本申請(qǐng)涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，具體地說(shuō)，涉及一種柔性顯示器及其形成方法。

背景技術(shù)：

柔性顯示器是一種制作在柔性載體(也稱為柔性基板)上可折疊或可彎曲的顯示裝置，其以柔性襯底材料為器件的承載基板，要求電極層、tft(thinfilmtransistor，薄膜晶體管)、顯示部件以及封裝層均有一定的彎曲半徑，從而來(lái)實(shí)現(xiàn)全柔性化。由于柔性顯示器具有輕薄便攜、耐沖擊性強(qiáng)的特點(diǎn)，并且具有設(shè)計(jì)美感，對(duì)于其技術(shù)的研究和創(chuàng)新越來(lái)越受到人們的重視。

通常，柔性顯示器彎折時(shí)，包括tft在內(nèi)的多個(gè)功能層會(huì)受到不同程度的拉力或者壓力，而由于例如tft膜層承受壓縮的能力高于承受拉伸的能力，故柔性顯示器在不同彎折方向上的彎折能力(即能夠?qū)崿F(xiàn)的最大可彎曲程度)不同。目前對(duì)于具有兩個(gè)相反彎折方向的柔性顯示器存在的一種問(wèn)題是在一個(gè)彎折方向上達(dá)到或超過(guò)彎折要求，例如具有較強(qiáng)的抗壓縮能力、而在另一個(gè)彎折方向上不滿足彎折要求，例如具有較弱的抗拉伸能力，即存在著一種“抗壓而不抗拉”的問(wèn)題。目前，在柔性顯示器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中，通過(guò)將tft設(shè)置在中性面處，可以減少?gòu)澱蹠r(shí)tft上所承受的拉力和壓力，從而提高tft膜層的抗拉伸和抗壓縮能力，進(jìn)而提升柔性顯示器在不同彎折方向上的彎折能力，但是此種設(shè)計(jì)仍有缺點(diǎn)：首先，tft仍是一個(gè)有厚度的結(jié)構(gòu)，在彎折時(shí)仍會(huì)受到一定的彎折力，例如拉力；其次，在柔性顯示器中可能存在比tft的彎折能力，例如抗拉伸能力更差的膜層，使得需要把中性面設(shè)置在偏離tft的膜層。因此，如何通過(guò)一種新的設(shè)計(jì)來(lái)提升柔性顯示器中例如薄膜晶體管等膜層的抗拉伸能力，亦即抗彎折能力成為現(xiàn)階段亟需解決的技術(shù)問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，本申請(qǐng)有如下技術(shù)方案：

第一方面，本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N柔性顯示器，其特征在于，包括：

第一柔性基板，薄膜晶體管，所述薄膜晶體管包括有源層，所述有源層位于所述第一柔性基板的第一側(cè)；

多個(gè)第二柔性基板，所述第二柔性基板位于所述有源層與所述第一柔性基板之間；

所述有源層包括溝道區(qū)，所述第二柔性基板在所述第一柔性基板所在平面的正投影至少覆蓋所述溝道區(qū)在所述第一柔性基板所在平面的正投影；

所述第一柔性基板的熱膨脹系數(shù)小于所述第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)。

可選地，其中：

所述第二柔性基板在所述第一柔性基板所在平面的正投影與所述有源層在所述第一柔性基板所在平面的正投影完全重疊。

可選地，其中：

在顯示區(qū)內(nèi)，所述第一柔性基板的所述第一側(cè)設(shè)置有，多條沿第一方向排列且沿第二方向延伸的柵極線，多條沿所述第二方向排列且沿所述第一方向延伸的數(shù)據(jù)信號(hào)線；

所述第一方向與所述第二方向交叉，所述柵極線與所述數(shù)據(jù)信號(hào)線絕緣；

設(shè)定相鄰的兩條所述柵極線與相鄰的兩條所述數(shù)據(jù)信號(hào)線之間限定的區(qū)域?yàn)橄袼貐^(qū)域，所述薄膜晶體管位于所述像素區(qū)域內(nèi)，所述像素區(qū)域內(nèi)設(shè)置有多個(gè)所述薄膜晶體管。

可選地，其中：

位于同一個(gè)所述像素區(qū)域內(nèi)的所有所述薄膜晶體管的所述溝道區(qū)在所述第一柔性基板所在平面的正投影被同一個(gè)所述第二柔性基板在所述第一柔性基板所在平面的正投影所覆蓋。

可選地，其中：

所述顯示區(qū)包括多個(gè)所述像素區(qū)域，所述像素區(qū)域在所述顯示區(qū)內(nèi)呈陣列排布；

在所述顯示區(qū)內(nèi)，同一列和/或同一行的所述薄膜晶體管的所述溝道區(qū)在所述第一柔性基板所在平面的正投影被同一個(gè)所述第二柔性基板在所述第一柔性基板所在平面的正投影所覆蓋。

可選地，其中：

所述第一柔性基板的所述第一側(cè)設(shè)置有第一凹槽，所述第二柔性基板設(shè)置于所述第一凹槽內(nèi)。

可選地，其中：

所述第二柔性基板在垂直方向的厚度等于所述第一凹槽的深度。

可選地，其中：

所述第二柔性基板在水平方向的寬度等于所述第一凹槽的寬度。

可選地，其中：

所述第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)比所述第一柔性基板的熱膨脹系數(shù)至少大5ppm/k。

可選地，其中：

所述第一柔性基板的熱膨脹系數(shù)為cte1，1ppm/k≤cte1≤30ppm/k，所述第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)為cte2，10ppm/k≤cte2≤50ppm/k。

可選地，其中：

所述第一柔性基板包括聚酰亞胺、聚醚砜、聚醚酰亞胺、多芳基化合物、聚碳酸酯、聚萘二甲酸乙二醇酯或聚乙烯醚鄰苯二甲酸酯。

可選地，其中：

所述第二柔性基板包括聚酰亞胺、聚醚砜、聚醚酰亞胺、多芳基化合物、聚碳酸酯、聚萘二甲酸乙二醇酯或聚乙烯醚鄰苯二甲酸酯。

可選地，其中：

所述柔性顯示器還包括緩沖層，所述緩沖層位于所述溝道區(qū)與所述第二柔性基板之間；

所述緩沖層的熱膨脹系數(shù)小于所述第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)。

可選地，其中：

所述緩沖層在所述第一柔性基板所在平面的正向投影與所述第二柔性基板在所述第一柔性基板所在平面的正投影完全重疊。

可選地，其中：

所述緩沖層的熱膨脹系數(shù)為cte3，0.5ppm/k≤cte3≤10ppm/k。

可選地，其中：所述第一柔性基板的熱膨脹系數(shù)cte1＝5ppm/k，所述第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)cte2＝15ppm/k，所述緩沖層的熱膨脹系數(shù)cte3＝3ppm/k。

可選地，其中：所述第一柔性基板的厚度為10um，所述第二柔性基板的厚度為5um，所述緩沖層的厚度為1um。

可選地，其中：所述第一柔性基板的厚度為10um，所述第二柔性基板的厚度為10um，所述緩沖層的厚度為1um。

可選地，其中：

所述緩沖層包括siox和/或sinx。

可選地，其中：

所述薄膜晶體管還包括柵極，所述柵極與所述有源層絕緣；

所述柵極位于所述有源層遠(yuǎn)離所述第一柔性基板的一側(cè)；

或者所述柵極位于所述有源層靠近所述第一柔性基板的一側(cè)。

可選地，其中：

所述柔性顯示器為oled顯示器。

可選地，其中：

所述柔性顯示器還包括多個(gè)有機(jī)發(fā)光單元，每個(gè)所述有機(jī)發(fā)光單元包括由上至下依次設(shè)置的陰極層、有機(jī)發(fā)光材料層和陽(yáng)極層；

所述薄膜晶體管與所述陽(yáng)極層電連接。

第二方面，本申請(qǐng)還提供一種上述柔性顯示器的形成方法，其特征在于，包括:

采用打印或者涂覆的方式形成第一柔性基板；

在所述第一柔性基板上采用打印或黃光微影制程形成第二柔性基板，所述第一柔性基板的熱膨脹系數(shù)小于所述第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)；

在所述第二柔性基板上形成薄膜晶體管，所述薄膜晶體管包括有源層，所述有源層包括溝道區(qū)，所述溝道區(qū)在所述第一柔性基板所在平面的正投影被所述第二柔性基板在所述第一柔性基板所在平面的正投影覆蓋。

可選地，其中：

在所述第二柔性基板上形成的所述薄膜晶體管的所述有源層在所述第一柔性基板所在平面的正投影與所述第二柔性基板在所述第一柔性基板所在平面的正投影完全重疊。

可選地，其中：

在形成所述薄膜晶體管前，在所述第一柔性基板上還形成有多條沿第一方向排列且沿第二方向延伸的柵極線；

在形成所述薄膜晶體管后，在所述第一柔性基板上還形成有多條沿所述第二方向排列且沿所述第一方向延伸的數(shù)據(jù)信號(hào)線；

所述第一方向與所述第二方向交叉，所述柵極線與所述數(shù)據(jù)信號(hào)線絕緣；

設(shè)定相鄰的兩條所述柵極線與相鄰的兩條所述數(shù)據(jù)信號(hào)線之間限定的區(qū)域?yàn)橄袼貐^(qū)域，所述薄膜晶體管位于所述像素區(qū)域內(nèi)，所述像素區(qū)域內(nèi)設(shè)置有多個(gè)所述薄膜晶體管。

可選地，其中：

在所述第一柔性基板上同一個(gè)所述像素區(qū)域內(nèi)形成的所有所述薄膜晶體管的所述溝道區(qū)在所述第一柔性基板所在平面的正投影被同一個(gè)所述第二柔性基板在所述第一柔性基板所在平面的正投影所覆蓋。

可選地，其中：

在所述第一柔性基板上形成有多個(gè)所述像素區(qū)域，所述像素區(qū)域呈陣列排布；

在第一柔性基板上，同一列和/或同一行的所述薄膜晶體管的所述溝道區(qū)在所述第一柔性基板所在平面的正投影被同一個(gè)所述第二柔性基板在所述第一柔性基板所在平面的正投影所覆蓋。

可選地，其中：

在采用打印或黃光微影制程形成所述第二柔性基板之前，在所述第一柔性基板上通過(guò)刻蝕形成有第一凹槽，所述第二柔性基板形成于所述第一凹槽內(nèi)。

可選地，其中：

在所述第一凹槽內(nèi)采用打印或黃光微影制程形成的所述第二柔性基板在垂直方向的厚度等于所述第一凹槽的深度。

可選地，其中：

在所述第一凹槽內(nèi)采用打印或黃光微影制程形成的所述第二柔性基板在水平方向的寬度等于所述第一凹槽的寬度。

可選地，其中：

在所述第一柔性基板上采用打印或黃光微影制程形成的第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)比采用打印或者涂覆的方式形成的第一柔性基板的熱膨脹系數(shù)至少大5ppm/k。

可選地，其中：

采用打印或者涂覆的方式形成的第一柔性基板的熱膨脹系數(shù)為cte1，1ppm/k≤cte1≤30ppm/k，在所述第一柔性基板上采用打印或黃光微影制程形成的第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)為cte2，10ppm/k≤cte2≤50ppm/k。

可選地，其中：

采用打印或者涂覆的方式形成的第一柔性基板包括聚酰亞胺、聚醚砜、聚醚酰亞胺、多芳基化合物、聚碳酸酯、聚萘二甲酸乙二醇酯或聚乙烯醚鄰苯二甲酸酯。

可選地，其中：

在所述第一柔性基板上采用打印或黃光微影制程形成的第二柔性基板包括聚酰亞胺、聚醚砜、聚醚酰亞胺、多芳基化合物、聚碳酸酯、聚萘二甲酸乙二醇酯或聚乙烯醚鄰苯二甲酸酯。

可選地，其中：

在所述第二柔性基板上形成所述薄膜晶體管之前，在所述第二柔性基板上形成緩沖層，所述緩沖層位于所述溝道區(qū)與所述第二柔性基板之間；

所述緩沖層的熱膨脹系數(shù)小于所述第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)。

可選地，其中：

在所述第二柔性基板上形成的所述緩沖層在所述第一柔性基板所在平面的正投影與所述第二柔性基板在所述第一柔性基板所在平面的正投影完全重疊。

可選地，其中：

在所述第二柔性基板上形成的所述緩沖層的熱膨脹系數(shù)為cte3，0.5ppm/k≤cte3≤10ppm/k。

可選地，其中：

在所述第二柔性基板上形成的所述緩沖層包括siox和/或sinx。

本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器及其形成方法中，在第一柔性基板和有源層之間引入了第二柔性基板，且第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)大于第一柔性基板的熱膨脹系數(shù)，在高溫環(huán)境下形成薄膜晶體管等功能膜層的過(guò)程中，第一柔性基板和第二柔性基板都會(huì)相應(yīng)膨脹，且第二柔性基板的膨脹趨勢(shì)要比第一柔性基板的膨脹趨勢(shì)更加明顯；在成膜結(jié)束、溫度從較高溫度恢復(fù)至使用溫度或室溫后，相當(dāng)于溫度降低，第一柔性基板和第二柔性基板均有收縮的趨勢(shì)，由于第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)大于第一柔性基板的熱膨脹系數(shù)，第二柔性基板的收縮趨勢(shì)將大于第一柔性基板的收縮趨勢(shì)，因此在使用溫度或室溫條件下，第二柔性基板將會(huì)對(duì)在其上設(shè)置的包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生一定的壓縮量，而由于第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)大于第一柔性基板的熱膨脹系數(shù)，第二柔性基板對(duì)包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生的壓縮量將大于不設(shè)置第二柔性基板時(shí)第一柔性基板對(duì)包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生的壓縮量。在柔性顯示器受到與其功能膜層所受的壓力方向不同的彎折力，即，使相關(guān)功能膜層具有拉伸趨勢(shì)的彎折力時(shí)，薄膜晶體管等多個(gè)膜層上具有的壓縮量將會(huì)對(duì)其相應(yīng)的拉伸趨勢(shì)進(jìn)行抵消，從而提高柔性顯示器中包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層的抗拉伸能力。因此，本申請(qǐng)通過(guò)引入第二柔性基板，增加了對(duì)包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層所產(chǎn)生的壓縮量，提高了柔性顯示器包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層的抗拉伸能力亦即抗彎折能力，可有效降低柔性顯示器中包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層由于外界彎折力(例如拉力)過(guò)大而發(fā)生損壞的可能。

附圖說(shuō)明

此處所說(shuō)明的附圖用來(lái)提供對(duì)本申請(qǐng)的進(jìn)一步理解，構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分，本申請(qǐng)的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本申請(qǐng)，并不構(gòu)成對(duì)本申請(qǐng)的不當(dāng)限定。在附圖中：

圖1為本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器的截面的第一種結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器的截面的第二種結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器的第一種俯視圖；

圖4為本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器中一個(gè)像素區(qū)域的一種電路圖；

圖5為本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器中一個(gè)像素區(qū)域的一種像素示意圖；

圖6為圖5所示像素示意圖的c-c剖面圖；

圖7為圖5所示像素示意圖的d-d剖面圖；

圖8為本申請(qǐng)申請(qǐng)所提供的柔性顯示器中一個(gè)像素區(qū)域的另一種像素示意圖；

圖9為本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器的第二種俯視圖；

圖10為圖9所示俯視圖的e-e剖面圖；

圖11為本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器的第三種俯視圖；

圖12為圖11所示俯視圖的f-f剖面圖；

圖13為本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器的第四種俯視圖；

圖14為圖13所示俯視圖的g-g剖面圖；

圖15為圖13所示俯視圖的h-h剖面圖；

圖16為本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器的截面的第三種結(jié)構(gòu)示意圖；

圖17為本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器包括緩沖層時(shí)的截面的第一種結(jié)構(gòu)示意圖；

圖18為本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器包括緩沖層時(shí)的截面的第二種結(jié)構(gòu)示意圖；

圖19為本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器的截面的第四種結(jié)構(gòu)示意圖；

圖20為本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器包括有機(jī)發(fā)光單元的一種結(jié)構(gòu)示意圖；

圖21為本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器的形成方法的一種流程圖；

圖22為本申請(qǐng)涂覆形成的第一柔性基板的截面的一種結(jié)構(gòu)示意圖；

圖23為本申請(qǐng)?jiān)诘谝蝗嵝曰迳闲纬傻诙嵝曰宓慕孛娴囊环N結(jié)構(gòu)示意圖；

圖24為本申請(qǐng)?jiān)诘诙嵝曰迳闲纬杀∧ぞw管的截面的第一種結(jié)構(gòu)示意圖；

圖25為采用本申請(qǐng)所提供的方法形成的柔性顯示器的截面的第二種結(jié)構(gòu)示意圖；

圖26為本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器的形成方法中在第一柔性基板上形成柵極線的示意圖；

圖27為本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器的形成方法中在第一柔性基板上形成薄膜晶體管和數(shù)據(jù)信號(hào)線的3*3矩陣的第一種俯視圖；

圖28為采用本申請(qǐng)所提供的方法形成的柔性顯示器中一個(gè)像素區(qū)域的一種電路圖；

圖29為采用本申請(qǐng)所提供的方法形成的柔性顯示器中一個(gè)像素區(qū)域的一種像素示意圖；

圖30為圖29所示像素示意圖的c-c剖面圖；

圖31為圖29所示像素示意圖的d-d剖面圖；

圖32為采用本申請(qǐng)所提供的方法形成的柔性顯示器中一個(gè)像素區(qū)域的另一種像素示意圖；

圖33為采用本申請(qǐng)所提供的方法形成的柔性顯示器的3*3矩陣的第二種俯視圖；

圖34為圖33所示俯視圖的e-e剖面圖；

圖35為采用本申請(qǐng)所提供的方法形成的柔性顯示器的3*3矩陣的第三種俯視圖；

圖36為圖35所示俯視圖的f-f剖面圖；

圖37為采用本申請(qǐng)所提供的方法形成的柔性顯示器的3*3矩陣的第四種俯視圖；

圖38為圖37所示俯視圖的g-g剖面圖；

圖39為圖37所示俯視圖的h-h剖面圖；

圖40為本申請(qǐng)所提供的方法中在第一柔性基板上形成第一凹槽的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖41為本申請(qǐng)所提供的方法中在第一凹槽中形成第二柔性基板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖42為采用本申請(qǐng)所提供的方法所形成的柔性顯示器的截面的第三種結(jié)構(gòu)示意圖；

圖43為采用本申請(qǐng)所提供的方法形成的第一柔性基板的第一凹槽和第二柔性基板的尺寸示意圖；

圖44為采用本申請(qǐng)所提供的方法形成包括緩沖層的柔性顯示器的截面的第一種結(jié)構(gòu)示意圖；

圖45為采用本申請(qǐng)所提供的方法形成包括緩沖層的柔性顯示器的截面的第二種結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

如在說(shuō)明書(shū)及權(quán)利要求當(dāng)中使用了某些詞匯來(lái)指稱特定組件。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)可理解，硬件制造商可能會(huì)用不同名詞來(lái)稱呼同一個(gè)組件。本說(shuō)明書(shū)及權(quán)利要求并不以名稱的差異來(lái)作為區(qū)分組件的方式，而是以組件在功能上的差異來(lái)作為區(qū)分的準(zhǔn)則。如在通篇說(shuō)明書(shū)及權(quán)利要求當(dāng)中所提及的“包含”為一開(kāi)放式用語(yǔ)，故應(yīng)解釋成“包含但不限定于”?！按笾隆笔侵冈诳山邮艿恼`差范圍內(nèi)，本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠在一定誤差范圍內(nèi)解決所述技術(shù)問(wèn)題，基本達(dá)到所述技術(shù)效果。此外，“耦接”一詞在此包含任何直接及間接的電性耦接手段。因此，若文中描述一第一裝置耦接于一第二裝置，則代表所述第一裝置可直接電性耦接于所述第二裝置，或通過(guò)其他裝置或耦接手段間接地電性耦接至所述第二裝置。說(shuō)明書(shū)后續(xù)描述為實(shí)施本申請(qǐng)的較佳實(shí)施方式，然所述描述乃以說(shuō)明本申請(qǐng)的一般原則為目的，并非用以限定本申請(qǐng)的范圍。本申請(qǐng)的保護(hù)范圍當(dāng)視所附權(quán)利要求所界定者為準(zhǔn)。

第一方面，本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N柔性顯示器，圖1為本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器的截面的第一種結(jié)構(gòu)示意圖，該柔性顯示器100包括：

第一柔性基板10，薄膜晶體管30，薄膜晶體管30包括有源層31，有源層31位于第一柔性基板10的第一側(cè)；

多個(gè)第二柔性基板20，第二柔性基板20位于有源層31與第一柔性基板10之間；

有源層31包括溝道區(qū)32，第二柔性基板20在第一柔性基板10所在平面的正投影至少覆蓋溝道區(qū)32在第一柔性基板10所在平面的正投影；

第一柔性基板10的熱膨脹系數(shù)小于第二柔性基板20的熱膨脹系數(shù)。

圖1所示實(shí)施例中，在第一柔性基板10和有源層31之間引入了第二柔性基板20，且第二柔性基板20的熱膨脹系數(shù)大于第一柔性基板10的熱膨脹系數(shù)，在高溫環(huán)境下形成薄膜晶體管30等功能膜層的過(guò)程中，第一柔性基板10和第二柔性基板20都會(huì)相應(yīng)膨脹，且第二柔性基板20的膨脹趨勢(shì)要比第一柔性基板10的膨脹趨勢(shì)更加明顯；在成膜結(jié)束、溫度從較高溫度恢復(fù)至使用溫度或室溫后，相當(dāng)于溫度降低，第一柔性基板10和第二柔性基板20均有收縮的趨勢(shì)，由于第二柔性基板20的熱膨脹系數(shù)大于第一柔性基板10的熱膨脹系數(shù)，第二柔性基板20的收縮趨勢(shì)將大于第一柔性基板10的收縮趨勢(shì)，因此在使用溫度或室溫條件下，第二柔性基板10將會(huì)對(duì)在其上設(shè)置的包括薄膜晶體管30在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生一定的a-a向的壓縮量，而由于第二柔性基板20的熱膨脹系數(shù)大于第一柔性基板10的熱膨脹系數(shù)，第二柔性基板20對(duì)包括薄膜晶體管30在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生的壓縮量將大于不設(shè)置第二柔性基板時(shí)第一柔性基板10對(duì)包括薄膜晶體管30在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生的壓縮量。在柔性顯示器100受到與其功能膜層所受的壓力方向不同的彎折力，即，使相關(guān)功能膜層具有拉伸趨勢(shì)的彎折力，例如受到圖1中b-b向的彎折力時(shí)，第二柔性基板20對(duì)薄膜晶體管30等多個(gè)膜層產(chǎn)生的a-a向的壓縮量將會(huì)對(duì)其相應(yīng)的拉伸趨勢(shì)進(jìn)行抵消，從而提高柔性顯示器中包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層的抗拉伸能力，而第二柔性基板20在第一柔性基板10所在平面的正投影至少覆蓋溝道區(qū)32在第一柔性基板10所在平面的正投影，能夠至少保證有源層31中的關(guān)鍵組成部分溝道區(qū)32具有較強(qiáng)的抗拉伸能力。因此，本申請(qǐng)通過(guò)引入第二柔性基板，增加了對(duì)包括有源層的溝道區(qū)在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生的壓縮量，提高了柔性顯示器包括有源層的溝道區(qū)在內(nèi)的多個(gè)功能膜層的抗拉伸能力亦即抗彎折能力，可有效降低柔性顯示器中包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層由于外界彎折力(例如拉力)過(guò)大而發(fā)生損壞的可能。需要說(shuō)明的是，本申請(qǐng)中第二柔性基板對(duì)包括有源層的溝道區(qū)在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生的壓縮量的大小并不會(huì)超過(guò)包括有源層的溝道區(qū)在內(nèi)的多個(gè)功能膜層的抗壓縮能力范圍上限，采用本申請(qǐng)實(shí)施例所提供的技術(shù)方案后包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層仍能夠滿足抗壓縮彎折要求。對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)中的那些抗壓而不抗拉的柔性顯示器件可通過(guò)本申請(qǐng)實(shí)施例所提供的技術(shù)方案，提升相關(guān)功能層，例如薄膜晶體管膜層的抗拉伸能力，在具有抗壓縮能力的同時(shí)提升其抗拉伸能力，進(jìn)而提柔性顯示器件的抗彎折能力。需要說(shuō)明的是，圖1所示實(shí)施例中第一柔性基板10上還可以設(shè)置層間絕緣層37。

可選地，圖2為本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器的截面的第二種結(jié)構(gòu)示意圖。圖2所示實(shí)施例中，第二柔性基板20在第一柔性基板10所在平面的正投影與有源層31在第一柔性基板10所在平面的正投影完全重疊。

具體地，如圖2所示，將第二柔性基板20的大小設(shè)計(jì)的與有源層31的大小相同，在涂布完第一柔性基板10和第二柔性基板20的基材后，去除有源層31正下方以外區(qū)域的第二柔性基板的基材即可形成第二柔性基板20，通過(guò)有源層31的尺寸即可確定第二柔性基板20的尺寸，無(wú)需再通過(guò)其他方法來(lái)確認(rèn)第二柔性基板的20的尺寸，此種方式有利于簡(jiǎn)化制程。另外，考慮到第二柔性基板20的熱膨脹系數(shù)大于第一柔性基板10的熱膨脹系數(shù)，將有源層31正下方以外區(qū)域的第二柔性基板20的基材去除，僅保留有源層31正下方的第二柔性基板20，使得在使用溫度或室溫下，第二柔性基板20在收縮過(guò)程中對(duì)設(shè)置在其上的例如薄膜晶體管30產(chǎn)生的a-a向壓縮量達(dá)到最大，如此，在柔性顯示器100受到與a-a向壓縮量方向不同的彎折力時(shí)，a-a向的壓縮量將會(huì)對(duì)該彎折力所產(chǎn)生的拉伸趨勢(shì)進(jìn)行抵消，從而提高柔性顯示器包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層的抗拉伸能力亦即抗彎折能力，有效降低柔性顯示器中包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層由于外界彎折力(例如拉力)過(guò)大而發(fā)生損壞的可能。而且，將第二柔性基板20在第一柔性基板10所在平面的正投影設(shè)計(jì)得與有源層31在第一柔性基板10所在平面的正投影完全重疊，在有效提升薄膜晶體30包括溝道區(qū)32在內(nèi)的整體抗拉伸能力的同時(shí)，能夠有效避免當(dāng)采用較大面積的第二柔性基板20時(shí)，第二柔性基板20在使用溫度或室溫下收縮而導(dǎo)致出現(xiàn)邊緣上翹的現(xiàn)象。

可選地，圖3為本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器的第一種俯視圖，該俯視圖中示出了柔性顯示器中3*3矩陣的一種俯視圖，本申請(qǐng)中的柔性顯示器100包括顯示區(qū)和圍繞顯示區(qū)的非顯示區(qū)，薄膜晶體管位于顯示區(qū)內(nèi)。在顯示區(qū)內(nèi)，參見(jiàn)圖3，第一柔性基板(未示出)的第一側(cè)設(shè)置有多條沿第一方向排列且沿第二方向延伸的柵極線41，多條沿第二方向排列且沿第一方向延伸的數(shù)據(jù)信號(hào)線42；第一方向與第二方向交叉，柵極線41與數(shù)據(jù)信號(hào)線42絕緣；設(shè)定相鄰的兩條柵極線41與相鄰的兩條數(shù)據(jù)信號(hào)線42之間限定的區(qū)域?yàn)橄袼貐^(qū)域43，薄膜晶體管位于像素區(qū)域43內(nèi)，每個(gè)像素區(qū)域內(nèi)可設(shè)置多個(gè)薄膜晶體管，圖3中每個(gè)像素區(qū)域內(nèi)設(shè)置有兩個(gè)薄膜晶體管，分別是開(kāi)關(guān)薄膜晶體管61和驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管62。

對(duì)于圖3中每個(gè)像素區(qū)域43內(nèi)薄膜晶體管的連接方式及具體構(gòu)成請(qǐng)參見(jiàn)圖4和圖5，圖4為本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器中一個(gè)像素區(qū)域的一種電路圖，圖5為本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器中一個(gè)像素區(qū)域的一種像素示意圖。從圖3、圖4和圖5所示實(shí)施例可看出，像素區(qū)域43由柵極線41和數(shù)據(jù)信號(hào)線42交叉界定，像素區(qū)域43內(nèi)還包括與數(shù)據(jù)信號(hào)線42平行布置的電源線44，電源線44與數(shù)據(jù)信號(hào)線42絕緣，電源線44用于提供供電電壓。每個(gè)像素區(qū)域43包括開(kāi)關(guān)薄膜晶體管61、驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管62、存儲(chǔ)電容c1和有機(jī)發(fā)光二極管o。開(kāi)關(guān)薄膜晶體管61的柵極與柵極線41電連接，源極與數(shù)據(jù)信號(hào)線42電連接，漏極與驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管62的柵極電連接，驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管62的柵極與電源線44之間還設(shè)置有存儲(chǔ)電容c1；驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管62的源極電連接電源線44，驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管62的漏極電連接有機(jī)發(fā)光二極管o中的像素電極71。電源線44將供電電壓提供給有機(jī)發(fā)光二極管o。

圖4和圖5所示實(shí)施例中，當(dāng)通過(guò)柵極線41施加的選通信號(hào)使開(kāi)關(guān)薄膜晶體管61導(dǎo)通時(shí)，來(lái)自數(shù)據(jù)信號(hào)線42的數(shù)據(jù)信號(hào)被施加到驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管62的柵極和存儲(chǔ)電容c1。當(dāng)數(shù)據(jù)信號(hào)使驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管62導(dǎo)通時(shí)，電流從電源線44被供應(yīng)給有機(jī)發(fā)光二極管o，使有機(jī)發(fā)光二極管o發(fā)光。在這種情況下，當(dāng)驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管62導(dǎo)通時(shí)，從電源線44施加到有機(jī)發(fā)光二極管o的電流的電平被確定為使得有機(jī)發(fā)光二極管o可生成灰度的電平。存儲(chǔ)電容c1用于在開(kāi)關(guān)薄膜晶體管61截止時(shí)維持驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管62的柵極的電壓。因此，即使開(kāi)關(guān)薄膜晶體管61截止，也能維持從電源線44施加到有機(jī)發(fā)光二極管o的電流的電平直至下一幀。

圖6為圖5所示像素示意圖的c-c剖面圖，圖7為圖5所示像素示意圖的d-d剖面圖。從圖6和圖7所示實(shí)施例可看出，開(kāi)關(guān)薄膜晶體管61和驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管62的溝道區(qū)32和32'在第一柔性基板10所在平面的正投影分別被兩個(gè)第二柔性基板(分別為第二柔性基板205和第二柔性基板206)在第一柔性基板10所在平面的正投影覆蓋。從圖6和圖7所示實(shí)施例可看出，開(kāi)關(guān)薄膜晶體管61的源極36與數(shù)據(jù)信號(hào)線42電連接，開(kāi)關(guān)薄膜晶體管61的漏極35與電容c1和驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管62的柵極33’電連接，驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管62的源極36’與電源線44電連接。

可選地，圖8為本申請(qǐng)申請(qǐng)所提供的柔性顯示器中一個(gè)像素區(qū)域的另一種像素示意圖，從圖8所示實(shí)施例可看出，本申請(qǐng)中位于同一個(gè)像素區(qū)域內(nèi)的所有薄膜晶體管的溝道區(qū)32在第一柔性基板所在平面的正投影被同一個(gè)第二柔性基板20在第一柔性基板所在平面的正投影所覆蓋。

具體地，位于同一個(gè)像素區(qū)域內(nèi)的所有薄膜晶體管對(duì)應(yīng)一個(gè)第二柔性基板20，這些薄膜晶體管的溝道區(qū)32在第一柔性基板所在平面的正投影不超出對(duì)應(yīng)的第二柔性基板20在第一柔性基板所在平面的正投影所限定的范圍。采用如此結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，使得位于同一個(gè)像素區(qū)域內(nèi)的所有薄膜晶體管共用一個(gè)第二柔性基板，避免了為每個(gè)薄膜晶體管單獨(dú)設(shè)計(jì)一個(gè)第二柔性基板時(shí)的繁瑣工序，有利于簡(jiǎn)化柔性顯示器的制程。

可選地，圖9為本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器的第二種俯視圖，圖10為圖9所示俯視圖的e-e剖面圖。從圖9和圖10所示實(shí)施例可看出，本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器中的顯示區(qū)包括多個(gè)像素區(qū)域43，各像素區(qū)域43在顯示區(qū)內(nèi)呈陣列排布；在顯示區(qū)內(nèi)，同一列的薄膜晶體管的溝道區(qū)在第一柔性基板所在平面的正投影被同一個(gè)第二柔性基板201在第一柔性基板所在平面的正投影所覆蓋，參見(jiàn)圖10。也就是說(shuō)，位于同一列的所有薄膜晶體管共用一個(gè)第二柔性基板，例如圖9中位于同一列的開(kāi)關(guān)薄膜晶體管611、612和613的溝道區(qū)32、32'和32”共用同一個(gè)第二柔性基板201。同一列的所有薄膜晶體管共用一個(gè)第二柔性基板的方式，大大減小了柔性顯示器中第二柔性基板的數(shù)量，無(wú)需為每個(gè)薄膜晶體管單獨(dú)設(shè)置一個(gè)對(duì)應(yīng)的第二柔性基板，簡(jiǎn)化了生產(chǎn)工藝，有利于減少柔性顯示器生產(chǎn)過(guò)程中的制程，提高柔性顯示器的生產(chǎn)效率。

圖11為本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器的第三種俯視圖，圖12為圖11所示俯視圖的f-f剖面圖。從圖11和圖12所示實(shí)施例可看出，在顯示區(qū)內(nèi)，同一行的薄膜晶體管的溝道區(qū)在第一柔性基板所在平面的正投影被同一個(gè)第二柔性基板在第一柔性基板所在平面的正投影所覆蓋。也就是說(shuō)，位于同一行的所有薄膜晶體管共用同一個(gè)第二柔性基板，例如圖11中位于同一行的開(kāi)關(guān)薄膜晶體管611、612和613的溝道區(qū)32、32'和32”共用同一個(gè)第二柔性基板202。同一行的所有薄膜晶體管共用一個(gè)第二柔性基板的方式，大大減小了柔性顯示器中第二柔性基板的數(shù)量，無(wú)需為每個(gè)薄膜晶體管單獨(dú)設(shè)置一個(gè)對(duì)應(yīng)的第二柔性基板，簡(jiǎn)化了生產(chǎn)工藝，有利于減少柔性顯示器生產(chǎn)過(guò)程中的制程，提高柔性顯示器的生產(chǎn)效率。

圖13為本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器的第四種俯視圖，圖14為圖13所示俯視圖的g-g剖面圖，圖15為圖13所示俯視圖的h-h剖面圖。從圖13-15所示實(shí)施例可看出，在顯示區(qū)內(nèi)，所有開(kāi)關(guān)薄膜晶體管61和所有驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管62的溝道區(qū)32在第一柔性基板所在平面的正投影被同一個(gè)第二柔性基板203在第一柔性基板所在平面的正投影所覆蓋。也就是說(shuō)，顯示區(qū)內(nèi)的所有薄膜晶體管共用同一個(gè)第二柔性基板203，此種方式進(jìn)一步減小了柔性顯示器中第二柔性基板的數(shù)量，只需制作一個(gè)第二柔性基板203即可，無(wú)需為每個(gè)薄膜晶體管單獨(dú)設(shè)置一個(gè)對(duì)應(yīng)的第二柔性基板，大大簡(jiǎn)化了生產(chǎn)工藝，減少了柔性顯示器的生產(chǎn)過(guò)程中的制程，大大提高了柔性顯示器的生產(chǎn)效率。

可選地，圖16為本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器的截面的第三種結(jié)構(gòu)示意圖，從圖16所示實(shí)施例可看出，第一柔性基板10的第一側(cè)設(shè)置有第一凹槽11，第二柔性基板20設(shè)置于第一凹槽11內(nèi)。

具體地，如圖16所示，在第一柔性基板10上設(shè)置第一凹槽11，將第二柔性基板20設(shè)置于第一凹槽11內(nèi)，采用此種設(shè)計(jì)，將第二柔性基板20的形成過(guò)程限定在第一凹槽11內(nèi)，無(wú)需考慮其他位置及尺寸的因素，節(jié)省工藝，還便于設(shè)置在其表面的其他膜層的形成。此外，在第一柔性基板10的凹槽11內(nèi)設(shè)置第二柔性基板12，且第二柔性基板20的熱膨脹系數(shù)大于第一柔性基板10的熱膨脹系數(shù)，在高溫環(huán)境下在第二柔性基板20表面形成薄膜晶體管等膜層的過(guò)程中，第一柔性基板10和第二柔性基板20都會(huì)相應(yīng)膨脹，且第二柔性基板20的膨脹趨勢(shì)要比第一柔性基板10的膨脹趨勢(shì)更加明顯；在成膜結(jié)束、溫度從較高溫度恢復(fù)至使用溫度或室溫后，相當(dāng)于溫度降低，第一柔性基板10和第二柔性基板20均有收縮的趨勢(shì)，由于第二柔性基板20的熱膨脹系數(shù)大于第一柔性基板10的熱膨脹系數(shù)，第二柔性基板20的收縮趨勢(shì)將大于第一柔性基板10的收縮趨勢(shì)，因此在使用溫度或室溫條件下，第二柔性基板10將會(huì)對(duì)在其表面上設(shè)置的包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生一定的a-a向的壓縮量，由于第二柔性基板20的熱膨脹系數(shù)大于第一柔性基板10的熱膨脹系數(shù)，第二柔性基板20對(duì)包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生的壓縮量將大于不設(shè)置第二柔性基板20時(shí)第一柔性基板10對(duì)包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生的壓縮量。在柔性顯示器100受到與其功能膜層所受的壓力方向不同的彎折力即，使相關(guān)功能膜層具有拉伸趨勢(shì)的彎折力，例如受到圖16中b-b向的彎折力時(shí)，第二柔性基板20對(duì)薄膜晶體管30等多個(gè)膜層產(chǎn)生的a-a向的壓縮量將會(huì)對(duì)其相應(yīng)的拉伸趨勢(shì)進(jìn)行抵消，從而提高柔性顯示器中包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層的抗拉伸能力。因此，本申請(qǐng)通過(guò)引入第二柔性基板，增加了對(duì)包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生的壓縮量，提高了柔性顯示器包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層的抗拉伸能力亦即抗彎折能力，可有效降低柔性顯示器中包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層由于外界彎折力過(guò)大而發(fā)生損壞的可能。

可選地，參見(jiàn)圖16，本申請(qǐng)中第二柔性基板20在垂直方向即第一基板10所在平面法線方向上的厚度h1等于第一凹槽11的深度，以使得第二柔性基板20的表面和第一柔性基板10的表面處于同一水平面，此種方式更加有利于在第二柔性基板20表面形成其他的膜層。需要說(shuō)明的是，此處所說(shuō)的第二柔性基板在垂直方向的厚度h1指的是在制作完成第一柔性基板和第二柔性基板后、尚未在第二柔性基板上形成包括薄膜晶體管在內(nèi)的其他膜層時(shí)第二柔性基板在垂直方向的厚度。

可選地，請(qǐng)繼續(xù)參見(jiàn)圖16，本申請(qǐng)中第二柔性基板20在水平方向的寬度d1等于第一凹槽11的寬度。

具體地，將第二柔性基板20在水平方向的寬度設(shè)計(jì)的與第一凹槽11的寬度相等，即第二柔性基板20在水平方向上與第一凹槽11的垂直截面具有相同的寬度，在形成第二柔性基板20的過(guò)程中，無(wú)需考慮第二柔性基板20的具體寬度要求，只要按照第一凹槽11所限制的空間范圍進(jìn)行涂布即可，簡(jiǎn)化了制作工藝。需要說(shuō)明的是，此處所說(shuō)的第二柔性基板在水平方向的寬度d1指的是在制作完成第一柔性基板和第二柔性基板后、尚未在第二柔性基板上形成包括薄膜晶體管在內(nèi)的其他膜層時(shí)第二柔性基板在水平方向的寬度。

可選地，如圖16所示，第二柔性基板20在垂直方向即第一基板10所在平面法線方向上的厚度h1等于第一凹槽11的深度，第二柔性基板20在水平方向的寬度d1等于第一凹槽11的寬度即第二柔性基板20在水平方向上與第一凹槽11的垂直截面具有相同的寬度。需要說(shuō)明的是，此處所說(shuō)的第二柔性基板在垂直方向的厚度以及在水平方向的寬度指的是在制作完成第一柔性基板和第二柔性基板后、尚未在第二柔性基板上形成包括薄膜晶體管在內(nèi)的其他膜層時(shí)第二柔性基板在垂直方向的厚度以及在水平方向的寬度。此種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，使得第一凹槽11所限定的區(qū)域正好為第二柔性基板20所處的區(qū)域，在涂覆第二柔性基板20的過(guò)程中，只需在第一凹槽所限定的區(qū)域中形成第二柔性基板20即可，無(wú)需再考慮其他尺寸，簡(jiǎn)化了第二柔性基板20的制程，而且還能使得第二柔性基板20和第一柔性基板10共同形成了一個(gè)完整的平面，在一個(gè)完整的平面上形成其他膜層的方式有利于簡(jiǎn)化生產(chǎn)工藝，提高本申請(qǐng)柔性顯示器100的生產(chǎn)效率。

可選地，本申請(qǐng)中第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)比第一柔性基板的熱膨脹系數(shù)至少大5ppm/k。

具體地，在本申請(qǐng)中，第一柔性基板和第二柔性基板上包括薄膜晶體管中的有源層在內(nèi)的等多個(gè)功能膜層在形成時(shí)會(huì)經(jīng)歷一個(gè)從“室溫加熱到高溫，由高溫冷卻再到室溫”的過(guò)程，其中，在從室溫加熱到高溫時(shí)，第一柔性基板和第二柔性基板均會(huì)膨脹，而從較高溫度冷卻至室溫時(shí)，第一柔性基板和第二柔性基板均會(huì)收縮。當(dāng)設(shè)計(jì)第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)比第一柔性基板的熱膨脹系數(shù)至少大5ppmk時(shí)，第二柔性基板的收縮趨勢(shì)將會(huì)比第一柔性基板的收縮趨勢(shì)更加明顯，因此第二柔性基板對(duì)其上設(shè)置的包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生的收縮量將比不設(shè)置第二柔性基板時(shí)第一柔性基板對(duì)包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生的收縮量更加明顯。因此，當(dāng)柔性顯示器受到使其具有拉伸趨勢(shì)的的彎折力時(shí)，薄膜晶體管等多個(gè)膜層上具有的壓縮量將會(huì)對(duì)其相應(yīng)的拉伸趨勢(shì)進(jìn)行抵消，從而提高柔性顯示器中包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層的抗拉伸能力。因此，本申請(qǐng)通過(guò)設(shè)計(jì)第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)比第一柔性基板的熱膨脹系數(shù)至少大5ppmk，能夠明顯增加對(duì)包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層所產(chǎn)生的壓縮量，明顯提高柔性顯示器包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層的抗拉伸能力亦即抗彎折能力，同時(shí)可明顯有效降低柔性顯示器中包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層由于外界彎折力(例如拉力)過(guò)大而發(fā)生損壞的可能。

可選地，本申請(qǐng)中第一柔性基板的熱膨脹系數(shù)為cte1，1ppm/k≤cte1≤30ppm/k，第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)為cte2，10ppm/k≤cte2≤50ppm/k。

具體地，將第一柔性基板的熱膨脹系數(shù)cte1和第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)cte2分別設(shè)置在1ppm/k≤cte1≤30ppm/k和10ppm/k≤cte2≤50ppm/k的范圍內(nèi)，同時(shí)保證第一柔性基板的熱膨脹系數(shù)cte1小于第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)cte2。在高溫環(huán)境下在第二柔性基板表面形成薄膜晶體管等膜層的過(guò)程中，第一柔性基板和第二柔性基板都會(huì)相應(yīng)膨脹，且第二柔性基板的膨脹趨勢(shì)要比第一柔性基板的膨脹趨勢(shì)更加明顯；在成膜結(jié)束、溫度從較高溫度恢復(fù)至使用溫度或室溫后，相當(dāng)于溫度降低，第一柔性基板和第二柔性基板均有收縮的趨勢(shì)，由于第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)大于第一柔性基板的熱膨脹系數(shù)，第二柔性基板的收縮趨勢(shì)將大于第一柔性基板的收縮趨勢(shì)，因此在使用溫度或室溫條件下，第二柔性基板將會(huì)對(duì)在其表面上設(shè)置的包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生一定的壓縮量，由于第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)大于第一柔性基板的熱膨脹系數(shù)，第二柔性基板對(duì)包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生的壓縮量將大于不設(shè)置第二柔性基板時(shí)第一柔性基板對(duì)包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生的壓縮量。在柔性顯示器受到與其功能膜層所受的壓力方向不同的彎折力即使相關(guān)功能膜層具有拉伸趨勢(shì)的彎折力時(shí)，第二柔性基板對(duì)薄膜晶體管等多個(gè)膜層產(chǎn)生的壓縮量將會(huì)對(duì)其相應(yīng)的拉伸趨勢(shì)進(jìn)行抵消，從而提高柔性顯示器中包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層的抗拉伸能力。因此，將第一柔性基板和第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)設(shè)定在上述范圍并保證第一柔性基板的熱膨脹系數(shù)小于第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)時(shí)，熱膨脹系數(shù)較大的第二柔性基板增加了對(duì)包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生的壓縮量，提高了柔性顯示器包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層的抗拉伸能力亦即抗彎折能力，可有效降低柔性顯示器中包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層由于外界彎折力過(guò)大而發(fā)生損壞的可能。

可選地，本申請(qǐng)中第一柔性基板可包括聚酰亞胺、聚醚砜、聚醚酰亞胺、多芳基化合物、聚碳酸酯、聚萘二甲酸乙二醇酯或聚乙烯醚鄰苯二甲酸酯等有機(jī)物。采用上述材料制成本申請(qǐng)的第一柔性基板，這些材料的熱膨脹系數(shù)相比常規(guī)的有機(jī)材料均較低，而且均具有耐高溫的特性，更加適合于制作柔性顯示器，而且還能夠滿足本申請(qǐng)對(duì)第一柔性基板熱膨脹系數(shù)的要求，有利于提高本申請(qǐng)柔性顯示器的抗彎折能力。

可選地，本申請(qǐng)中的第二柔性基板可包括聚酰亞胺、聚醚砜、聚醚酰亞胺、多芳基化合物、聚碳酸酯、聚萘二甲酸乙二醇酯或聚乙烯醚鄰苯二甲酸酯等有機(jī)物。采用上述材料制成本申請(qǐng)的第二柔性基板，能夠滿足本申請(qǐng)對(duì)第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)的要求，有利于提高本申請(qǐng)柔性顯示器的抗彎折能力。

可選地，圖17為本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器包括緩沖層時(shí)的截面的第一種結(jié)構(gòu)示意圖，圖18為本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器包括緩沖層時(shí)的截面的第二種結(jié)構(gòu)示意圖，從圖17和圖18所示實(shí)施例可看出，柔性顯示器100還包括緩沖層70，緩沖層70位于溝道區(qū)32與第二柔性基板20之間；緩沖層70的熱膨脹系數(shù)小于第二柔性基板20的熱膨脹系數(shù)。圖17和圖18所示實(shí)施例中，在溝道區(qū)32和第二柔性基板20之間引入了緩沖層70，一方面，緩沖層70起到了隔熱的作用，避免在高溫形成薄膜晶體管30等其他功能膜層時(shí)對(duì)第二柔性基板20和/或第一柔性基板10造成不可修復(fù)的損傷；另一方面，由于緩沖層70的熱膨脹系數(shù)小于與其緊鄰的第二柔性基板20的熱膨脹系數(shù)，從較高溫度形成薄膜晶體管30等功能膜層的過(guò)程恢復(fù)到室溫的過(guò)程中，緩沖層70和第二柔性基板20都有收縮的趨勢(shì)，而且緩沖層70的收縮趨勢(shì)小于第二柔性基板20的收縮趨勢(shì)，又由于緩沖層70位于溝道區(qū)32和第二柔性基板20之間，收縮趨勢(shì)較小的緩沖層70減弱了第二柔性基板20對(duì)包括薄膜晶體管30在內(nèi)的其他功能膜層的壓縮量，因此，該緩沖層70的引入，避免了第二柔性基板20對(duì)包括薄膜晶體管30在內(nèi)的其他功能膜層產(chǎn)生的壓縮量超過(guò)這些功能膜層的抗壓縮能力范圍，以確保這些功能膜層不會(huì)因?yàn)槭艿竭^(guò)大的收縮壓力而發(fā)生損壞現(xiàn)象，同時(shí)還能確保第二柔性基板20對(duì)這些功能膜層產(chǎn)生的壓縮量大于不設(shè)置第二柔性基板20時(shí)第一柔性基板10對(duì)這些功能膜層產(chǎn)生的收縮量，即在提高柔性顯示器中包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層的抗拉伸能力亦即抗彎折能力，有效降低柔性顯示器中包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層由于外界彎折力(例如拉力)過(guò)大而發(fā)生損壞的可能性的同時(shí)，確保包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層不會(huì)因?yàn)槭艿竭^(guò)大的收縮壓力而發(fā)生損壞現(xiàn)象。

可選地，圖17和圖18所示實(shí)施例中，緩沖層70在第一柔性基板10所在平面的正向投影與第二柔性基板20在第一柔性基板10所在平面的正投影完全重疊。

具體地，緩沖層70的尺寸與第二柔性基板20的尺寸完全相同，采用此種設(shè)計(jì)，可以在涂覆完第二柔性基板20和緩沖層70之后，將二者進(jìn)行統(tǒng)一刻蝕成相應(yīng)的尺寸即可，無(wú)需單獨(dú)對(duì)第二柔性基板20和緩沖層70進(jìn)行分別刻蝕，因此，同樣能夠簡(jiǎn)化本申請(qǐng)柔性顯示器的制程。

可選地，本申請(qǐng)中緩沖層的熱膨脹系數(shù)為cte3，0.5ppm/k≤cte3≤10ppm/k。

具體地，將緩沖層的熱膨脹系數(shù)設(shè)為0.5ppm/k≤cte3≤10ppm/k時(shí)，同時(shí)保證緩沖層的熱膨脹系數(shù)小于第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)。緩沖層的熱膨脹系數(shù)小于與其緊鄰的第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)，從較高溫度形成薄膜晶體管等功能膜層的過(guò)程恢復(fù)到室溫的過(guò)程中，緩沖層和第二柔性基板都有收縮的趨勢(shì)，且緩沖層的收縮趨勢(shì)小于第二柔性基板的收縮趨勢(shì)，而由于緩沖層位于第二柔性基板與溝道區(qū)之間，收縮趨勢(shì)較小的緩沖層將會(huì)在一定程度上減弱第二柔性基板對(duì)包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層的壓縮量，避免了第二柔性基板對(duì)包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生的壓縮量超過(guò)這些功能膜層的抗壓縮能力范圍，以確保這些功能膜層不會(huì)因?yàn)槭艿竭^(guò)大的收縮壓力而發(fā)生損壞現(xiàn)象，同時(shí)，當(dāng)將緩沖層的熱膨脹系數(shù)取為上述范圍時(shí)，還能確保第二柔性基板對(duì)上述功能膜層產(chǎn)生的壓縮量大于不設(shè)置第二柔性基板時(shí)第一柔性基板對(duì)這些功能膜層產(chǎn)生的收縮量，即，在提高柔性顯示器中包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層的抗拉伸能力亦即抗彎折能力，有效降低柔性顯示器中包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層由于外界彎折力(例如拉力)過(guò)大而發(fā)生損壞的可能性的同時(shí)，確保包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層不會(huì)因?yàn)槭艿竭^(guò)大的收縮壓力而發(fā)生損壞現(xiàn)象。

可選地，本申請(qǐng)中的緩沖層包括siox和/或sinx等無(wú)機(jī)膜。采用這些無(wú)機(jī)膜材料構(gòu)成的緩沖層，能夠有效阻擋第一柔性基板和第二柔性基板的構(gòu)成材料(例如分子、原子等)擴(kuò)散到形成于緩沖層之上的包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層中，避免對(duì)包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層的正常工作造成影響，而且還能夠滿足本申請(qǐng)對(duì)緩沖層熱膨脹系數(shù)的要求，有利于提高本申請(qǐng)柔性顯示器的抗彎折能力。

可選地，圖1、圖2所示實(shí)施例中，薄膜晶體管還包括柵極33，柵極33與有源層31絕緣；柵極位于有源層31遠(yuǎn)離第一柔性基板10的一側(cè)，形成頂柵結(jié)構(gòu)，薄膜晶體管的柵極采用此種結(jié)構(gòu)，更易于設(shè)計(jì)并具有較長(zhǎng)的使用壽命。

可選地，圖19為本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器的截面的第四種結(jié)構(gòu)示意圖，圖19所示實(shí)施例中，薄膜晶體管的柵極34可位于有源層31靠近第一柔性基板10的一側(cè)，形成底柵結(jié)構(gòu)，薄膜晶體管的柵極采用此種結(jié)構(gòu)能夠達(dá)到密封的高穩(wěn)定性和制造工序的高度靈活性。

可選地，本申請(qǐng)中的柔性顯示器為oled(organiclight-emittingdiode)顯示器，即有機(jī)發(fā)光二極管顯示器。oled顯示器具有自發(fā)光、輕薄、可視角度大、節(jié)能以及應(yīng)用范圍廣的特點(diǎn)。

進(jìn)一步地，本申請(qǐng)中的柔性顯示器還包括多個(gè)有機(jī)發(fā)光單元，圖20為本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器包括有機(jī)發(fā)光單元的一種結(jié)構(gòu)示意圖，該圖中的晶體管為驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管62，從該圖所提供的實(shí)施例可看出，每個(gè)有機(jī)發(fā)光單元包括由上至下依次設(shè)置的陰極層81、有機(jī)發(fā)光材料層82和陽(yáng)極層83；本申請(qǐng)中驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管62的漏極35'與陽(yáng)極層83電連接。本申請(qǐng)中的驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管62導(dǎo)通后，在通過(guò)電源線所提供的外加電壓的驅(qū)動(dòng)下，空穴和電子分別從陽(yáng)極層83和陰極層81注入到有機(jī)發(fā)光材料層82中，空穴和電子在有機(jī)發(fā)光材料層82中相遇、復(fù)合，釋放出能量，然后將能量傳遞給有機(jī)發(fā)光材料中有機(jī)發(fā)光物質(zhì)的分子，使其從基態(tài)躍遷到激發(fā)態(tài)。激發(fā)態(tài)很不穩(wěn)定，受激分子從激發(fā)態(tài)回到基態(tài)，輻射躍遷產(chǎn)生發(fā)光現(xiàn)象，基于此發(fā)光現(xiàn)象，可借由有機(jī)發(fā)光二極管實(shí)現(xiàn)畫(huà)面的顯示。

可選地，第一柔性基板的熱膨脹系數(shù)cte1＝5ppm/k，第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)cte2＝15ppm/k，緩沖層的熱膨脹系數(shù)cte3＝3ppm/k。

可選地，第一柔性基板的厚度為10um，第二柔性基板的厚度為5um，緩沖層的厚度為1um。

可選地，第一柔性基板的厚度為10um，第二柔性基板的厚度為10um，緩沖層的厚度為1um。

具體地，本申請(qǐng)?zhí)峁┮韵聝山M柔性顯示器的仿真試驗(yàn)情況，對(duì)應(yīng)仿真參數(shù)如下：

第一柔性基板：cte1＝5ppm/k，楊氏模量為7gpa，烘烤溫度為475℃。

第二柔性基板：cte2＝15ppm/k，楊氏模量為7gpa，烘烤溫度為475℃。

緩沖層：cte3＝3ppm/k，楊氏模量為120gpa，烘烤溫度為400℃。

柔性顯示器的實(shí)際使用溫度為20℃。

第一組試驗(yàn)中，第一柔性基板的厚度為10um，第二柔性基板的厚度為5um，緩沖層的厚度為1um；

第二組試驗(yàn)中，第一柔性基板的厚度為10um，第二柔性基板的厚度為10um，緩沖層的厚度為1um；

第一組試驗(yàn)和第二組試驗(yàn)的區(qū)別在于第二柔性基板的厚度不同，第一組試驗(yàn)中第二柔性基板的厚度較小，第二組試驗(yàn)中第二柔性基板的厚度較大。

通過(guò)仿真試驗(yàn)發(fā)現(xiàn)，從在較高溫度中形成設(shè)置在第二柔性基板之上的包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層的過(guò)程到降溫至實(shí)際使用環(huán)境溫度或室溫時(shí)，第一組試驗(yàn)和第二組試驗(yàn)中，相較于不設(shè)置第二柔性基板時(shí)第一柔性基板對(duì)包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層功能膜層產(chǎn)生的收縮量，第二柔性基板對(duì)于設(shè)置在其上的包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生的壓縮量均有所增加，而且第二組試驗(yàn)中第二柔性基板對(duì)其上的功能膜層產(chǎn)生的壓縮量的大小比第一組試驗(yàn)中第二柔性基板對(duì)其上的功能膜層所產(chǎn)生的壓縮量要更加明顯。因此，上述仿真試驗(yàn)初步表明，第二柔性基板對(duì)設(shè)置在其上的包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層所產(chǎn)生的壓縮量的大小與第二柔性基板的厚度還有關(guān)系，厚度越大，所產(chǎn)生的壓縮量越大，對(duì)提高柔性顯示器彎折能力的作用更加明顯，因此，在不影響柔性顯示器整體厚度以及不超過(guò)設(shè)置在第二柔性基板上包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層的抗壓縮能力范圍的情況下，可通過(guò)適當(dāng)增加第二柔性基板的厚度來(lái)提升柔性顯示器的抗彎折能力。

第二方面，圖21為本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器的形成方法的一種流程圖，本申請(qǐng)還提供一種上述實(shí)施例中柔性顯示器的形成方法，參見(jiàn)圖21，該方法包括：

步驟101、采用打印或者涂覆的方式形成第一柔性基板10，圖22為本申請(qǐng)涂覆形成的第一柔性基板的截面的一種結(jié)構(gòu)示意圖；

步驟102、在第一柔性基板10上采用打印或黃光微影制程形成第二柔性基板20，第一柔性基板10的熱膨脹系數(shù)小于第二柔性基板20的熱膨脹系數(shù)，圖23為本申請(qǐng)?jiān)诘谝蝗嵝曰迳闲纬傻诙嵝曰宓慕孛娴囊环N結(jié)構(gòu)示意圖；

步驟103、在第二柔性基板20上形成薄膜晶體管30，圖24為本申請(qǐng)?jiān)诘诙嵝曰迳闲纬杀∧ぞw管的截面的第一種結(jié)構(gòu)示意圖，從圖24可看出，薄膜晶體管30包括有源層31，有源層31包括溝道區(qū)32，溝道區(qū)32在第一柔性基板10所在平面的正投影被第二柔性基板20在第一柔性基板10所在平面的正投影覆蓋。

采用上述方法形成的柔性顯示器100中，在第一柔性基板10和有源層31之間引入了第二柔性基板20，且第二柔性基板20的熱膨脹系數(shù)大于第一柔性基板10的熱膨脹系數(shù)，在高溫環(huán)境下形成薄膜晶體管30等膜層的過(guò)程中，第一柔性基板10和第二柔性基板20都會(huì)相應(yīng)膨脹，且第二柔性基板20的膨脹趨勢(shì)要比第一柔性基板10的膨脹趨勢(shì)更加明顯；在成膜結(jié)束、環(huán)境溫度從較高溫度恢復(fù)至使用溫度或室溫后，相當(dāng)于溫度降低，第一柔性基板10和第二柔性基板20均有收縮的趨勢(shì)，由于第二柔性基板20的熱膨脹系數(shù)大于第一柔性基板10的熱膨脹系數(shù)，第二柔性基板20的收縮趨勢(shì)將大于第一柔性基板10的收縮趨勢(shì)，因此在使用溫度或室溫條件下，第二柔性基板10將會(huì)對(duì)在其上設(shè)置的包括薄膜晶體管30在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生一定的a-a向的壓縮量，由于第二柔性基板20的熱膨脹系數(shù)大于第一柔性基板10的熱膨脹系數(shù)，第二柔性基板20對(duì)包括薄膜晶體管30在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生的壓縮量將大于不設(shè)置第二柔性基板時(shí)第一柔性基板10對(duì)包括薄膜晶體管30在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生的壓縮量。在柔性顯示器100受到與其功能膜層所受的壓力方向不同的彎折力即，使相關(guān)功能膜層具有拉伸趨勢(shì)的彎折力，例如受到圖24中b-b向的彎折力時(shí)，第二柔性基板20對(duì)薄膜晶體管30等多個(gè)膜層產(chǎn)生的a-a向的壓縮量將會(huì)對(duì)其相應(yīng)的拉伸趨勢(shì)進(jìn)行抵消，從而提高柔性顯示器中包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層的抗拉伸能力，而第二柔性基板20在第一柔性基板10所在平面的正投影至少覆蓋溝道區(qū)32在第一柔性基板10所在平面的正投影，能夠至少保證有源層31中的關(guān)鍵組成部分溝道區(qū)32具有較強(qiáng)的抗拉伸能力。因此，本申請(qǐng)通過(guò)引入第二柔性基板，增加了對(duì)包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生的壓縮量，提高了柔性顯示器包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層的抗拉伸能力亦即抗彎折能力，可有效降低柔性顯示器中包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層由于外界彎折力(例如拉力)過(guò)大而發(fā)生損壞的可能。需要說(shuō)明的是，本申請(qǐng)中第二柔性基板20對(duì)包括薄膜晶體管30在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生的壓縮量的大小并不會(huì)超過(guò)包括薄膜晶體管30在內(nèi)的多個(gè)功能膜層的抗壓縮能力范圍上限，采用本申請(qǐng)實(shí)施例所提供的技術(shù)方案后包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層仍能夠滿足抗壓縮彎折要求。對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)中的那些抗壓而不抗拉的柔性顯示器件可通過(guò)本申請(qǐng)實(shí)施例所提供的技術(shù)方案，提升相關(guān)功能層例如薄膜晶體管膜層的抗拉伸能力，在具有抗壓縮能力的同時(shí)提升其抗拉伸能力，進(jìn)而提柔性顯示器件的抗彎折能力。

可選地，圖25為采用本申請(qǐng)所提供的方法形成的柔性顯示器的截面的第二種結(jié)構(gòu)示意圖。圖25所示實(shí)施例中，在第二柔性基板上形成的薄膜晶體管的有源層在第一柔性基板所在平面的正投影與第二柔性基板在第一柔性基板所在平面的正投影完全重疊。

具體地，如圖25所示，將第二柔性基板20的大小設(shè)計(jì)的與有源層31的大小相同，在涂布完第一柔性基板和第二柔性基板的基材后，去除有源層31正下方以外區(qū)域的第二柔性基板的基材即可形成第二柔性基板20，通過(guò)有源層31的尺寸即可確定第二柔性基板20的尺寸，無(wú)需再通過(guò)其他方法來(lái)確認(rèn)第二柔性基板的20的尺寸，此種方式有利于簡(jiǎn)化制程。另外，考慮到第二柔性基板20的熱膨脹系數(shù)大于第一柔性基板10的熱膨脹系數(shù)，將有源層31正下方以外區(qū)域的第二柔性基板20的基材去除，僅保留有源層31正下方的第二柔性基板20，使得在使用溫度或室溫下，第二柔性基板20在收縮過(guò)程中對(duì)其上的包括薄膜晶體管30在內(nèi)的各功能膜層產(chǎn)生的a-a向壓縮量達(dá)到最大，如此，在柔性顯示器100受到與a-a向壓縮量方向不同的彎折力時(shí)，a-a向的壓縮量將會(huì)對(duì)該彎折力所產(chǎn)生的拉伸趨勢(shì)進(jìn)行抵消，從而提高柔性顯示器包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層的抗拉伸能力亦即抗彎折能力，有效降低柔性顯示器中包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層由于外界彎折力(例如拉力)過(guò)大而發(fā)生損壞的可能。而且，將第二柔性基板20在第一柔性基板10所在平面的正投影設(shè)計(jì)得與有源層31在第一柔性基板10所在平面的正投影完全重疊，在有效提升薄膜晶體30包括溝道區(qū)32在內(nèi)的整體抗拉伸能力的同時(shí)，能夠有效避免采用較大面積的第二柔性基板20時(shí)第二柔性基板20在使用溫度下收縮而導(dǎo)致出現(xiàn)邊緣上翹的現(xiàn)象。

可選地，如圖26所示，圖26為本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器的形成方法中在第一柔性基板上形成柵極線的示意圖，本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器的形成方法中，在形成薄膜晶體管前，在第一柔性基板10上還形成有多條沿第一方向排列且沿第二方向延伸的柵極線41，；在形成薄膜晶體管后，在第一柔性基板上還形成有多條沿第二方向排列且沿第一方向延伸的數(shù)據(jù)信號(hào)線(圖中未示出)；第一方向與第二方向交叉，柵極線41與數(shù)據(jù)信號(hào)線絕緣。如圖27所示，圖27為本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器的形成方法中在第一柔性基板上形成薄膜晶體管和數(shù)據(jù)信號(hào)線的3*3矩陣的第一種俯視圖，設(shè)定相鄰的兩條柵極線41與相鄰的兩條數(shù)據(jù)信號(hào)線42之間限定的區(qū)域?yàn)橄袼貐^(qū)域43，薄膜晶體管位于像素區(qū)域內(nèi)，像素區(qū)域內(nèi)設(shè)置有多個(gè)薄膜晶體管，例如圖27所示的薄膜晶體管61和62。

對(duì)于每個(gè)像素區(qū)域43內(nèi)薄膜晶體管的連接方式及具體構(gòu)成請(qǐng)參見(jiàn)圖28和圖29，圖28為采用本申請(qǐng)所提供的方法形成的柔性顯示器中一個(gè)像素區(qū)域的一種電路圖，圖29為采用本申請(qǐng)所提供的方法形成的柔性顯示器中一個(gè)像素區(qū)域的一種像素示意圖。從圖27、圖28和圖29所示實(shí)施例可看出，像素區(qū)域43由柵極線41和數(shù)據(jù)信號(hào)線42交叉界定，像素區(qū)域43內(nèi)還包括與數(shù)據(jù)信號(hào)線42平行布置的電源線44，電源線44與數(shù)據(jù)信號(hào)線42絕緣，電源線44用于提供供電電壓。每個(gè)像素區(qū)域43包括開(kāi)關(guān)薄膜晶體管61、驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管62、存儲(chǔ)電容c1和有機(jī)發(fā)光二極管o。開(kāi)關(guān)薄膜晶體管61的柵極與柵極線41電連接，源極與數(shù)據(jù)信號(hào)線42電連接，漏極與驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管62的柵極電連接，驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管62的柵極與電源線之間還設(shè)置有存儲(chǔ)電容c1；驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管62的源極電連接電源線44，驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管62的漏極連接有機(jī)發(fā)光二極管o中的像素電極71。電源線44將供電電壓提供給有機(jī)發(fā)光二極管o。

圖28和圖29所示實(shí)施例中，當(dāng)通過(guò)柵極線41施加的選通信號(hào)使開(kāi)關(guān)薄膜晶體管61導(dǎo)通時(shí)，來(lái)自數(shù)據(jù)信號(hào)線42的數(shù)據(jù)信號(hào)被施加到驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管62的柵極和存儲(chǔ)電容c1。當(dāng)數(shù)據(jù)信號(hào)使驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管62導(dǎo)通時(shí)，電流從電源線44被供應(yīng)給有機(jī)發(fā)光二極管o，使有機(jī)發(fā)光二極管o發(fā)光。在這種情況下，當(dāng)驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管62導(dǎo)通時(shí)，從電源線44施加到有機(jī)發(fā)光二極管o的電流的電平被確定為使得有機(jī)發(fā)光二極管o可生成灰度的電平。存儲(chǔ)電容c1用于在開(kāi)關(guān)薄膜晶體管61截止時(shí)維持驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管62的柵極的電壓。因此，即使開(kāi)關(guān)薄膜晶體管61截止，也維持從電源線44施加到有機(jī)發(fā)光二極管o的電流的電平直至下一幀。

圖30為圖29所示像素示意圖的c-c剖面圖，圖31為圖29所示像素示意圖的d-d剖面圖。從圖30和圖31所示實(shí)施例可看出，開(kāi)關(guān)薄膜晶體管61的溝道區(qū)32和驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管62的溝道區(qū)32'在第一柔性基板10所在平面的正投影分別被兩個(gè)第二柔性基板(分別為第二柔性基板205和第二柔性基板206)在第一柔性基板10所在平面的正投影覆蓋。

可選地，圖32為采用本申請(qǐng)所提供的方法形成的柔性顯示器中一個(gè)像素區(qū)域的另一種像素示意圖。從圖32所示實(shí)施例可看出，在第一柔性基板上同一個(gè)像素區(qū)域內(nèi)形成的所有薄膜晶體管的溝道區(qū)32在第一柔性基板所在平面的正投影被同一個(gè)第二柔性基板在第一柔性基板所在平面的正投影所覆蓋。

具體地，位于同一個(gè)像素區(qū)域內(nèi)的所有薄膜晶體管對(duì)應(yīng)一個(gè)第二柔性基板，這些薄膜晶體管的溝道區(qū)32在第一柔性基板所在平面的正投影不超出對(duì)應(yīng)的第二柔性基板20在第一柔性基板所在平面的正投影所限定的范圍。采用如此結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，使得位于同一個(gè)像素區(qū)域內(nèi)的所有薄膜晶體管共用一個(gè)第二柔性基板，避免了為每個(gè)薄膜晶體管單獨(dú)設(shè)計(jì)一個(gè)第二柔性基板時(shí)的繁瑣工序，有利于簡(jiǎn)化柔性顯示器的制程。

可選地，圖33為采用本申請(qǐng)所提供的方法形成的柔性顯示器的3*3矩陣的第二種俯視圖，圖34為圖33所示俯視圖的e-e剖面圖。從圖33和圖34所示實(shí)施例可看出，采用本申請(qǐng)所提供的方法在第一柔性基板上(圖中未示出)形成有多個(gè)像素區(qū)域43，像素區(qū)域43呈陣列排布；在第一柔性基板上，同一列的薄膜晶體管的溝道區(qū)在第一柔性基板所在平面的正投影被同一個(gè)第二柔性基板201在第一柔性基板所在平面的正投影所覆蓋，參見(jiàn)圖34。也就是說(shuō)，位于同一列的所有薄膜晶體管的溝道區(qū)共用一個(gè)第二柔性基板，例如圖33中位于同一列的開(kāi)關(guān)薄膜晶體管611、612和613的溝道區(qū)32、32'和32”共用同一個(gè)第二柔性基板201。同一列的所有薄膜晶體管共用一個(gè)第二柔性基板的方式，大大減小了柔性顯示器中第二柔性基板的數(shù)量，無(wú)需為每個(gè)薄膜晶體管單獨(dú)設(shè)置一個(gè)對(duì)應(yīng)的第二柔性基板，簡(jiǎn)化了生產(chǎn)工藝，有利于減少柔性顯示器生產(chǎn)過(guò)程中的制程，提高柔性顯示器的生產(chǎn)效率。

可選地，圖35為采用本申請(qǐng)所提供的方法形成的柔性顯示器的3*3矩陣的第三種俯視圖，圖36為圖35所示俯視圖的f-f剖面圖。從圖35和圖36所示實(shí)施例可看出，在第一柔性基板(圖中未示出)上，同一行的薄膜晶體管的溝道區(qū)在第一柔性基板所在平面的正投影被同一個(gè)第二柔性基板202在第一柔性基板所在平面的正投影所覆蓋，參見(jiàn)圖35。也就是說(shuō)，位于同一行的所有薄膜晶體管的溝道區(qū)共用一個(gè)第二柔性基板，例如圖35中位于同一行的開(kāi)關(guān)薄膜晶體管611、612和613的溝道區(qū)32、32'和32”共用同一個(gè)第二柔性基板202。同一行的所有薄膜晶體管共用一個(gè)第二柔性基板的方式，大大減小了柔性顯示器中第二柔性基板的數(shù)量，無(wú)需為每個(gè)薄膜晶體管單獨(dú)設(shè)置一個(gè)對(duì)應(yīng)的第二柔性基板，簡(jiǎn)化了生產(chǎn)工藝，有利于減少柔性顯示器生產(chǎn)過(guò)程中的制程，提高柔性顯示器的生產(chǎn)效率。

可選地，圖37為采用本申請(qǐng)所提供的方法形成的柔性顯示器的3*3矩陣的第四種俯視圖，圖38為圖37所示俯視圖的g-g剖面圖，圖39為圖37所示俯視圖的h-h剖面圖。從圖37-39所示實(shí)施例可看出，在第一柔性基板(圖中未示出)上，所有開(kāi)關(guān)薄膜晶體管61和所有驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管62的溝道區(qū)32在第一柔性基板所在平面的正投影被同一個(gè)第二柔性基板203在第一柔性基板所在平面的正投影所覆蓋。也就是說(shuō)，顯示區(qū)內(nèi)的所有薄膜晶體管共用同一個(gè)第二柔性基板203，此種方式進(jìn)一步減小了柔性顯示器中第二柔性基板的數(shù)量，只需制作一個(gè)第二柔性基板203即可，無(wú)需為每個(gè)薄膜晶體管單獨(dú)設(shè)置一個(gè)對(duì)應(yīng)的第二柔性基板，大大簡(jiǎn)化了生產(chǎn)工藝，減少了柔性顯示器的生產(chǎn)過(guò)程中的制程，大大提高了柔性顯示器的生產(chǎn)效率。

可選地，本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器的形成方法中，在采用打印或黃光微影制程形成第二柔性基板之前，在第一柔性基板上通過(guò)刻蝕形成有第一凹槽，參見(jiàn)圖40，圖40為本申請(qǐng)所提供的方法中在第一柔性基板上形成第一凹槽的結(jié)構(gòu)示意圖，第二柔性基板20形成于第一凹槽11內(nèi)，參見(jiàn)圖41，圖41為本申請(qǐng)所提供的方法中在第一凹槽中形成第二柔性基板的結(jié)構(gòu)示意圖。圖42為采用本申請(qǐng)所提供的方法所形成的柔性顯示器的截面的第三種結(jié)構(gòu)示意圖。圖40-42所示實(shí)施例中，在第一柔性基板10上設(shè)置第一凹槽11，將第二柔性基板20設(shè)置于第一凹槽11內(nèi)，采用此種設(shè)計(jì)，將第二柔性基板20的形成過(guò)程限定在第一凹槽11內(nèi)，無(wú)需考慮其他位置及尺寸的因素，節(jié)省工藝，還便于設(shè)置在其表面的其他膜層的形成。此外，在第一柔性基板10的凹槽11內(nèi)設(shè)置第二柔性基板12，且第二柔性基板20的熱膨脹系數(shù)大于第一柔性基板10的熱膨脹系數(shù)，在高溫環(huán)境下在第二柔性基板20表面形成薄膜晶體管30膜層的過(guò)程中，第一柔性基板10和第二柔性基板20都會(huì)相應(yīng)膨脹，且第二柔性基板20的膨脹趨勢(shì)要比第一柔性基板10的膨脹趨勢(shì)更加明顯；在成膜結(jié)束、溫度從較高溫度恢復(fù)至使用溫度或室溫后，相當(dāng)于溫度降低，第一柔性基板10和第二柔性基板20均有收縮的趨勢(shì)，由于第二柔性基板20的熱膨脹系數(shù)大于第一柔性基板10的熱膨脹系數(shù)，第二柔性基板20的收縮趨勢(shì)將大于第一柔性基板10的收縮趨勢(shì)，因此在使用溫度或室溫條件下，第二柔性基板10將會(huì)對(duì)在其表面上設(shè)置的包括薄膜晶體管30在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生一定的a-a向的壓縮量，由于第二柔性基板20的熱膨脹系數(shù)大于第一柔性基板10的熱膨脹系數(shù)，第二柔性基板20對(duì)包括薄膜晶體管30在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生的壓縮量將大于不設(shè)置第二柔性基板20時(shí)第一柔性基板10對(duì)包括薄膜晶體管30在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生的壓縮量。在柔性顯示器100受到與其功能膜層所受的壓力方向不同的彎折力即使相關(guān)功能膜層具有拉伸趨勢(shì)的彎折力，例如受到圖42中b-b向的彎折力時(shí)，第二柔性基板20對(duì)薄膜晶體管30等多個(gè)膜層產(chǎn)生的a-a向的壓縮量將會(huì)對(duì)其相應(yīng)的拉伸趨勢(shì)進(jìn)行抵消，從而提高柔性顯示器中包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層的抗拉伸能力。因此，本申請(qǐng)通過(guò)引入第二柔性基板，增加了對(duì)包括薄膜晶體管30在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生的壓縮量，提高了柔性顯示器包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層的抗拉伸能力亦即抗彎折能力，可有效降低柔性顯示器100上的薄膜晶體管30在內(nèi)的多個(gè)功能膜層由于外界彎折力過(guò)大而發(fā)生損壞的可能。。

可選地，圖43為采用本申請(qǐng)所提供的方法形成的第一柔性基板的第一凹槽和第二柔性基板的尺寸示意圖。從圖43可看出，本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器的形成方法中，在第一凹槽11內(nèi)采用打印或黃光微影制程形成的第二柔性基板20在垂直方向即第一基板10所在平面法線方向上的厚度h1等于第一凹槽11的深度h2。以使得第二柔性基板20的表面和第一柔性基板10的表面處于同一水平面，此種方式更加有利于在第二柔性基板20表面形成其他的膜層。需要說(shuō)明的是，此處所說(shuō)的第二柔性基板在垂直方向的厚度h1指的是在制作完成第一柔性基板10和第二柔性基板20后、尚未在第二柔性基板20上形成包括薄膜晶體管在內(nèi)的其他膜層時(shí)第二柔性基板在垂直方向的厚度。

可選地，繼續(xù)參見(jiàn)圖43，在第一凹11內(nèi)采用打印或黃光微影制程形成的第二柔性基板20在水平方向的寬度d1等于第一凹槽11的寬度d2。將第二柔性基板20在水平方向的寬度設(shè)計(jì)的與第一凹槽11的寬度相等，即第二柔性基板20在水平方向上與第一凹槽11的垂直截面具有相同的寬度，在形成第二柔性基板20的過(guò)程中，無(wú)需考慮第二柔性基板20的具體寬度要求，只要按照第一凹槽11所限制的空間范圍進(jìn)行涂布即可，簡(jiǎn)化了制作工藝。需要說(shuō)明的是，此處所說(shuō)的第二柔性基板在水平方向的寬度d1指的是在制作完成第一柔性基板10和第二柔性基板20后、尚未在第二柔性基板20上形成包括薄膜晶體管在內(nèi)的其他膜層時(shí)第二柔性基板在水平方向的寬度。

圖43所示實(shí)施例中，第二柔性基板20在垂直方向即第一基板10所在平面法線方向上的厚度h1等于第一凹槽11的深度h2，第二柔性基板20在水平方向的寬度d1等于第一凹槽11的寬度d2即第二柔性基板20在水平方向上與第一凹槽11的垂直截面具有相同的寬度。需要說(shuō)明的是，此處所說(shuō)的第二柔性基板20在垂直方向的厚度以及在水平方向的寬度指的是在制作完成第一柔性基板10和第二柔性基板20后、尚未在第二柔性基板20上形成包括薄膜晶體管在內(nèi)的其他膜層時(shí)第二柔性基板在垂直方向的厚度以及在水平方向的寬度。此種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，使得第一凹槽11所限定的區(qū)域正好為第二柔性基板20所處的區(qū)域，在涂覆第二柔性基板20的過(guò)程中，只需在第一凹槽所限定的區(qū)域中形成第二柔性基板20即可，無(wú)需再考慮其他尺寸，簡(jiǎn)化了第二柔性基板20的制程，而且還能使得第二柔性基板20和第一柔性基板10共同形成了一個(gè)完整的平面，在一個(gè)完整的平面上形成其他膜層的方式有利于簡(jiǎn)化生產(chǎn)工藝，提高本申請(qǐng)柔性顯示器100的生產(chǎn)效率。

可選地，本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器的形成方法中，在第一柔性基板上采用打印或黃光微影制程形成的第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)比采用打印或者涂覆的方式形成的第一柔性基板的熱膨脹系數(shù)至少大5ppm/k。

具體地，在本申請(qǐng)中，第一柔性基板和第二柔性基板上包括薄膜晶體管中有源層在內(nèi)的等多個(gè)功能膜層在形成時(shí)會(huì)經(jīng)歷一個(gè)從“室溫加熱到高溫，由高溫冷卻再到室溫”的過(guò)程，其中，在從室溫加熱到高溫時(shí)，第一柔性基板和第二柔性基板均會(huì)膨脹，而從較高溫度冷卻至室溫時(shí)，第一柔性基板和第二柔性基板均會(huì)收縮。當(dāng)設(shè)計(jì)第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)比第一柔性基板的熱膨脹系數(shù)至少大5ppmk時(shí)，第二柔性基板的收縮趨勢(shì)將會(huì)比第一柔性基板的收縮趨勢(shì)更加明顯，因此第二柔性基板對(duì)其上設(shè)置的包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生的收縮量將比不設(shè)置第二柔性基板時(shí)第一柔性基板對(duì)包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生的收縮量更加明顯。因此，當(dāng)柔性顯示器受到使其具有拉伸趨勢(shì)的彎折力時(shí)，薄膜晶體管等多個(gè)膜層上具有的壓縮量將會(huì)對(duì)其相應(yīng)的拉伸趨勢(shì)進(jìn)行抵消，從而提高柔性顯示器中包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層的抗拉伸能力。因此，本申請(qǐng)通過(guò)設(shè)計(jì)第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)比第一柔性基板的熱膨脹系數(shù)至少大5ppmk，能夠明顯增加對(duì)包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層所產(chǎn)生的壓縮量，明顯提高柔性顯示器包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層的抗拉伸能力亦即抗彎折能力，同時(shí)可明顯有效降低柔性顯示器中包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層由于外界彎折力(例如拉力)過(guò)大而發(fā)生損壞的可能。

可選地，本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器的形成方法中，采用打印或者涂覆的方式形成的第一柔性基板的熱膨脹系數(shù)為cte1，1ppm/k≤cte1≤30ppm/k，在第一柔性基板上采用打印或黃光微影制程形成的第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)為cte2，10ppm/k≤cte2≤50ppm/k。

具體地，將第一柔性基板的熱膨脹系數(shù)cte1和第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)cte2分別設(shè)置在1ppm/k≤cte1≤30ppm/k和10ppm/k≤cte2≤50ppm/k的范圍內(nèi)，同時(shí)保證第一柔性基板的熱膨脹系數(shù)cte1小于第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)cte2。在高溫環(huán)境下在第二柔性基板表面形成薄膜晶體管等膜層的過(guò)程中，第一柔性基板和第二柔性基板都會(huì)相應(yīng)膨脹，且第二柔性基板的膨脹趨勢(shì)要比第一柔性基板的膨脹趨勢(shì)更加明顯；在成膜結(jié)束、溫度從較高溫度恢復(fù)至使用溫度或室溫后，相當(dāng)于溫度降低，第一柔性基板和第二柔性基板均有收縮的趨勢(shì)，由于第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)大于第一柔性基板的熱膨脹系數(shù)，第二柔性基板的收縮趨勢(shì)將大于第一柔性基板的收縮趨勢(shì)，因此在使用溫度或室溫條件下，第二柔性基板將會(huì)對(duì)在其表面上設(shè)置的包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生一定的壓縮量，由于第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)大于第一柔性基板的熱膨脹系數(shù)，第二柔性基板對(duì)包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生的壓縮量將大于不設(shè)置第二柔性基板時(shí)第一柔性基板對(duì)包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生的壓縮量。在柔性顯示器受到與其功能膜層所受的壓力方向不同的彎折力即使相關(guān)功能膜層具有拉伸趨勢(shì)的彎折力時(shí)，第二柔性基板對(duì)薄膜晶體管等多個(gè)膜層產(chǎn)生的壓縮量將會(huì)對(duì)其相應(yīng)的拉伸趨勢(shì)進(jìn)行抵消，從而提高柔性顯示器中包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層的抗拉伸能力。因此，將第一柔性基板和第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)設(shè)定在上述范圍并保證第一柔性基板的熱膨脹系數(shù)小于第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)時(shí)，熱膨脹系數(shù)較大的第二柔性基板增加了對(duì)包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生的壓縮量，提高了柔性顯示器包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層的抗拉伸能力亦即抗彎折能力，可有效降低柔性顯示器中包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層由于外界彎折力過(guò)大而發(fā)生損壞的可能。

進(jìn)一步地，本申請(qǐng)采用打印或者涂覆的方式形成的第一柔性基板包括聚酰亞胺、聚醚砜、聚醚酰亞胺、多芳基化合物、聚碳酸酯、聚萘二甲酸乙二醇酯或聚乙烯醚鄰苯二甲酸酯等有機(jī)物。采用上述材料制成本申請(qǐng)的第一柔性基板，這些材料的熱膨脹系數(shù)相比常規(guī)的有機(jī)材料均較低，而且均具有耐高溫的特性，更加適合于制作柔性顯示器，而且還能夠滿足本申請(qǐng)對(duì)第一柔性基板熱膨脹系數(shù)的要求，有利于提高本申請(qǐng)柔性顯示器的抗彎折能力。

在第一柔性基板上采用打印或黃光微影制程形成的第二柔性基板包括聚酰亞胺、聚醚砜、聚醚酰亞胺、多芳基化合物、聚碳酸酯、聚萘二甲酸乙二醇酯或聚乙烯醚鄰苯二甲酸酯等有機(jī)物。采用上述材料制成本申請(qǐng)的第二柔性基板，能夠滿足本申請(qǐng)對(duì)第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)的要求，有利于提高本申請(qǐng)柔性顯示器的抗彎折能力。

可選地，圖44為采用本申請(qǐng)所提供的方法形成包括緩沖層的柔性顯示器的截面的第一種結(jié)構(gòu)示意圖，圖45為采用本申請(qǐng)所提供的方法形成包括緩沖層的柔性顯示器的截面的第二種結(jié)構(gòu)示意圖；參見(jiàn)圖44和圖45，本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器的形成方法中，在第二柔性基板20上形成薄膜晶體管30之前，在第二柔性基板20上形成緩沖層70，緩沖層70位于溝道區(qū)32與第二柔性基板20之間；緩沖層70的熱膨脹系數(shù)小于第二柔性基板20的熱膨脹系數(shù)。圖44和圖45所示實(shí)施例中，在溝道區(qū)32和第二柔性基板20之間引入了緩沖層70，一方面，緩沖層70起到了隔熱的作用，避免在高溫形成薄膜晶體管30等其他功能膜層時(shí)對(duì)第二柔性基板20和/或第一柔性基板10造成不可修復(fù)的損傷；另一方面，由于緩沖層70的熱膨脹系數(shù)小于與其緊鄰的第二柔性基板20的熱膨脹系數(shù)，從較高溫度形成薄膜晶體管30等功能膜層的過(guò)程恢復(fù)到室溫的過(guò)程中，緩沖層70和第二柔性基板20都有收縮的趨勢(shì)，而且緩沖層70的收縮趨勢(shì)小于第二柔性基板20的收縮趨勢(shì)，又由于緩沖層70位于溝道區(qū)32和第二柔性基板20之間，收縮趨勢(shì)較小的緩沖層70減弱了第二柔性基板20對(duì)包括薄膜晶體管30在內(nèi)的其他功能膜層的壓縮量，因此，該緩沖層70的引入，避免了第二柔性基板20對(duì)包括薄膜晶體管30在內(nèi)的其他功能膜層產(chǎn)生的壓縮量超過(guò)這些功能膜層的抗壓縮能力范圍，以確保這些功能膜層不會(huì)因?yàn)槭艿竭^(guò)大的收縮壓力而發(fā)生損壞現(xiàn)象，同時(shí)還能確保第二柔性基板20對(duì)這些功能膜層產(chǎn)生的壓縮量大于不設(shè)置第二柔性基板20時(shí)第一柔性基板10對(duì)這些功能膜層產(chǎn)生的收縮量，即在提高柔性顯示器中包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層的抗拉伸能力亦即抗彎折能力，有效降低柔性顯示器中包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層由于外界彎折力(例如拉力)過(guò)大而發(fā)生損壞的可能性的同時(shí)，確保包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層不會(huì)因?yàn)槭艿竭^(guò)大的收縮壓力而發(fā)生損壞現(xiàn)象。

可選地，繼續(xù)參見(jiàn)圖44和圖45，本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器的形成方法中，在第二柔性基板20上形成的緩沖層70在第一柔性基板10所在平面的正投影與第二柔性基板20在第一柔性基板10所在平面的正投影完全重疊。

具體地，緩沖層70的尺寸與第二柔性基板20的尺寸完全相同，采用此種設(shè)計(jì)，在涂覆完第二柔性基板20和緩沖層70之后，將二者進(jìn)行統(tǒng)一刻蝕成相應(yīng)的尺寸即可，無(wú)需單獨(dú)對(duì)第二柔性基板20和緩沖層70進(jìn)行分別刻蝕，因此，同樣能夠簡(jiǎn)化本申請(qǐng)柔性顯示器的制程。

可選地，本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器的形成方法中，在第二柔性基板上形成的緩沖層的熱膨脹系數(shù)為cte3，0.5ppm/k≤cte3≤10ppm/k。

具體地，當(dāng)將緩沖層的熱膨脹系數(shù)設(shè)為0.5ppm/k≤cte3≤10ppm/k時(shí)，同時(shí)保證緩沖層的熱膨脹系數(shù)小于第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)。由于緩沖層的熱膨脹系數(shù)小于與其緊鄰的第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)，從較高溫度形成薄膜晶體管等功能膜層的過(guò)程恢復(fù)到室溫的過(guò)程中，緩沖層和第二柔性基板都有收縮的趨勢(shì)，且在室溫或使用溫度下，緩沖層的收縮趨勢(shì)小于第二柔性基板的收縮趨勢(shì)，由于緩沖層位于第二柔性基板與溝道區(qū)之間，收縮趨勢(shì)較小的緩沖層將會(huì)在一定程度上減弱第二柔性基板對(duì)包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層的壓縮量，避免了第二柔性基板對(duì)包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生的壓縮量超過(guò)這些功能膜層的抗壓縮能力范圍，以確保這些功能膜層不會(huì)因?yàn)槭艿竭^(guò)大的收縮壓力而發(fā)生損壞現(xiàn)象，同時(shí)，當(dāng)將緩沖層的熱膨脹系數(shù)取為上述范圍時(shí)，還能確保第二柔性基板對(duì)上述功能膜層產(chǎn)生的壓縮量大于不設(shè)置第二柔性基板時(shí)第一柔性基板對(duì)這些功能膜層產(chǎn)生的收縮量，即，在提高柔性顯示器中包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層的抗拉伸能力亦即抗彎折能力，有效降低柔性顯示器中包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層由于外界彎折力(例如拉力)過(guò)大而發(fā)生損壞的可能性的同時(shí)，確保包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層不會(huì)因?yàn)槭艿竭^(guò)大的收縮壓力而發(fā)生損壞現(xiàn)象。

可選地，本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器的形成方法中，在第二柔性基板上形成的緩沖層包括siox和/或sinx等無(wú)機(jī)膜。采用這些無(wú)機(jī)膜材料構(gòu)成的緩沖層，能夠有效阻擋第一柔性基板和第二柔性基板的構(gòu)成材料(例如分子、原子等)擴(kuò)散到形成于緩沖層之上的包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層中，避免對(duì)包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層的正常工作造成影響，而且還能夠滿足本申請(qǐng)對(duì)緩沖層熱膨脹系數(shù)的要求，有利于提高本申請(qǐng)柔性顯示器的抗彎折能力。

通過(guò)以上各實(shí)施例可知，本申請(qǐng)存在的有益效果是：

本申請(qǐng)所提供的柔性顯示器及其形成方法中，在第一柔性基板和有源層之間引入了第二柔性基板，且第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)大于第一柔性基板的熱膨脹系數(shù)，在高溫環(huán)境下形成薄膜晶體管等功能膜層的過(guò)程中，第一柔性基板和第二柔性基板都會(huì)相應(yīng)膨脹，且第二柔性基板的膨脹趨勢(shì)要比第一柔性基板的膨脹趨勢(shì)更加明顯；在成膜結(jié)束、溫度從較高溫度恢復(fù)至使用溫度或室溫后，相當(dāng)于溫度降低，第一柔性基板和第二柔性基板均有收縮的趨勢(shì)，由于第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)大于第一柔性基板的熱膨脹系數(shù)，第二柔性基板的收縮趨勢(shì)將大于第一柔性基板的收縮趨勢(shì)，因此在使用溫度或室溫條件下，第二柔性基板將會(huì)對(duì)在其上設(shè)置的包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生一定的壓縮量，而由于第二柔性基板的熱膨脹系數(shù)大于第一柔性基板的熱膨脹系數(shù)，第二柔性基板對(duì)包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生的壓縮量將大于不設(shè)置第二柔性基板時(shí)第一柔性基板對(duì)包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層產(chǎn)生的壓縮量。在柔性顯示器受到與其功能膜層所受的壓力方向不同的彎折力即使相關(guān)功能膜層具有拉伸趨勢(shì)的彎折力時(shí)，薄膜晶體管等多個(gè)膜層上具有的壓縮量將會(huì)對(duì)其相應(yīng)的拉伸趨勢(shì)進(jìn)行抵消，從而提高柔性顯示器中包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層的抗拉伸能力。因此，本申請(qǐng)通過(guò)引入第二柔性基板，增加了對(duì)包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層所產(chǎn)生的壓縮量，提高了柔性顯示器包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層的抗拉伸能力亦即抗彎折能力，可有效降低柔性顯示器中包括薄膜晶體管在內(nèi)的多個(gè)功能膜層由于外界彎折力(例如拉力)過(guò)大而發(fā)生損壞的可能。

上述說(shuō)明示出并描述了本申請(qǐng)的若干優(yōu)選實(shí)施例，但如前所述，應(yīng)當(dāng)理解本申請(qǐng)并非局限于本文所披露的形式，不應(yīng)看作是對(duì)其他實(shí)施例的排除，而可用于各種其他組合、修改和環(huán)境，并能夠在本文所述發(fā)明構(gòu)想范圍內(nèi)，通過(guò)上述教導(dǎo)或相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)或知識(shí)進(jìn)行改動(dòng)。而本領(lǐng)域人員所進(jìn)行的改動(dòng)和變化不脫離本申請(qǐng)的精神和范圍，則都應(yīng)在本申請(qǐng)所附權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。