技術特征：

技術總結
本發(fā)明涉及剖面加工觀察方法、剖面加工觀察裝置。在短時間內高精度地進行包含特定觀察對象物的特定部位的加工，并且，迅速地生成特定觀察對象物的高分辨率的三維立體像。具有：位置信息取得工序，使用光學顯微鏡或電子顯微鏡對觀察對象的樣品整體進行觀察，取得所述樣品所包含的特定觀察對象物的在所述樣品內的大概的三維位置坐標信息；剖面加工工序，基于所述三維位置坐標信息，朝向所述樣品之中所述特定觀察對象物所存在的特定部位照射聚焦離子束，使該特定部位的剖面露出；剖面像取得工序，向所述剖面照射電子束，取得包含所述特定觀察對象物的規(guī)定的大小的區(qū)域的圖像；以及立體像生成工序，以規(guī)定間隔沿著規(guī)定方向多次重復進行所述剖面加工工序和所述剖面像取得工序，根據所取得的多個所述剖面圖像來構筑包含所述特定觀察對象物的三維立體像。

技術研發(fā)人員：滿欣;上本敦
受保護的技術使用者：日本株式會社日立高新技術科學
技術研發(fā)日：2017.03.24
技術公布日：2017.10.03