本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種柔性陣列基板及其制作方法、柔性顯示裝置。

背景技術(shù)：

柔性顯示裝置為由柔軟的材料制成，可變型可彎曲的顯示裝置。與剛性顯示裝置相比，具有諸多優(yōu)點(diǎn)，如：耐沖擊、抗震能力強(qiáng)；重量輕、體積?。粩y帶更加方便。

如圖1所示，為現(xiàn)有技術(shù)中柔性陣列基板的局部俯視示意圖；所述柔性陣列基板通常包括交叉且絕緣設(shè)置的數(shù)據(jù)線01和掃描線02，數(shù)據(jù)線01和掃描線02限定出像素單元；圖1中僅示出了其中一個(gè)像素單元結(jié)構(gòu)，用像素電極03表示。由于數(shù)據(jù)線01和掃描線02具有較大的剛性，在柔性陣列基板彎折過(guò)程中，容易在數(shù)據(jù)線01和/或掃描線02上出現(xiàn)折斷處04，從而造成對(duì)應(yīng)的像素電極03無(wú)法被點(diǎn)亮，進(jìn)而導(dǎo)致柔性顯示裝置無(wú)法正常顯示。

因此，如何減少數(shù)據(jù)線或掃描線在柔性陣列基板彎折過(guò)程中的斷線成為亟待解決的問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，本發(fā)明提供一種柔性陣列基板及其制作方法、柔性顯示裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中柔性顯示裝置在經(jīng)常彎折后造成的顯示不良的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種柔性陣列基板，包括：

交叉且絕緣設(shè)置的多條數(shù)據(jù)線和多條掃描線，所述多條數(shù)據(jù)線和所述多條掃描線限定出多個(gè)像素單元；

與所述數(shù)據(jù)線和/或所述掃描線絕緣且平行設(shè)置的虛擬電極線，所述虛擬電極線位于所述像素單元在所述柔性陣列基板的垂直投影中，所述虛擬電極線與所述數(shù)據(jù)線或所述掃描線位于同一層；

所述虛擬電極線分布于所述數(shù)據(jù)線和/或所述掃描線的至少一側(cè)。

本發(fā)明還提供一種包含上述柔性陣列基板的柔性顯示裝置。

另外，本發(fā)明還提供一種柔性陣列基板制作方法，包括：

提供柔性基板；

在所述柔性基板上形成多條掃描線、多條數(shù)據(jù)線，所述多條數(shù)據(jù)線和所述多條掃描線交叉且絕緣設(shè)置，且限定出多個(gè)像素單元；

在形成所述掃描線和/或所述數(shù)據(jù)線的同時(shí)，在所述數(shù)據(jù)線和/或所述掃描線的至少一側(cè)形成虛擬電極線。

經(jīng)由上述的技術(shù)方案可知，本發(fā)明提供的柔性陣列基板，在每個(gè)像素單元對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)線和/或掃描線的至少一側(cè)增加設(shè)置虛擬電極線，虛擬電極線與數(shù)據(jù)線和/或掃描線絕緣且平行設(shè)置；由于虛擬電極線能夠分擔(dān)與其平行的數(shù)據(jù)線或掃描線的應(yīng)力，從而在柔性顯示裝置發(fā)生彎折時(shí)，能夠增強(qiáng)數(shù)據(jù)線和/或掃描線耐折彎性，降低柔性顯示裝置彎折過(guò)程中，數(shù)據(jù)線和/或掃描線的折斷風(fēng)險(xiǎn)，進(jìn)而提高了柔性顯示裝置的顯示質(zhì)量。

進(jìn)一步地，由于虛擬電極線位于每個(gè)像素單元中，也即虛擬電極線為多條長(zhǎng)度較短且相互分離的線，相對(duì)于剛性較大的掃描線或數(shù)據(jù)線，多條虛擬電極線之間的間隙可以用于彎折，從而在增強(qiáng)數(shù)據(jù)線和/或掃描線的耐折彎性的基礎(chǔ)上，還有助于柔性陣列基板的彎曲。

同時(shí)，本發(fā)明還提供一種上述柔性陣列基板的制作方法，從而實(shí)現(xiàn)虛擬電極線的制作；另外還提供一種包括上述柔性陣列基板的柔性顯示裝置，同樣能夠提高柔性顯示裝置的顯示質(zhì)量。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中柔性陣列基板的局部俯視示意圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種柔性陣列基板的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為圖2所示柔性陣列基板的a部局部放大圖；

圖4為圖2所示柔性陣列基板的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為圖2所示柔性陣列基板的制作方法流程圖；

圖6為本發(fā)明另一實(shí)施例提供的柔性陣列基板的局部俯視示意圖；

圖7為圖6所示柔性陣列基板的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖8為本發(fā)明又一實(shí)施例提供的柔性陣列基板的局部俯視示意圖；

圖9為圖8所示柔性陣列基板的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖10為圖8所示柔性陣列基板的制作方法流程圖；

圖11為本發(fā)明再一實(shí)施例提供的柔性陣列基板的局部俯視示意圖；

圖12為圖11所示柔性陣列基板的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖13為電子紙的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

本發(fā)明實(shí)施例提供一種柔性陣列基板，包括：交叉且絕緣設(shè)置的多條數(shù)據(jù)線和多條掃描線，多條數(shù)據(jù)線和多條掃描線限定出多個(gè)像素單元；與數(shù)據(jù)線和/或掃描線絕緣且平行設(shè)置的虛擬電極線，虛擬電極線位于像素單元在柔性陣列基板的垂直投影中，虛擬電極線與數(shù)據(jù)線或掃描線位于同一層；虛擬電極線分布于數(shù)據(jù)線和/或掃描線的至少一側(cè)。

需要說(shuō)明的是，本發(fā)明實(shí)施例中虛擬電極線可以僅設(shè)置在每個(gè)像素單元中的數(shù)據(jù)線的至少一側(cè)，與數(shù)據(jù)線平行且絕緣設(shè)置；還可以僅設(shè)置在每個(gè)像素單元中的掃描線的至少一側(cè)，與掃描線平行且絕緣設(shè)置；還可以同時(shí)設(shè)置在每個(gè)像素單元中的數(shù)據(jù)線和掃描線的至少一側(cè)，設(shè)置在數(shù)據(jù)線至少一側(cè)的虛擬電極線與數(shù)據(jù)線平行且絕緣設(shè)置，設(shè)置在掃描線至少一側(cè)的虛擬電極線與掃描線平行且絕緣設(shè)置，本實(shí)施例中虛擬電極線的設(shè)置不做限定，可選的，為了同時(shí)對(duì)數(shù)據(jù)線和掃描線進(jìn)行保護(hù)，本實(shí)施例中虛擬電極線同時(shí)設(shè)置在每個(gè)像素單元中的數(shù)據(jù)線和掃描線的至少一側(cè)。本發(fā)明利用的原理是：只要設(shè)置虛擬電極線位于數(shù)據(jù)線和/或掃描線的至少一側(cè)用于分擔(dān)應(yīng)力，即可降低數(shù)據(jù)線和/或掃描線被折斷風(fēng)險(xiǎn)，因此，無(wú)論柔性顯示裝置是正面彎折還是反面彎折，虛擬電極線都能夠起到防止數(shù)據(jù)線和/或掃描線折斷的作用。

需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例中所述的“至少一側(cè)”是指在柔性陣列基板不彎折的情況下，在平行于柔性陣列基板的平面內(nèi)，虛擬電極線位于數(shù)據(jù)線或者掃描線的一側(cè)。

本實(shí)施例中虛擬電極線可以僅位于數(shù)據(jù)線和/或掃描線的一側(cè)，也可以同時(shí)位于數(shù)據(jù)線和/或掃描線的兩側(cè)。需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例中不限定數(shù)據(jù)線和/或掃描線每一側(cè)的虛擬電極線的個(gè)數(shù)，在數(shù)據(jù)線和/或掃描線每一側(cè)可以僅設(shè)置一條虛擬電極線，也可以設(shè)置多條虛擬電極線。另外，當(dāng)在數(shù)據(jù)線和/或掃描線每一側(cè)設(shè)置多條虛擬電極線時(shí)，多條虛擬電極線可以為疊加多層的結(jié)構(gòu)，也可以為位于同一層的多條虛擬電極線，沿遠(yuǎn)離數(shù)據(jù)線或掃描線的方向依次排列。當(dāng)存在多條虛擬電極線時(shí)，多條虛擬電極線均能夠分擔(dān)應(yīng)力，相對(duì)于一條虛擬電極線，數(shù)據(jù)線和掃描線上的應(yīng)力更小，被折斷風(fēng)險(xiǎn)更低。

由于在垂直于柔性陣列基板的方向上，虛擬電極線背離柔性陣列基板一側(cè)的表面比掃描線和數(shù)據(jù)線背離柔性陣列基板一側(cè)的表面更加遠(yuǎn)離柔性陣列基板的表面，也即在柔性陣列基板的剖面結(jié)構(gòu)中，虛擬電極線的高度比掃描線和數(shù)據(jù)線的高度高，能夠?qū)θ嵝躁嚵谢鍙澱圻^(guò)程中的掃描線和數(shù)據(jù)線有更好的保護(hù)，基于此，本實(shí)施例中可選的，當(dāng)在數(shù)據(jù)線和/或掃描線每一側(cè)設(shè)置多條虛擬電極線時(shí)，多條虛擬電極線為疊加多層的結(jié)構(gòu)。

本實(shí)施例中虛擬電極線與數(shù)據(jù)線或掃描線位于同一層，可選的，當(dāng)所有虛擬電極線均位于同一層時(shí)，可以與數(shù)據(jù)線位于同一層，也可以與掃描線位于同一層。當(dāng)虛擬電極線分別位于不同層時(shí)，其中一層虛擬電極線與掃描線同時(shí)制作形成，與掃描線位于同一層；另外一層虛擬電極線可以與數(shù)據(jù)線同時(shí)制作形成，與數(shù)據(jù)線位于同一層，本實(shí)施例中對(duì)虛擬電極線具體位于哪一層結(jié)構(gòu)不做限定。

需要說(shuō)明的是，為防止虛擬電極線與數(shù)據(jù)線或掃描線距離太近，出現(xiàn)短路現(xiàn)象，本實(shí)施例中所述虛擬電極線與數(shù)據(jù)線或掃描線之間的距離大于或等于3微米。另外，由于柔性顯示裝置的邊框區(qū)域有限，本實(shí)施例中限定所述虛擬電極線與數(shù)據(jù)線或掃描線之間的距離小于或等于10微米。

本發(fā)明實(shí)施例中對(duì)所述虛擬電極線的寬度不做限定，但為防止虛擬電極線過(guò)寬時(shí)，引來(lái)較大應(yīng)力，從而使得數(shù)據(jù)線或掃描線周圍的應(yīng)力變化較大，本實(shí)施例中限定所述虛擬電極線的寬度與數(shù)據(jù)線或掃描線的寬度相近。

另外，為了在數(shù)據(jù)線和掃描線發(fā)生彎折，存在部分折斷風(fēng)險(xiǎn)的基礎(chǔ)上進(jìn)一步保證柔性陣列基板的顯示質(zhì)量，本發(fā)明實(shí)施例中還可選的，將數(shù)據(jù)線和/或所述掃描線設(shè)置為鏤空結(jié)構(gòu)。鏤空結(jié)構(gòu)使得數(shù)據(jù)線或掃描線相當(dāng)于多個(gè)子數(shù)據(jù)線或子掃描線進(jìn)行并聯(lián)，當(dāng)一個(gè)子數(shù)據(jù)線或子掃描線折斷時(shí)，其他并聯(lián)線路可以正常顯示，從而保證柔性顯示裝置的顯示質(zhì)量。

本發(fā)明實(shí)施例還提供一種柔性陣列基板制作方法，包括：

提供柔性基板；

在所述柔性基板上形成多條掃描線、多條數(shù)據(jù)線，所述多條數(shù)據(jù)線和所述多條掃描線交叉且絕緣設(shè)置，且限定出多個(gè)像素單元；

在形成所述掃描線和/或所述數(shù)據(jù)線的同時(shí)，在所述數(shù)據(jù)線和/或所述掃描線的至少一側(cè)形成虛擬電極線。

其中，根據(jù)虛擬電極線的分布情況不同，在形成掃描線和/或數(shù)據(jù)線的同時(shí)，在數(shù)據(jù)線和/或掃描線的至少一側(cè)形成虛擬電極線具體可以分為如下幾種情況為：

1)在形成掃描線的同時(shí)，在數(shù)據(jù)線和/或掃描線的一側(cè)形成虛擬電極線；

形成絕緣層，絕緣層覆蓋掃描線和虛擬電極線；

在絕緣層上形成數(shù)據(jù)線。

也即，虛擬電極線與掃描線在同一個(gè)步驟中形成，且虛擬電極線僅位于數(shù)據(jù)線和/或掃描線的一側(cè)。

2)在形成掃描線的同時(shí)，在數(shù)據(jù)線和/或掃描線的一側(cè)形成第一虛擬電極線；

形成絕緣層，絕緣層覆蓋掃描線和第一虛擬電極線；

在絕緣層上，形成數(shù)據(jù)線和第二虛擬電極線，第二虛擬電極線與第一虛擬電極線在柔性基板上的垂直投影重疊。

也即，虛擬電極線包括兩層結(jié)構(gòu)，其中，第一虛擬電極線與掃描線在同一個(gè)步驟中形成，且僅位于數(shù)據(jù)線和/或掃描線的一側(cè)；第二虛擬電極線與數(shù)據(jù)線在同一個(gè)步驟中形成，且第二虛擬電極線位于第一虛擬電極線的上方，在柔性基板上的垂直投影重疊。

3)在形成掃描線的同時(shí)，在數(shù)據(jù)線和/或掃描線的兩側(cè)均形成第一虛擬電極線；

形成絕緣層，絕緣層覆蓋掃描線和第一虛擬電極線；

在絕緣層上，形成數(shù)據(jù)線和第二虛擬電極線，第二虛擬電極線與第一虛擬電極線在柔性基板上的垂直投影重疊。

也即，虛擬電極線包括兩層結(jié)構(gòu)，其中，第一虛擬電極線與掃描線在同一個(gè)步驟中形成，且位于數(shù)據(jù)線和/或掃描線的兩側(cè)；第二虛擬電極線與數(shù)據(jù)線在同一個(gè)步驟中形成，且第二虛擬電極線位于第一虛擬電極線的上方，在柔性基板上的垂直投影重疊。

需要說(shuō)明的是，此步驟中，第二虛擬電極線可以與第一虛擬電極線對(duì)應(yīng)設(shè)置，設(shè)置在數(shù)據(jù)線和/或掃描線的兩側(cè)；也可以僅位于數(shù)據(jù)線和/或掃描線的一側(cè)，本實(shí)施例中對(duì)此不做限定。

綜上所述，本發(fā)明提供的柔性陣列基板及其制作方法，通過(guò)在每個(gè)像素單元中的數(shù)據(jù)線和/或掃描線的至少一側(cè)增加設(shè)置虛擬電極線，虛擬電極線與數(shù)據(jù)線和/或掃描線絕緣且平行設(shè)置；使得在柔性顯示裝置發(fā)生彎折時(shí)，由于所述虛擬電極線能夠分擔(dān)與其平行的數(shù)據(jù)線或掃描線的應(yīng)力，從而降低柔性顯示裝置彎折過(guò)程中，數(shù)據(jù)線和/或掃描線的被折斷風(fēng)險(xiǎn)，進(jìn)而提高了柔性顯示裝置的顯示質(zhì)量。進(jìn)一步地，由于虛擬電極線位于每個(gè)像素單元中，也即虛擬電極線為多條長(zhǎng)度較短且相互分離的線，相對(duì)于剛性較大的掃描線或數(shù)據(jù)線，多條虛擬電極線之間的間隙可以用于彎折，從而在增強(qiáng)數(shù)據(jù)線和/或掃描線的耐折彎性的基礎(chǔ)上，還有助于柔性陣列基板的彎曲。

下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明提供柔性陣列基板及其制作方法、柔性顯示裝置進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。

請(qǐng)參見(jiàn)圖2、圖3、圖4和圖5，其中，圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種柔性陣列基板的俯視結(jié)構(gòu)示意圖，圖3為圖2所示柔性陣列基板的a部局部放大圖；圖4為圖2所示柔性陣列基板沿aa’線的剖面結(jié)構(gòu)示意圖，圖5為圖2所示柔性陣列基板的制作方法流程圖。

如圖2所示，本發(fā)明實(shí)施例中，柔性陣列基板10包括交叉且絕緣設(shè)置的多條數(shù)據(jù)線11和多條掃描線12，多條數(shù)據(jù)線11和多條掃描線12限定出多個(gè)像素單元。本實(shí)施例中還包括與數(shù)據(jù)線11和掃描線12絕緣且平行設(shè)置的虛擬電極線15，虛擬電極線15位于像素單元在柔性陣列基板的垂直投影中。本領(lǐng)域技術(shù)人員公知的像素單元包括像素電極13和薄膜晶體管(thinfilmtransistor，tft)結(jié)構(gòu)。如圖2所示，虛擬電極線位于掃描線和數(shù)據(jù)線之外的區(qū)域，也即像素單元所在區(qū)域。

如圖3所示，本實(shí)施例中僅在掃描線12和數(shù)據(jù)線11的一側(cè)設(shè)置了虛擬電極線15，需要說(shuō)明的是，圖2和圖3所示，僅示出了一種虛擬電極線15的分布情況，本實(shí)施例中對(duì)虛擬電極線15的分布不做限定，如圖3所示，虛擬電極線15可以位于掃描線12的下側(cè)，也可以位于掃描線12的上側(cè)；虛擬電極線15可以位于數(shù)據(jù)線11的左側(cè)，也可以位于數(shù)據(jù)線11的右側(cè)。另外，柔性陣列基板上的所有像素單元中的虛擬電極線的分布方式可以相同，如圖2所示，柔性陣列基板上的所有像素單元中的虛擬電極線的分布方式還可以不相同，如一部分像素單元中的虛擬電極線，如圖3中所示，虛擬電極線15位于掃描線12的下側(cè)，并且位于數(shù)據(jù)線11的左側(cè)；另外一些像素單元中虛擬電極線位于掃描線的上側(cè)，并且位于數(shù)據(jù)線的右側(cè)。本實(shí)施例中對(duì)此不做限定。需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例中所述的“上側(cè)”、“下側(cè)”是為了區(qū)分掃描線的兩側(cè)，“左側(cè)”、“右側(cè)”是為了區(qū)分?jǐn)?shù)據(jù)線的兩側(cè)，并不指絕對(duì)的方向。

位于掃描線12和數(shù)據(jù)線11的一側(cè)的虛擬電極線的條數(shù)也不限定為一條，在本發(fā)明其他實(shí)施例中，掃描線12和數(shù)據(jù)線11的一側(cè)還可以設(shè)置多條并排分布的多條虛擬電極線。需要說(shuō)明的是，考慮到并排設(shè)計(jì)多條虛擬電極線時(shí)剛性較大，不利于柔性陣列基板的彎曲，因此，本實(shí)施例在掃描線和/或數(shù)據(jù)線的一側(cè)或兩側(cè)設(shè)置多條一條虛擬電極線。

需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例中對(duì)所述虛擬電極線的材質(zhì)不做限定，為了不影響像素單元的顯示情況，虛擬電極線可選為透明材質(zhì)，如ito(氧化銦錫)。對(duì)于顯示不受開口率影響的顯示裝置，如反射型顯示裝置，本實(shí)施例中虛擬電極線還可以為非透明材質(zhì)，如金屬材質(zhì)，只要能夠分擔(dān)數(shù)據(jù)線和掃描線應(yīng)力的材質(zhì)，均可以應(yīng)用于本發(fā)明實(shí)施例。

如圖4所示，本發(fā)明實(shí)施例中，虛擬電極線15與掃描線12位于同一層。柔性陣列基板的具體制作方法流程如圖5所示，包括：

s101、提供柔性基板；

以圖4為例進(jìn)行說(shuō)明，本實(shí)施例中柔性基板包括襯底16；本實(shí)施例中對(duì)襯底的材質(zhì)不做限定。對(duì)于柔性基板來(lái)說(shuō)，可選的，襯底16的材質(zhì)可以為玻璃、金屬或有機(jī)聚合物。

s102、在柔性基板上形成多條掃描線、多條數(shù)據(jù)線，多條數(shù)據(jù)線和多條掃描線交叉且絕緣設(shè)置，且限定出多個(gè)像素單元；其中，在形成掃描線的同時(shí)，在數(shù)據(jù)線和掃描線的一側(cè)形成虛擬電極線；

繼續(xù)參見(jiàn)圖4，虛擬電極線15與掃描線12同時(shí)形成，且位于同一層?？蛇x的，虛擬電極線15與掃描線12可以采用同一個(gè)掩膜版，一次制作形成。需要說(shuō)明的是，與掃描線12同時(shí)形成的還包括如圖3和圖2中所示的像素單元中的薄膜晶體管的柵極，柵極與掃描線同時(shí)形成為本領(lǐng)域技術(shù)人員公知的工藝，本實(shí)施例中對(duì)此不做詳細(xì)描述。

s103、形成絕緣層，絕緣層覆蓋掃描線和虛擬電極線；

繼續(xù)參見(jiàn)圖4，在虛擬電極線15與掃描線12上形成一層絕緣層17，本實(shí)施例中不限定絕緣層17的制作工藝。絕緣層17用于將掃描線12、虛擬電極線15與后續(xù)在掃描線12、虛擬電極線15上形成的其他金屬層之間進(jìn)行絕緣。

s104、在絕緣層上形成數(shù)據(jù)線。

繼續(xù)參見(jiàn)圖4，在絕緣層17上形成數(shù)據(jù)線11，其中虛擬電極線15位于數(shù)據(jù)線11的一側(cè)。后續(xù)再進(jìn)行其他工藝，本實(shí)施例中對(duì)后續(xù)工藝步驟不做限定。

需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例中虛擬電極線與掃描線在同一個(gè)步驟中制作形成，并沒(méi)有增加工藝步驟，因此，相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，并沒(méi)有增加柔性陣列基板的制作復(fù)雜度。

如圖3所示，由于增加設(shè)置了虛擬電極線15，分擔(dān)了數(shù)據(jù)線11和掃描線12的應(yīng)力，長(zhǎng)期彎折下來(lái)，折斷處14較大可能出現(xiàn)在虛擬電極線15上，從而在彎折過(guò)程中，虛擬電極線15對(duì)數(shù)據(jù)線11和掃描線12進(jìn)行了保護(hù)，避免了數(shù)據(jù)線11和掃描線12被折斷，從而提高了柔性顯示裝置的顯示質(zhì)量。進(jìn)一步地，由于虛擬電極線位于每個(gè)像素單元中，也即虛擬電極線為多條長(zhǎng)度較短且相互分離的線，相對(duì)于剛性較大的掃描線或數(shù)據(jù)線，多條虛擬電極線之間的間隙可以用于彎折，從而在增強(qiáng)數(shù)據(jù)線和/或掃描線的耐折彎性的基礎(chǔ)上，還有助于柔性陣列基板的彎曲。

請(qǐng)參見(jiàn)圖6和圖7，其中，圖6為本發(fā)明另一實(shí)施例提供的柔性陣列基板的局部俯視示意圖；圖7為圖6所示柔性陣列基板沿bb’線的剖面結(jié)構(gòu)示意圖，其中，剖面結(jié)構(gòu)示意圖中還包括其他結(jié)構(gòu)，如像素電極，但是本實(shí)施例為了更加清晰地呈現(xiàn)虛擬電極的結(jié)構(gòu)而省略了bb’線對(duì)應(yīng)的某些區(qū)域，圖7中僅以斷面結(jié)構(gòu)表示其他結(jié)構(gòu)。

如圖6所示，為柔性陣列基板的一個(gè)像素單元的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；每個(gè)像素單元由掃描線22和數(shù)據(jù)線21限定出來(lái)，本實(shí)施例中在掃描線22和數(shù)據(jù)線21的兩側(cè)均設(shè)置了虛擬電極線25，也即在圖6所示的像素單元中，掃描線22和數(shù)據(jù)線21靠近像素電極23和背離像素電極23的一側(cè)均設(shè)置了虛擬電極線25。需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例中不限定分別位于掃描線22和數(shù)據(jù)線21的一側(cè)的虛擬電極線的條數(shù)，在本發(fā)明其他實(shí)施例中，掃描線22和數(shù)據(jù)線21的一側(cè)還可以設(shè)置多條并排分布的多條虛擬電極線。考慮到并排設(shè)計(jì)多條虛擬電極線時(shí)剛性較大，不利于柔性陣列基板的彎曲，因此，本實(shí)施例為在掃描線和/或數(shù)據(jù)線的一側(cè)或兩側(cè)設(shè)置一條虛擬電極線。

需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例中對(duì)所述虛擬電極線的材質(zhì)不做限定，為了不影響像素單元的顯示情況，虛擬電極線可選為透明材質(zhì)，如ito(氧化銦錫)。對(duì)于顯示不受開口率影響的顯示裝置，如反射型顯示裝置，本實(shí)施例中虛擬電極線還可以為非透明材質(zhì)，如金屬材質(zhì)，只要能夠分擔(dān)數(shù)據(jù)線和掃描線應(yīng)力的材質(zhì)，均可以應(yīng)用于本發(fā)明實(shí)施例。

如圖7所示，本發(fā)明實(shí)施例中，虛擬電極線25與掃描線22位于同一層。柔性陣列基板的具體制作方法流程與圖5所示的柔性陣列基板的制作方法的步驟相似，不同的是，本實(shí)施例中在在形成掃描線的同時(shí)，在數(shù)據(jù)線和掃描線的兩側(cè)形成虛擬電極線。其他制作步驟請(qǐng)參見(jiàn)圖5所示流程圖。

如圖6所示，由于增加設(shè)置了虛擬電極線25，分擔(dān)了數(shù)據(jù)線21和掃描線22的應(yīng)力，長(zhǎng)期彎折下來(lái)，折斷處24較大可能出現(xiàn)在虛擬電極線25上，從而在彎折過(guò)程中，虛擬電極線25對(duì)數(shù)據(jù)線21和掃描線22進(jìn)行了保護(hù)，避免了數(shù)據(jù)線21和掃描線22被折斷，從而提高了柔性顯示裝置的顯示質(zhì)量。進(jìn)一步地，由于虛擬電極線位于每個(gè)像素單元中，也即虛擬電極線為多條長(zhǎng)度較短且相互分離的線，相對(duì)于剛性較大的掃描線或數(shù)據(jù)線，多條虛擬電極線之間的間隙可以用于彎折，從而在增強(qiáng)數(shù)據(jù)線和/或掃描線的耐折彎性的基礎(chǔ)上，還有助于柔性陣列基板的彎曲。

請(qǐng)參見(jiàn)圖8、圖9和圖10，其中，圖8為本發(fā)明又一實(shí)施例提供的柔性陣列基板的局部俯視示意圖；圖9為圖8所示柔性陣列基板沿cc’線的剖面結(jié)構(gòu)示意圖，其中，剖面結(jié)構(gòu)示意圖中還包括其他結(jié)構(gòu)，如像素電極，但是本實(shí)施例為了更加清晰地呈現(xiàn)虛擬電極的結(jié)構(gòu)而省略了cc’線對(duì)應(yīng)的某些區(qū)域，圖9中僅以斷面結(jié)構(gòu)表示其他結(jié)構(gòu)，圖10為圖8所示柔性陣列基板的制作方法流程圖。

如圖8所示，為柔性陣列基板的一個(gè)像素單元的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；每個(gè)像素單元由掃描線32和數(shù)據(jù)線31限定出來(lái)，本實(shí)施例中在掃描線32和數(shù)據(jù)線31的兩側(cè)均設(shè)置了第一虛擬電極線351和第二虛擬電極線352，也即在圖8所示的像素單元中，掃描線32和數(shù)據(jù)線31靠近像素電極33和背離像素電極33的一側(cè)均設(shè)置了第一虛擬電極線351和第二虛擬電極線352。其中，請(qǐng)參見(jiàn)圖9，在柔性陣列基板的剖面圖中，第一虛擬電極線351位于第二虛擬電極線352的下方，即第一虛擬電極線351和第二虛擬電極線352組成疊層結(jié)構(gòu)，也即位于數(shù)據(jù)線31和掃描線32的每一側(cè)的兩條虛擬電極線在柔性陣列基板上的垂直投影重疊。

需要說(shuō)明的是，在本發(fā)明的其他實(shí)施例中，數(shù)據(jù)線31和掃描線32的每一側(cè)還可以包括多組第一虛擬電極線351和第二虛擬電極線352；在本發(fā)明的另外實(shí)施例中，第二虛擬電極線352可以僅位于數(shù)據(jù)線31和掃描線32的單側(cè)，本實(shí)施例中對(duì)此不做限定。

本實(shí)施例中不限定分別位于掃描線32和數(shù)據(jù)線31的一側(cè)的虛擬電極線(第一虛擬電極線351和第二虛擬電極線352疊加組合)的條數(shù)，在本發(fā)明其他實(shí)施例中，掃描線32和數(shù)據(jù)線31的每一側(cè)還可以設(shè)置多條并排分布的多條虛擬電極線?？紤]到并排設(shè)計(jì)多組虛擬電極線時(shí)剛性較大，不利于柔性陣列基板的彎曲，因此，本實(shí)施例為在掃描線和/或數(shù)據(jù)線的一側(cè)或兩側(cè)設(shè)置一條虛擬電極線。

需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例中對(duì)所述虛擬電極線的材質(zhì)不做限定，為了不影響像素單元的顯示情況，虛擬電極線可選為透明材質(zhì)。對(duì)于顯示不受開口率影響的顯示裝置，如反射型顯示裝置，本實(shí)施例中虛擬電極線還可以為非透明材質(zhì)，如金屬材質(zhì)，只要能夠分擔(dān)數(shù)據(jù)線和掃描線應(yīng)力的材質(zhì)，均可以應(yīng)用于本發(fā)明實(shí)施例。

如圖9所示，本發(fā)明實(shí)施例中，第一虛擬電極線351與掃描線32位于同一層，第二虛擬電極線352與數(shù)據(jù)線位于同一層。柔性陣列基板的具體制作方法流程如圖10所示，包括：

s201、提供柔性基板；

請(qǐng)參見(jiàn)圖9，本實(shí)施例中柔性基板包括襯底36；本實(shí)施例中對(duì)襯底的材質(zhì)不做限定。對(duì)于柔性基板來(lái)說(shuō)，可選的，襯底36為玻璃、金屬或有機(jī)聚合物。

s202、在柔性基板上形成多條掃描線、多條數(shù)據(jù)線，多條數(shù)據(jù)線和多條掃描線交叉且絕緣設(shè)置，且限定出多個(gè)像素單元；其中，在形成掃描線的同時(shí)，在數(shù)據(jù)線和掃描線的兩側(cè)均形成第一虛擬電極線。

繼續(xù)參見(jiàn)圖9，第一虛擬電極線351與掃描線32同時(shí)形成，且位于同一層?？蛇x的，掃描線32和第一虛擬電極線351可以采用同一個(gè)掩膜版，一次制作形成。需要說(shuō)明的是，與掃描線32同時(shí)形成的還包括如圖8中所示的像素單元中的薄膜晶體管的柵極，柵極與掃描線同時(shí)形成為本領(lǐng)域技術(shù)人員公知的工藝，本實(shí)施例中對(duì)此不做詳細(xì)描述。

s203、形成絕緣層，絕緣層覆蓋掃描線和第一虛擬電極線；

繼續(xù)參見(jiàn)圖9，在第一虛擬電極線351與掃描線32上形成一層絕緣層37，本實(shí)施例中不限定絕緣層37的制作工藝。絕緣層37用于將掃描線32、第一虛擬電極線35與后續(xù)在掃描線32、第一虛擬電極線35上形成的其他金屬層之間進(jìn)行絕緣。

s204、在絕緣層上，形成數(shù)據(jù)線和第二虛擬電極線，第二虛擬電極線與第一虛擬電極線在柔性基板上的垂直投影重疊。

繼續(xù)參見(jiàn)圖9，在絕緣層38上形成數(shù)據(jù)線31和第二虛擬電極線352，其中，第二虛擬電極線352與數(shù)據(jù)線31同時(shí)形成，且位于同一層?？蛇x的，數(shù)據(jù)線31和第二虛擬電極線352可以采用同一個(gè)掩膜版，一次制作形成。需要說(shuō)明的是，與數(shù)據(jù)線31同時(shí)形成的還包括如圖8中所示的像素單元中的薄膜晶體管的源極和漏極，源極、漏極與數(shù)據(jù)線同時(shí)形成為本領(lǐng)域技術(shù)人員公知的工藝，本實(shí)施例中對(duì)此不做詳細(xì)描述。

需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例中第二虛擬電極線352位于第一虛擬電極線的正上方，也即，第二虛擬電極線352與第一虛擬電極線351在柔性基板上的垂直投影重疊。在本發(fā)明的其他實(shí)施例中，第二虛擬電極線352可以與第一虛擬電極線351的數(shù)量不相同，也即部分第一虛擬電極線351上設(shè)置有第二虛擬電極線352，部分第一虛擬電極線351上不設(shè)置第二虛擬電極線352，具體情況根據(jù)實(shí)際需求進(jìn)行選擇，本實(shí)施例中不做限定。

后續(xù)再進(jìn)行其他工藝，本實(shí)施例中對(duì)后續(xù)工藝步驟不做限定。

需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例中第一虛擬電極線與掃描線在同一個(gè)步驟中制作形成，第二虛擬電極線與數(shù)據(jù)線在同一個(gè)步驟中制作形成，并沒(méi)有增加工藝步驟，因此，相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，并沒(méi)有增加柔性陣列基板的制作復(fù)雜度。

如圖8所示，由于增加設(shè)置了第一虛擬電極線351和第二虛擬電極線352，且第一虛擬電極線351和第二虛擬電極線352在柔性陣列基板上的垂直投影重疊。也即兩層虛擬電極線堆疊起來(lái)，如圖9所示，在剖面結(jié)構(gòu)上，虛擬電極線(包括第一虛擬電極線351和第二虛擬電極線352)的高度比掃描線32和數(shù)據(jù)線31的高度均高，從而能夠在彎折過(guò)程中，對(duì)掃描線32和數(shù)據(jù)線31起到保護(hù)作用，如圖8所示，長(zhǎng)期彎折下來(lái)，折斷處34較大可能出現(xiàn)在虛擬電極線上，從而避免了數(shù)據(jù)線31和掃描線32被折斷，進(jìn)而提高了柔性顯示裝置的顯示質(zhì)量。進(jìn)一步地，由于虛擬電極線位于每個(gè)像素單元中，也即虛擬電極線為多條長(zhǎng)度較短且相互分離的線，相對(duì)于剛性較大的掃描線或數(shù)據(jù)線，多條虛擬電極線之間的間隙可以用于彎折，從而在增強(qiáng)數(shù)據(jù)線和/或掃描線的耐折彎性的基礎(chǔ)上，還有助于柔性陣列基板的彎曲。

請(qǐng)參見(jiàn)圖11和圖12，其中，圖11為本發(fā)明再一實(shí)施例提供的柔性陣列基板的局部俯視示意圖；圖12為圖11所示柔性陣列基板沿dd’線的剖面結(jié)構(gòu)示意圖，其中，剖面結(jié)構(gòu)示意圖中還包括其他結(jié)構(gòu)，如像素電極，但是本實(shí)施例為了更加清晰地呈現(xiàn)虛擬電極的結(jié)構(gòu)而省略了dd’線對(duì)應(yīng)的某些區(qū)域，圖12中僅以斷面結(jié)構(gòu)表示其他結(jié)構(gòu)。

如圖11所示，為柔性陣列基板的一個(gè)像素單元的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；每個(gè)像素單元由掃描線42和數(shù)據(jù)線41限定出來(lái)，本實(shí)施例中在掃描線42和數(shù)據(jù)線41的兩側(cè)均設(shè)置了第一虛擬電極線451和第二虛擬電極線452，也即在圖11所示的像素單元中，掃描線42和數(shù)據(jù)線41靠近像素電極44和背離像素電極44的一側(cè)均設(shè)置了第一虛擬電極線451和第二虛擬電極線452。其中，請(qǐng)參見(jiàn)圖12，其中第一虛擬電極線451位于第二虛擬電極線452的下方，即第一虛擬電極線451和第二虛擬電極線452形成疊層結(jié)構(gòu)，也即位于數(shù)據(jù)線41和掃描線42的每一側(cè)的兩條虛擬電極線在柔性陣列基板上的垂直投影重疊。

需要說(shuō)明的是，在本發(fā)明的其他實(shí)施例中，數(shù)據(jù)線41和掃描線42的每一側(cè)還可以包括多組第一虛擬電極線451和第二虛擬電極線452；在本發(fā)明的另外實(shí)施例中，第二虛擬電極線452可以僅位于數(shù)據(jù)線41和掃描線42的單側(cè)，本實(shí)施例中對(duì)此不做限定。

本實(shí)施例中不限定分別位于掃描線42和數(shù)據(jù)線41的一側(cè)的虛擬電極線(第一虛擬電極線451和第二虛擬電極線452疊加組合)的條數(shù)，在本發(fā)明其他實(shí)施例中，掃描線42和數(shù)據(jù)線41的每一側(cè)還可以設(shè)置多條并排分布的多條虛擬電極線?？紤]到并排設(shè)計(jì)多組虛擬電極線時(shí)剛性較大，不利于柔性陣列基板的彎曲，因此，本實(shí)施例為在掃描線和/或數(shù)據(jù)線的一側(cè)或兩側(cè)設(shè)置一條虛擬電極線。

與圖8所示柔性陣列基板不同的是，本實(shí)施例中的數(shù)據(jù)線41和掃描線42為鏤空結(jié)構(gòu)，本實(shí)施例中不限定所述鏤空結(jié)構(gòu)的具體鏤空?qǐng)D案，可以是橢圓形、圓形、矩形或多邊形，本實(shí)施例中對(duì)此不做限定。

需要說(shuō)明的是，為保證數(shù)據(jù)線和掃描線的耦合電容不變，本實(shí)施例中將具有鏤空結(jié)構(gòu)的數(shù)據(jù)線和掃描線的總寬度增加，使得鏤空的數(shù)據(jù)線和掃描線的總寬度相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)中的數(shù)據(jù)線和掃描線的寬度更寬，可選的，本實(shí)施例中數(shù)據(jù)線41和掃描線42的寬度范圍為5微米-100微米，包括端點(diǎn)值。需要說(shuō)明的是，不同工藝制作形成的柔性陣列基板，掃描線和數(shù)據(jù)線的寬度不同，寬度增加程度也不同，本實(shí)施例中對(duì)此不做限定，掃描線和數(shù)據(jù)線的具體寬度依據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行設(shè)定。

本實(shí)施例中柔性陣列基板的具體制作方法流程與圖10所示的柔性陣列基板的制作方法的步驟相似，不同的是，本實(shí)施例中在在形成掃描線的同時(shí)，將掃描線做成鏤空結(jié)構(gòu)，在形成數(shù)據(jù)線的同時(shí)，也將數(shù)據(jù)線設(shè)置為鏤空結(jié)構(gòu)。其他制作步驟請(qǐng)參見(jiàn)圖10所示流程圖。

如圖11所示，在增加設(shè)置第一虛擬電極線451和第二虛擬電極線452，且第一虛擬電極線451和第二虛擬電極線452在柔性陣列基板上的垂直投影重疊的基礎(chǔ)上，將數(shù)據(jù)線41和掃描想42設(shè)置為鏤空結(jié)構(gòu)，鏤空結(jié)構(gòu)使得數(shù)據(jù)線或掃描線相當(dāng)于多個(gè)子數(shù)據(jù)線或子掃描線進(jìn)行并聯(lián)，當(dāng)一個(gè)子數(shù)據(jù)線或子掃描線折斷時(shí)，其他并聯(lián)線路可以正常顯示，從而保證柔性顯示裝置的顯示良率。如圖11所示，長(zhǎng)期彎折下來(lái)，即使折斷處44出現(xiàn)在數(shù)據(jù)線41和掃描線42上，數(shù)據(jù)線41和掃描線42上也存在未折斷的部分，進(jìn)而進(jìn)一步提高了柔性顯示裝置的顯示質(zhì)量。進(jìn)一步地，由于虛擬電極線位于每個(gè)像素單元中，也即虛擬電極線為多條長(zhǎng)度較短且相互分離的線，相對(duì)于剛性較大的掃描線或數(shù)據(jù)線，多條虛擬電極線之間的間隙可以用于彎折，從而在增強(qiáng)數(shù)據(jù)線和/或掃描線的耐折彎性的基礎(chǔ)上，還有助于柔性陣列基板的彎曲。

本發(fā)明實(shí)施例還提供一種柔性顯示裝置，包括柔性陣列基板，所述柔性陣列基板為上述在所述數(shù)據(jù)線和/或所述掃描線的至少一側(cè)，絕緣且平行設(shè)置的虛擬電極線。所述虛擬電極線位于所述像素單元在所述柔性陣列基板的垂直投影中。

需要說(shuō)明的是，由于虛擬電極線位于所述像素單元在所述柔性陣列基板的垂直投影中，為避免對(duì)柔性顯示裝置的開口率造成影響，本實(shí)施例中可選的，所述柔性顯示裝置為反射式柔性顯示裝置，所述反射式柔性顯示裝置包括電子紙和反射式液晶顯示裝置。

其中，由于電子紙像紙一樣薄，具有即使切掉電源，內(nèi)容也不會(huì)消失的特性，因此，電子紙被廣泛應(yīng)用于柔性顯示中，本發(fā)明中的柔性顯示裝置可選為電子紙。，因此，下面本實(shí)施例中以電子紙為例進(jìn)行說(shuō)明所述柔性顯示裝置，如圖13所示，為電子紙的剖面結(jié)構(gòu)示意圖，電子紙包括：

相對(duì)設(shè)置的保護(hù)膜51和上述任一柔性陣列基板50，具體地，柔性陣列基板50包括：像素電極54、基板57、薄膜晶體管56、數(shù)據(jù)線(圖中未示出)和掃描線(圖中未示出)，薄膜晶體管56形成在基板57朝向保護(hù)膜51的一側(cè)。保護(hù)膜51朝向基板57的一側(cè)設(shè)置有公共電極52，公共電極52和像素電極54之間還包括電泳膜53，電泳膜53中間夾雜著電泳粒子58，所述電泳粒子58在電場(chǎng)的作用下能夠游動(dòng)。

電子紙顯示過(guò)程中，通過(guò)電場(chǎng)控制電泳粒子58移動(dòng)的位置，通過(guò)電泳粒子58移動(dòng)的位置控制光的反射情況，從而實(shí)現(xiàn)所需亮度。由于電泳粒子58的移動(dòng)是靠電場(chǎng)移動(dòng)的，因此可通過(guò)在電子紙的每個(gè)區(qū)域的公共電極52和像素電極54之間加上適當(dāng)?shù)碾妷?，產(chǎn)生反射區(qū)和吸收區(qū)圖案，即可形成圖案。

電泳粒子58的顏色可以包括黑色和白色，形成黑白顯示的電子紙，還可以包括其他顏色，從而形成彩色顯示的電子紙，本實(shí)施例中對(duì)此不做限定。

可選地，如圖13所示，柔性陣列基板50上還包括第一虛擬電極線551和第二虛擬電極線552，其中，第一虛擬電極線551與薄膜晶體管56中的柵極以及掃描線同時(shí)形成，且位于同一層；第二虛擬電極線552與薄膜晶體管56中的源極、漏極以及數(shù)據(jù)線同時(shí)形成，且位于同一層，第一虛擬電極線551和第二虛擬電極線552均位于數(shù)據(jù)線的一側(cè)，且與數(shù)據(jù)線平行設(shè)置。第一虛擬電極線551和第二虛擬電極線552之前設(shè)置有柵極絕緣層。第一虛擬電極線551和第二虛擬電極線552還可以設(shè)置在數(shù)據(jù)線的兩側(cè)，本實(shí)施例中不做限定。同樣，圖中未示出的，掃描線的至少一側(cè)也可以設(shè)置與其絕緣且平行設(shè)置的虛擬電極線，詳細(xì)描述請(qǐng)參見(jiàn)上面幾個(gè)實(shí)施例，本實(shí)施例中不再贅述。

需要說(shuō)明的是，本說(shuō)明書中的各個(gè)實(shí)施例均采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說(shuō)明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似的部分互相參見(jiàn)即可。

對(duì)所公開的實(shí)施例的上述說(shuō)明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見(jiàn)的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本發(fā)明將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。