本發(fā)明涉及太陽能電池板制造
技術(shù)領(lǐng)域：
，具體為一種石英舟清洗飽和工藝。
背景技術(shù)：
：太陽能電池板擴(kuò)散用石英舟在使用一段時(shí)間后會(huì)變臟，容易造成電池板卡槽印、崩邊等不良，因此需要對(duì)石英舟進(jìn)行定期清洗。新清洗的石英舟在使用前需進(jìn)行飽和處理，目的是保證正常生產(chǎn)時(shí)，不會(huì)造成硅片外觀和方阻異常。之前石英舟清洗飽和工藝流程存在以下問題，飽和時(shí)間長(zhǎng)，影響產(chǎn)能；清洗飽和過的石英舟外觀效果差，舟尾清洗不干凈；pocl3、o2、n2用量較多；故需要對(duì)石英舟清洗飽和流程進(jìn)行優(yōu)化，來改善清洗效果、降低運(yùn)營成本及提升產(chǎn)能。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于提供一種石英舟清洗飽和工藝，以解決上述
背景技術(shù)：
中提出的問題。所述石英舟清洗飽和工藝具有減少飽和時(shí)間，節(jié)約氣體用量的特點(diǎn)。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種石英舟清洗飽和工藝，包括以下步驟：1)在石英舟清洗槽內(nèi)加入配比為3：1：(5-15)的hf、hcl和純水的混合物；2)將石英舟放入清洗槽內(nèi)浸泡清洗15min-50min，此過程中用頻率為40hz的超聲波進(jìn)行輔助清洗；3)采用氣體對(duì)清洗后的石英舟進(jìn)行吹干處理；4)將石英舟放入爐管中通過流量穩(wěn)定的4.5-5.5slm的n2、1450-1550sccm的pocl3和350-400sccmo2進(jìn)行沉積反應(yīng)，反應(yīng)時(shí)間為115min-125min，反應(yīng)溫度為865℃-875℃；5)沉積結(jié)束后，停止pocl3的通入，將n2的流量控制在8.8-9.2slm，o2的流量控制在950-1050sccm進(jìn)行推進(jìn)處理，處理時(shí)間為4.5min-5.5min，溫度控制在870-880℃；6)推進(jìn)結(jié)束后停止o2的通入，將n2的流量控制在27-33slm，進(jìn)行冷卻，冷卻時(shí)間為2.5min-3.5min，溫度控制在825-835℃。優(yōu)選的，4)中爐管中通過流量穩(wěn)定的5slm的n2、1500sccm的pocl3和375sccmo2進(jìn)行沉積反應(yīng)，反應(yīng)時(shí)間為120min，反應(yīng)溫度為870℃。優(yōu)選的，5)中將n2的流量控制在9slm，o2的流量控制在1000sccm進(jìn)行推進(jìn)處理，處理時(shí)間為5min，溫度控制在875℃。優(yōu)選的，6)中將n2的流量控制在30slm冷卻時(shí)間為3min，溫度控制在830℃。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：優(yōu)化改變石英舟酸洗配比，減少石英舟在爐管內(nèi)通pocl3沉積時(shí)間，從而提升產(chǎn)能；氣體流量未變，飽和時(shí)間減少，從而減少氣體用量；而且石英舟清洗飽和后效果良好，硅片擴(kuò)散后無外觀不良，卡槽和舟尾均被清洗干凈。具體實(shí)施方式下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。本發(fā)明提供幾種技術(shù)方案：實(shí)施例11)在石英舟清洗槽內(nèi)加入配比為3：1：7.5的hf、hcl和純水的混合物；2)將石英舟放入清洗槽內(nèi)浸泡清洗30min，此過程中用頻率為40hz的超聲波進(jìn)行輔助清洗；3)采用氣體對(duì)清洗后的石英舟進(jìn)行吹干處理；4)將石英舟放入爐管中通過流量穩(wěn)定的5slm的n2、1500sccm的pocl3和375sccmo2進(jìn)行沉積反應(yīng)，反應(yīng)時(shí)間為120min，反應(yīng)溫度為870℃；5)沉積結(jié)束后，停止pocl3的通入，將n2的流量控制在9slm，o2的流量控制在1000sccm進(jìn)行推進(jìn)處理，處理時(shí)間為5min，溫度控制在875℃；6)推進(jìn)結(jié)束后停止o2的通入，將n2的流量控制在30slm，進(jìn)行冷卻，冷卻時(shí)間為3min，溫度控制在830℃。實(shí)施例21)在石英舟清洗槽內(nèi)加入配比為3：1：5的hf、hcl和純水的混合物；2)將石英舟放入清洗槽內(nèi)浸泡清洗15min，此過程中用頻率為40hz的超聲波進(jìn)行輔助清洗；3)采用氣體對(duì)清洗后的石英舟進(jìn)行吹干處理；4)將石英舟放入爐管中通過流量穩(wěn)定的4.5slm的n2、1450sccm的pocl3和350sccm的o2進(jìn)行沉積反應(yīng)，反應(yīng)時(shí)間為115min，反應(yīng)溫度為865℃；5)沉積結(jié)束后，停止pocl3的通入，將n2的流量控制在8.8slm，o2的流量控制在950sccm進(jìn)行推進(jìn)處理，處理時(shí)間為4.5min，溫度控制在870℃；6)推進(jìn)結(jié)束后停止o2的通入，將n2的流量控制在27slm，進(jìn)行冷卻，冷卻時(shí)間為2.5min，溫度控制在825℃。實(shí)施例31)在石英舟清洗槽內(nèi)加入配比為3：1：15的hf、hcl和純水的混合物；2)將石英舟放入清洗槽內(nèi)浸泡清洗50min，此過程中用頻率為40hz的超聲波進(jìn)行輔助清洗；3)采用氣體對(duì)清洗后的石英舟進(jìn)行吹干處理；4)將石英舟放入爐管中通過流量穩(wěn)定的5.5slm的n2、1550sccm的pocl3和400sccm的o2進(jìn)行沉積反應(yīng)，反應(yīng)時(shí)間為125min，反應(yīng)溫度為875℃；5)沉積結(jié)束后，停止pocl3的通入，將n2的流量控制在9.2slm，o2的流量控制在1050sccm進(jìn)行推進(jìn)處理，處理時(shí)間為5.5min，溫度控制在880℃；6)推進(jìn)結(jié)束后停止o2的通入，將n2的流量控制在33slm，進(jìn)行冷卻，冷卻時(shí)間為3.5min，溫度控制在835℃。對(duì)比組：1)在石英舟清洗槽內(nèi)加入配比為2：1：(5-15)的hf、hcl和純水的混合物；2)將石英舟放入清洗槽內(nèi)浸泡清洗15min-50min；3)采用氣體對(duì)清洗后的石英舟進(jìn)行吹干處理；4)將石英舟放入爐管中通過流量穩(wěn)定的5slm的n2、1500sccm的pocl3和375sccmo2進(jìn)行沉積反應(yīng)，反應(yīng)時(shí)間為180min，反應(yīng)溫度為860℃；5)沉積結(jié)束后，停止pocl3的通入，將n2的流量控制在9slm，o2的流量控制在1000sccm進(jìn)行推進(jìn)處理，處理時(shí)間為5min，溫度控制在860℃；6)推進(jìn)結(jié)束后停止o2的通入，將n2的流量控制在30slm，進(jìn)行冷卻，冷卻時(shí)間為3min，溫度控制在830℃。如下表：項(xiàng)目每月產(chǎn)能每月用pocl3每月用o2每月用n2實(shí)施例1488733片11520l3200l47040l實(shí)施例2486793片10758l2996l43365l實(shí)施例3490672片12280l3433l50715l對(duì)比組465460片17280l4640l66240l綜合對(duì)比各個(gè)實(shí)施例，產(chǎn)量增量高時(shí)，氣體節(jié)約量降低；產(chǎn)量增量低時(shí)，氣體節(jié)約量升高；綜合各個(gè)因素選擇最佳實(shí)施例1，通過對(duì)比可以看出：1、優(yōu)化改變石英舟酸洗配比，減少石英舟在爐管內(nèi)通pocl3沉積時(shí)間，從而提升產(chǎn)能。2、優(yōu)化后的方案，石英舟清洗飽和后效果良好，硅片擴(kuò)散后無外觀不良，優(yōu)化前清洗飽和過的石英舟，卡槽和舟尾無法清洗干凈，并且白色粉末很難除去；優(yōu)化方案后清洗飽和過的石英舟，卡槽和舟尾干凈并且白色粉被洗凈。3、pocl3、o2、n2量節(jié)省優(yōu)化前后氣體流量未變，優(yōu)化后時(shí)間節(jié)省60min，按現(xiàn)行飽和工藝，每個(gè)車間月節(jié)省pocl3、o2、n2分別為：5760l、1440l、19200l。4、優(yōu)化前后單線產(chǎn)能對(duì)比每個(gè)車間擴(kuò)散工序8條線共計(jì)64個(gè)舟，每舟飽和時(shí)間減少1小時(shí)，合計(jì)每個(gè)月共節(jié)省64小時(shí)，按照目前產(chǎn)線運(yùn)行的工藝方案，生產(chǎn)1單需66分鐘每個(gè)月可以多生產(chǎn)64×60/66＝58.18單，每單400片，即23273片硅片。盡管已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以理解在不脫離本發(fā)明的原理和精神的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型，本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。當(dāng)前第1頁12