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一種小型化單巴條端面泵浦脈沖激光器的制作方法

文檔序號(hào):12684900閱讀:650來源:國知局

本發(fā)明涉及一種小型化單巴條端面泵浦脈沖激光器,它廣泛用于激光測(cè)距、照射、成像等領(lǐng)域。



背景技術(shù):

半導(dǎo)體泵浦脈沖激光器是激光測(cè)距、激光照射的核心部件,在許多激光測(cè)距、激光照射應(yīng)用中,要求激光測(cè)距機(jī)、照射器體積小、功耗低、重量輕、免溫控。由于早期半導(dǎo)體巴條功率較低等因素,傳統(tǒng)用于激光測(cè)距、激光照射的半導(dǎo)體泵浦激光器都采用側(cè)面泵浦,側(cè)面泵浦與端面泵浦比較,具有效率低、發(fā)散角大的缺點(diǎn),端面泵浦可通過泵浦光和激光模式的較好的匹配,實(shí)現(xiàn)脈沖激光基模輸出,提高脈沖激光光束質(zhì)量,隨著脈沖半導(dǎo)體巴條功率的提高,單巴條端面泵浦脈沖激光器的輸出能量已經(jīng)可以滿足激光測(cè)距、照射的能量需求,另外,采用單條半導(dǎo)體巴條端面泵浦Nd:KGW激光晶體的技術(shù)方案,利用Nd:KGW激光晶體寬吸收光譜和端面泵浦長(zhǎng)吸收深度的特性,降低對(duì)單條半導(dǎo)體巴條的溫控要求,提高激光器寬溫度范圍工作適應(yīng)性,降低了激光器工作功耗。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明的目的是:為解決傳統(tǒng)激光測(cè)距、激光照射用半導(dǎo)體端面泵浦激光器效率低、發(fā)散角大、必須溫控的問題,特提供一種小型化單巴條端面泵浦脈沖激光器。

本發(fā)明利用Nd:KGW激光晶體寬吸收光譜和端面泵浦長(zhǎng)吸收深度的特性,降低對(duì)單條半導(dǎo)體巴條的溫控要求,提高激光器寬溫度范圍工作適應(yīng)性,降低了激光器工作功耗。由于單條半導(dǎo)體巴條端面泵浦可很好的與激光模式匹配,可實(shí)現(xiàn)激光器高效率、高光束質(zhì)量輸出。

為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提出以下技術(shù)方案:一種小型化單巴條端面泵浦脈沖激光器,該脈沖激光器由單條半導(dǎo)體巴條2、耦合透鏡一3、耦合透鏡二4、激光器后腔鏡5、Nd:KGW激光晶體6、折返角鏡7、偏振片8、電光調(diào)Q開關(guān)9、1/4波片10、激光器輸出鏡11,溫度傳感器12、半導(dǎo)體激光器電源13、電熱棒14、散熱風(fēng)扇15組成。將零部件單條半導(dǎo)體巴條2、耦合透鏡一3、耦合透鏡二4、激光器后腔鏡5、Nd:KGW激光晶體6、折返角鏡7、偏振片8、電光調(diào)Q開關(guān)9、1/4波片10、激光器輸出鏡11沿激光光路依次排列安裝在激光器機(jī)體1上構(gòu)成激光器激光發(fā)生單元,該激光發(fā)生單元用導(dǎo)線連接半導(dǎo)體激光器電源13;溫度傳感器12、電熱棒14、散熱風(fēng)扇15安裝在單條半導(dǎo)體巴條2熱沉上,并用導(dǎo)線分別連接半導(dǎo)體激光器電源13,用于控制單條半導(dǎo)體巴條2的工作溫度;單條半導(dǎo)體巴條2,耦合透鏡一3,耦合透鏡二4依次排列構(gòu)成激光器系統(tǒng);激光器后腔鏡5,Nd:KGW激光晶體6,折返鏡7,電光調(diào)Q開關(guān)9,1/4波片10、激光器輸出鏡11依次排列安裝構(gòu)成激光器諧振腔。半導(dǎo)體激光器電源13為激光器激光發(fā)生單元和溫度傳感器12、電熱棒14、散熱風(fēng)扇15工作提供控制和供電。

折返角鏡7折返光路減小激光器體積,所述激光器激光發(fā)生單元中的偏振片8、電光調(diào)Q開關(guān)9、1/4波片10組成的電光調(diào)Q或者用Cr4+:YAG被動(dòng)調(diào)Q開關(guān)代替,采用Cr4+:YAG被動(dòng)調(diào)Q開關(guān)的激光器諧振腔能除去折返角鏡7,將激光器輸出鏡11前移縮短腔長(zhǎng),便于實(shí)現(xiàn)更短脈沖激光輸出。

所述單條半導(dǎo)體巴條2采用單巴條封裝的準(zhǔn)連續(xù)傳導(dǎo)冷卻808nm波長(zhǎng)泵浦模塊,其功率范圍為0-300W;單條半導(dǎo)體巴條2加裝快軸壓縮,經(jīng)快軸壓縮的單條半導(dǎo)體巴條2快軸發(fā)散角為0.25°(半角),慢軸反三角為8°(半角);耦合透鏡一和耦合透鏡二組成的耦合系統(tǒng)用于整形單條半導(dǎo)體巴條2慢軸,使其激光快軸在Nd:KGW激光晶體6中聚焦,耦合透鏡一3和耦合透鏡二4鍍808nm寬光譜增透膜。單條半導(dǎo)體巴條2封裝在無氧銅熱沉上,當(dāng)熱沉溫度低于25℃時(shí)由電熱棒14將其加熱到25℃以上,當(dāng)熱沉溫度高于60℃時(shí)由散熱風(fēng)扇15將其降溫到50℃以下,控制單條半導(dǎo)體巴條2在25℃-50℃的溫度范圍內(nèi)。

與傳統(tǒng)激光晶體Nd:YAG相比,Nd:KGW具有以下幾個(gè)優(yōu)點(diǎn):在810nm吸收線附近,,Nd:KGW的半寬度為12nm,比Nd:YAG的1.5nm寬得多,更大的吸收截面和更寬的吸收線寬,有利于高效吸收LD抽運(yùn)輻射和降低嚴(yán)格控制LD溫度的要求;晶體摻雜原子數(shù)分?jǐn)?shù)高,到8%時(shí)仍未發(fā)現(xiàn)明顯的濃度猝滅效應(yīng)。所述Nd:KGW激光晶體6采用高摻雜濃度的Nd:KGW激光晶體,采用端面泵浦提高晶體的吸收深度,便于實(shí)現(xiàn)免溫控下激光穩(wěn)定輸出;本發(fā)明采用Nd:KGW激光晶體6,摻雜濃度為2%-5%,b軸切割,尺寸為4×4×30mm,其中4×4mm的兩個(gè)面為端面,端面鍍膜1.06μmHT,795-830nmHT;Nd:KGW晶體6是由銦箔緊密包裹后安裝在紫銅熱沉上,便于Nd:KGW激光晶體6廢熱及時(shí)傳導(dǎo)給熱沉散熱。

激光器后腔鏡5為平面鏡,腔內(nèi)面鍍膜1.06μmHR,795-830nmHT,腔外面鍍膜1.06μm HT,795-830nmHT,激光器后腔鏡5為平面鏡安裝固定在鏡架上,并與Nd:KGW晶體6端面平行。

折返角鏡7由角錐棱鏡加工而成,折返角鏡7的透射面鍍1.06μmHT膜,折返角鏡7的反射面鍍1.06μmHR膜,折返角鏡7的角度加工誤差小于5″。

偏振片8安裝在一個(gè)可繞著光軸旋轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)上,激光器調(diào)試過程中需要旋轉(zhuǎn)偏振片8以實(shí)現(xiàn)與Nd:KGW晶體6偏振方向一致。

激光器電光調(diào)Q開關(guān)9采用RTP電光調(diào)Q開關(guān),RTP電光調(diào)Q開關(guān)溫度適應(yīng)性強(qiáng),滿足高低溫要求,不潮解,開關(guān)電壓低,便于激光器小型化設(shè)計(jì)。

1/4波片10安裝在一個(gè)可繞著光軸旋轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)上,激光器調(diào)試過程中需要旋轉(zhuǎn)1/4波片10實(shí)現(xiàn)激光器最大脈沖能量。

激光器輸出鏡11為平面鏡,腔內(nèi)面鍍膜1.06μm 20%透射,腔外面鍍膜1.06μmHT激光器輸出鏡11安裝固定在鏡架上,鏡面與光軸垂直。

一種小型化單巴條端面泵浦脈沖激光器,調(diào)試中先取出1/4波片10,接通電源,啟動(dòng)單條半導(dǎo)體巴條2,控制其溫度使其中心波長(zhǎng)為808nm,切斷RTP電光調(diào)Q開關(guān),啟動(dòng)半導(dǎo)體激光器電源為單條半導(dǎo)體巴條2供電,單條半導(dǎo)體巴條2輸出200μs泵浦脈沖,調(diào)試激光器后腔鏡5和激光器輸出鏡11使激光發(fā)生單元出射激光能量最大;然后加裝1/4波片10,垂直于激光光軸旋轉(zhuǎn)1/4波片10使激光無輸出,此時(shí)激光處于關(guān)斷狀態(tài);然后打開RTP電光調(diào)Q開關(guān),RTP電光調(diào)Q開關(guān)時(shí)序與單條半導(dǎo)體巴條2泵浦脈沖同步,延遲為200μs,進(jìn)一步調(diào)試激光器后腔鏡5和激光器輸出鏡11獲得脈沖激光輸出;激光器工作過程中半導(dǎo)體激光器電源控制溫度傳感器12、電熱棒14、散熱風(fēng)扇15工作使單條半導(dǎo)體巴條2的輸出波長(zhǎng)工作在808nm附近。

本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明單條半導(dǎo)體巴條在工作時(shí)間內(nèi)的發(fā)射波長(zhǎng)與Nd:KGW激光晶體較寬的吸收譜線相匹配,實(shí)現(xiàn)激光器大溫度范圍的穩(wěn)定工作;本發(fā)明激光器成品體積小、重量輕、可靠性高和效率高,廣泛適用于激光測(cè)距、照射和成像等領(lǐng)域。

附圖說明

圖1、為本小型化單巴條端面泵浦脈沖激光器的結(jié)構(gòu)示意圖

圖中:1、激光器機(jī)體,2、單條半導(dǎo)體巴條,3、耦合透鏡一,4、耦合透鏡二,5、激光器后腔鏡,6、Nd:KGW激光晶體,7、折返角鏡,8、偏振片,9、電光調(diào)Q開關(guān),10、1/4波片,11、激光器輸出鏡,12、溫度傳感器,13、半導(dǎo)體激光器電源,14、電熱棒,15、散熱風(fēng)扇。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明

根據(jù)圖1所示,本發(fā)明提供的一種小型化單巴條端面泵浦脈沖激光器由激光器機(jī)體1、單條半導(dǎo)體巴條2、耦合透鏡一3、耦合透鏡二4、激光器后腔鏡5、Nd:KGW激光晶體6、折返角鏡7、偏振片8、電光調(diào)Q開關(guān)9、1/4波片10、激光器輸出鏡11、溫度傳感器12、半導(dǎo)體激光電源13部件、電熱棒14和散熱風(fēng)扇15構(gòu)成,結(jié)構(gòu)特征是:除激光器機(jī)體1和半導(dǎo)體激光電源13外的部件都安裝在激光器機(jī)體1上,溫度傳感器12、電熱棒14和散熱風(fēng)扇15安裝在單條半導(dǎo)體巴條2熱沉上,用于控制其在設(shè)定的溫度范圍內(nèi)工作,單條半導(dǎo)體巴條2、耦合透鏡一3、耦合透鏡二4依次排列構(gòu)成激光器泵浦系統(tǒng);激光器后腔鏡5、Nd:KGW激光晶體6、折返角鏡7、偏振片8、電光調(diào)Q開關(guān)9、1/4波片10、激光器輸出鏡11沿光路依次排列安裝構(gòu)成激光器諧振腔。

激光器泵浦系統(tǒng)由單條半導(dǎo)體巴條2、耦合透鏡一3、耦合透鏡二4依次排列構(gòu)成,單條半導(dǎo)體巴條2經(jīng)耦合透鏡一3和耦合透鏡二4耦合后在Nd:KGW激光晶體6中聚焦。

所述激光諧振腔自激光器后腔鏡5、Nd:KGW激光晶體6、折返角鏡7、偏振片8、電光調(diào)Q開關(guān)9、1/4波片10、激光器輸出鏡11沿光路依次排列構(gòu)成。其中偏振片8、電光調(diào)Q開關(guān)9、1/4波片組成的電光調(diào)Q也可以由Cr4+:YAG被動(dòng)調(diào)Q開關(guān)代替,采用Cr4+:YAG被動(dòng)調(diào)Q開關(guān)的激光器諧振腔可以省去折返角鏡7,激光器輸出鏡11前移縮短腔長(zhǎng),便于實(shí)現(xiàn)更短脈沖激光輸出。

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