形態(tài)也并不限定于特定，可根據(jù)工件w的種類或設(shè)置環(huán)境進(jìn)行適當(dāng)變更。(3)以上對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式及各部的變形例進(jìn)行了說明，但所述實(shí)施方式或各部的變形例是作為一例而進(jìn)行提示，并不意圖限定發(fā)明的范圍。所述這些新穎的實(shí)施方式能夠以其他各種方式來實(shí)施，在不脫離發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)可進(jìn)行多種省略、置換、變更。這些實(shí)施方式或其變形包含于發(fā)明的范圍或主旨內(nèi)，并且包含于權(quán)利要求書所記載的發(fā)明中。當(dāng)前第1頁(yè)12當(dāng)前第1頁(yè)12