本發(fā)明涉及一種自動化設(shè)備，特別涉及一種用于太陽能電池硅片的干法制絨、pecvd鍍膜等處理工藝中的太陽能硅片二合一自動上下料設(shè)備。

背景技術(shù)：

近些年來環(huán)保要求越來越高，化石能源的污染問題越來越受到重視，而且由于化石能源的不可再生性，尋求新的能源形式迫在眉睫。在眾多新型能源中，光伏發(fā)電技術(shù)脫穎而出。在光伏發(fā)電技術(shù)中硅片是核心元件，而生產(chǎn)太陽能硅片的工序繁多，包括從其前期的硅材料提純、鑄錠、開方、切片，到后期的制絨、擴(kuò)散、清洗、pecvd鍍膜、印刷、燒結(jié)等工序，也就是說，在硅錠被切成硅片后，其還要經(jīng)過很多工序處理才能使其成為有著發(fā)電功能的電池片。由于硅片的生產(chǎn)要求較高，而且其有著易碎的屬性，硅片在各個工序之間的流轉(zhuǎn)成了問題。

申請?zhí)枮?01110167739.8的中國發(fā)明專利公開了一種在線式全自動硅片上下料機(jī)，其包括plc、上料機(jī)、下料機(jī)和在線硅片工藝處理設(shè)備，上料機(jī)、下料機(jī)和在線硅片工藝處理設(shè)備均與plc電連接，并在plc中設(shè)置的程序的控制下實(shí)現(xiàn)硅片的上料，硅片的工藝處理和硅片下料的在線式全自動生產(chǎn)，上料機(jī)包括供片機(jī)構(gòu)、橫向傳送定位機(jī)構(gòu)、上料升降換向機(jī)構(gòu)和上料縱向傳送皮帶；下料機(jī)包括下料縱向傳送皮帶、下料升降換向機(jī)構(gòu)和下料橫向傳送定位機(jī)構(gòu)；縱向傳送皮帶、升降換向機(jī)構(gòu)和橫向傳送定位機(jī)構(gòu)三者配合完成硅片的兩次l形方向的換向傳送。該發(fā)明的上料機(jī)與下料機(jī)分別位于在線硅片工藝處理設(shè)備的兩側(cè)，即上料與下料單獨(dú)完成，因而不能有效實(shí)現(xiàn)上料設(shè)備與下料設(shè)備的協(xié)同周轉(zhuǎn)，具有局限性。

申請?zhí)枮?01110458861.0的中國發(fā)明專利公開了一種用于板式pecvd設(shè)備的硅片自動上下料系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括安裝于pecvd設(shè)備的進(jìn)料端側(cè)的主機(jī)架、控制系統(tǒng)、待處理硅片送料機(jī)構(gòu)、已處理硅片出料機(jī)構(gòu)、硅片轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)以及硅片的橫向搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，待處理硅片送料機(jī)構(gòu)與已處理硅片出料機(jī)構(gòu)沿縱向平行布置于主機(jī)架的橫向兩側(cè)，硅片轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)沿縱向布置、并安裝于待處理硅片送料機(jī)構(gòu)與已處理硅片出料機(jī)構(gòu)之間，硅片的橫向搬運(yùn)機(jī)構(gòu)安裝于主機(jī)架上、并橫跨于待處理硅片送料機(jī)構(gòu)、硅片轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)、已處理硅片出料機(jī)構(gòu)的上方。該發(fā)明由于采用橫向搬運(yùn)機(jī)構(gòu)安裝于主機(jī)架上、并橫跨于待處理硅片送料機(jī)構(gòu)、硅片轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)、已處理硅片出料機(jī)構(gòu)的上方的結(jié)構(gòu)，因而其待處理硅片及已處理硅片的周轉(zhuǎn)周期較長。

申請?zhí)枮?01210579113.2的中國發(fā)明涉及一種用于pecvd設(shè)備的硅片自動上下料裝置，在機(jī)架上轉(zhuǎn)動安裝有機(jī)械手，在機(jī)械手上安裝有吸盤，在機(jī)械手外側(cè)的機(jī)架上安裝有第一硅片盒輸送機(jī)構(gòu)、第一升降平臺機(jī)構(gòu)、導(dǎo)向機(jī)構(gòu)、第一出片搬運(yùn)機(jī)構(gòu)、第一儲料機(jī)構(gòu)、第一運(yùn)輸機(jī)構(gòu)、第一小車定位機(jī)構(gòu)、第一石墨舟定位機(jī)構(gòu)與第一搬運(yùn)小車，在機(jī)架上內(nèi)側(cè)位置安裝有第二硅片盒輸送機(jī)構(gòu)、第二升降平臺機(jī)構(gòu)、出片輸送機(jī)構(gòu)、第二出片搬運(yùn)機(jī)構(gòu)、第二儲料機(jī)構(gòu)、第二運(yùn)輸機(jī)構(gòu)、第二小車定位機(jī)構(gòu)、第二石墨舟定位機(jī)構(gòu)與第二搬運(yùn)小車。該發(fā)明具有兩套平行設(shè)置的硅片自動上下料裝置以分別對應(yīng)兩套pecvd設(shè)備，并在兩套硅片自動上下料裝置中間采用機(jī)械手實(shí)現(xiàn)未處理與已處理硅片的周轉(zhuǎn)，兩套設(shè)備獨(dú)立運(yùn)行且通過機(jī)械手實(shí)現(xiàn)空料盒、未處理硅片及已處理硅片在兩套設(shè)備間的周轉(zhuǎn)，但不能形成回轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)而不能實(shí)現(xiàn)有效的協(xié)同。

申請?zhí)枮?01520524820.0的中國發(fā)明公開了一種硅片上下料裝置，其包括硅片盒、石墨舟、機(jī)架、硅片盒輸送機(jī)構(gòu)、硅片盒升降機(jī)構(gòu)、第一輸送線、第一儲料中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、取片機(jī)械手，硅片盒輸送機(jī)構(gòu)、硅片盒升降機(jī)構(gòu)、第一輸送線、第一儲料中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、取片機(jī)械手依次設(shè)置在機(jī)架上，硅片盒經(jīng)硅片盒輸送機(jī)構(gòu)送至硅片盒升降機(jī)構(gòu)上，并由第一輸送線將硅片盒上的硅片輸送到第一儲料中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，再由取片機(jī)械手將硅片取出，放置在石墨舟內(nèi)。該發(fā)明的上下料過程均在同一端通過石墨舟抓取機(jī)構(gòu)完成未處理及已處理硅片的周轉(zhuǎn)，其周轉(zhuǎn)周期長且效率較低。

申請?zhí)枮?01610388205.0的中國發(fā)明公開了一種全自動光伏太陽能電池硅片印刷上下料設(shè)備，上料模組將電池片組內(nèi)電池片輸送到指定位置進(jìn)行定位排列，下料模組能夠?qū)⒂∷⒃O(shè)備上印刷完成的電池片進(jìn)行輸出并自動裝片到孔的電池片花籃內(nèi)，石墨框輸送模組的上層輸送機(jī)構(gòu)能夠?qū)⑻嵘＝M上的石墨框送入印刷設(shè)備并通過石墨框輸送模組的下層輸送機(jī)構(gòu)將印刷完成的石墨框送入到提升模組上，提升模組能夠?qū)⑾聦虞斔蜋C(jī)構(gòu)上的石墨框提升到上層輸送機(jī)構(gòu)上，上料輸送模組能夠?qū)⑸狭夏＝M上定位排列的電池片逐個排列在提升模組上層輸送機(jī)構(gòu)上的石墨框內(nèi)，下料輸送模組能夠?qū)⑻嵘＝M聲稱輸送機(jī)構(gòu)上的石墨框中電池片送入下料模組。該發(fā)明的石墨框的升降與輸送采用兩套獨(dú)立的模塊，其不僅占用空間大，且兩套獨(dú)立的周轉(zhuǎn)模塊才能完成石墨框在上下料裝置與印刷設(shè)備之間的周轉(zhuǎn)，導(dǎo)致周期周期較長而影響了生產(chǎn)效率。

針對上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明介紹了一種區(qū)別于上述現(xiàn)有技術(shù)的二合一自動化上下料裝置，其用于將硅片放入平面載板上輸送至干法制絨工序并且將制絨完的硅片在平面載板上做完工藝后再對其進(jìn)行疊片，并將硅片直接疊垛成塊狀進(jìn)行輸送打包。

本發(fā)明也可以用在一些其他對硅片進(jìn)行處理的工藝上，比如板式鍍膜設(shè)備上。

對本發(fā)明稍加改造即可用在一些類似的要求的行業(yè)，比如led行業(yè)等，所以本發(fā)明有著比較廣闊的應(yīng)用前景。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種太陽能硅片二合一自動上下料設(shè)備，其安裝在主設(shè)備的進(jìn)料出料端以用于主設(shè)備的上下料，其包括：上料模塊、移載模塊、下料模塊及升降臺；

上料模塊與下料模塊分別位于升降臺的兩側(cè)，上料模塊的出料口及下料模塊的進(jìn)料口上方分別對應(yīng)設(shè)置有移載模塊，升降臺沿載板y向運(yùn)行方向?qū)又髟O(shè)備的進(jìn)料出料端以用于載板在升降臺與主設(shè)備之間的循環(huán)輸送，上料模塊的出料口與下料模塊的進(jìn)料口分別對應(yīng)主設(shè)備進(jìn)料出料端的x向兩側(cè)，位于上料模塊出料口上方的移載模塊用于將硅片移載至主設(shè)備進(jìn)料出料端空置的載板上，位于下料模塊進(jìn)料口上方的移載模塊用于將硅片從主設(shè)備進(jìn)料出料端的載板上移載至下料模塊；

下料模塊包括：對應(yīng)移載模塊的輸送軌道，安裝在輸送軌道上方的ccd檢測模塊，安裝在輸送軌道末端的剔除裝置，設(shè)置在剔除裝置兩側(cè)并分別對應(yīng)合格品接片工位的疊片機(jī)構(gòu)及對應(yīng)不合格品接片工位的疊片機(jī)構(gòu)，對應(yīng)合格品接片工位的疊片機(jī)構(gòu)與料盒循環(huán)裝置對應(yīng)設(shè)置；

疊片機(jī)構(gòu)包括氣動夾爪，由氣動夾爪控制開合并對稱設(shè)置的兩個接片夾爪，對應(yīng)兩個接片夾爪中間位置設(shè)置的接近開關(guān)，設(shè)置在兩個接片夾爪下方并與硅片平行的支撐底板，垂直設(shè)置在支撐底板邊緣的硅片擋板，連接在支撐底板底部的升降氣缸及轉(zhuǎn)軸；

升降臺包括上部出料工位及下部進(jìn)料工位，上部出料工位y向?qū)又髟O(shè)備進(jìn)料出料端上方的出料口，下部進(jìn)料工位y向?qū)又髟O(shè)備進(jìn)料出料端下方的進(jìn)料口。

其中，上料模塊包括：取片機(jī)構(gòu)、輸送軌道、擋片機(jī)構(gòu)、硅片提升機(jī)構(gòu)、花籃升降機(jī)構(gòu)及花籃循環(huán)機(jī)構(gòu)，取片機(jī)構(gòu)對應(yīng)設(shè)置在花籃升降機(jī)構(gòu)的下方，輸送軌道對接取片機(jī)構(gòu)，擋片機(jī)構(gòu)對應(yīng)可升降設(shè)置在輸送軌道下方，硅片提升機(jī)構(gòu)設(shè)置在輸送軌道的兩側(cè)以用于將硅片提升至對應(yīng)移載模塊的取料位置，花籃循環(huán)機(jī)構(gòu)對應(yīng)花籃升降機(jī)構(gòu)以用于花籃的循環(huán)。

其中，取片機(jī)構(gòu)包括氣缸和由氣缸驅(qū)動的伸縮輸送機(jī)，伸縮輸送機(jī)對應(yīng)設(shè)置在花籃升降機(jī)構(gòu)的下方并對接輸送軌道。

其中，擋片機(jī)構(gòu)包括氣缸和由氣缸驅(qū)動升降的擋片，氣缸驅(qū)動擋片處于縮回狀態(tài)并在需要對硅片進(jìn)行定位時(shí)驅(qū)動擋片伸出以使硅片一片片的在輸送軌道上進(jìn)行定位。

其中，兩套移載模塊均包括：兩根平行設(shè)置的電動滑臺，通過兩端的滑塊安裝在電動滑臺上的橫梁，驅(qū)動橫梁沿電動滑臺線性移動的驅(qū)動電機(jī)，安裝在橫梁上的升降氣缸，由升降氣缸驅(qū)動升降的至少一個吸嘴，以及用于將壓縮空氣輸送至升降氣缸及吸嘴并將吸嘴的傳感器信號輸送至總控電路的拖鏈。

進(jìn)一步的，還包括對中氣缸；多個氣嘴滑動安裝在由升降氣缸驅(qū)動升降的滑軌上，且多個氣嘴由對中氣缸驅(qū)動沿滑軌線性移動以調(diào)節(jié)多個氣嘴的間距。

其中，剔除裝置包括氣缸，以及由氣缸驅(qū)動的伸縮輸送機(jī)；疊片機(jī)構(gòu)的接片夾爪對應(yīng)伸縮輸送機(jī)的兩端設(shè)置。

其中，升降臺包括框架，垂直安裝在框架一側(cè)的直線模組，垂直安裝在框架兩端的導(dǎo)軌，以及通過滑塊安裝在兩端導(dǎo)軌上的水平輸送機(jī)，直線模組驅(qū)動水平輸送機(jī)沿導(dǎo)軌升降，水平輸送機(jī)運(yùn)行至上部出料工位時(shí)y向?qū)又髟O(shè)備進(jìn)料出料端上方的出料口，水平輸送機(jī)運(yùn)行至下部進(jìn)料工位時(shí)y向?qū)又髟O(shè)備進(jìn)料出料端下方的進(jìn)料口。

通過上述技術(shù)方案，本發(fā)明相對于現(xiàn)有技術(shù)具有如下有益效果：

①解決了現(xiàn)有技術(shù)上料與下料協(xié)同性差的問題，本發(fā)明通過對應(yīng)設(shè)置在主設(shè)備進(jìn)料出料端x向兩側(cè)的兩套移載模塊同步實(shí)現(xiàn)對載板上已處理硅片的取料及待處理硅片的放料，極大提高了工作效率；

②解決了現(xiàn)有技術(shù)待處理硅片及已處理硅片的周轉(zhuǎn)周期較長的問題，本發(fā)明通過對應(yīng)設(shè)置在主設(shè)備進(jìn)料出料端x向兩側(cè)的兩套移載模塊分別從主設(shè)備進(jìn)料出料端的兩端完成進(jìn)料及出料，且進(jìn)料與出料互不干涉，極大縮短了進(jìn)料出料周期；

③解決了現(xiàn)有技術(shù)載板的升降與輸送采用兩套獨(dú)立模塊而占用空間大且兩套獨(dú)立的周轉(zhuǎn)模塊用于實(shí)現(xiàn)在上下料裝置與主設(shè)備之間的周轉(zhuǎn)周期長的問題，本發(fā)明通過將進(jìn)料與出料分別設(shè)置在主設(shè)備進(jìn)料出料端的x向兩側(cè)，并將升降臺與主設(shè)備進(jìn)料出料端直接y向?qū)?，品字形設(shè)置只需一套升降臺即可實(shí)現(xiàn)載板升降及與主設(shè)備之間的循環(huán)，極大縮短了載板循環(huán)周期并提高了工作效率，且節(jié)省了設(shè)備空間；

④通過在下料模塊設(shè)置ccd檢測及剔除功能，可以實(shí)現(xiàn)對硅片的有效篩選，并通過專用疊片結(jié)構(gòu)對篩選后的合格及不合格產(chǎn)品進(jìn)行疊片，由于接片夾爪與支撐底板之間具有一定高度間隙，利用硅片做自由落體運(yùn)動，掉落的瞬間在上下硅片之間形成的氣墊作用對掉落硅片起到緩沖作用而避免損傷硅片制絨面絨毛，并利用斜面自動定位的原理將掉落的硅片整齊疊放而使硅片直接疊垛成塊狀以方便直接打包輸送，而無需疊垛在花籃中并輸送至打包臺進(jìn)行人工打包，因而極大提高了產(chǎn)品打包效率；

⑤本發(fā)明結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，集成程度高，因而占地面積小，且具有能耗低、自動化程度高、故障率低及硅片碎片率低的優(yōu)點(diǎn)。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。

圖1為本發(fā)明實(shí)施例所公開的太陽能硅片二合一自動上下料設(shè)備整體俯視示意圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例所公開的上料模塊整體結(jié)構(gòu)側(cè)視示意圖；

圖3為本發(fā)明實(shí)施例所公開的上料模塊的取片機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本發(fā)明實(shí)施例所公開的上料模塊整體立體及局部放大示意圖；

圖5為本發(fā)明實(shí)施例所公開的移載模塊立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為本發(fā)明實(shí)施例所公開的下料模塊整體結(jié)構(gòu)側(cè)視示意圖；

圖7為本發(fā)明實(shí)施例所公開的下料模塊的剔除機(jī)構(gòu)示意圖；

圖8及9為本發(fā)明實(shí)施例所公開的疊片機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖10為本發(fā)明實(shí)施例所公開的升降臺結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中數(shù)字及字母表示：

10.上料模塊20.移載模塊30.下料模塊

40.升降臺101.取片機(jī)構(gòu)102.輸送軌道

103.擋片機(jī)構(gòu)104.硅片提升機(jī)構(gòu)105.花籃升降機(jī)構(gòu)

106.花籃循環(huán)機(jī)構(gòu)107.伸縮輸送機(jī)108.花籃

201.電動滑臺202.橫梁203.驅(qū)動電機(jī)

204.升降氣缸205.對中氣缸206.吸嘴

207.拖鏈301.輸送軌道302.ccd檢測模塊

303.剔除裝置304.疊片機(jī)構(gòu)305.料盒循環(huán)裝置

306.伸縮輸送機(jī)307.氣動夾爪308.接片夾爪

309.接近開關(guān)310.支撐底板311.擋板

312.升降氣缸313.轉(zhuǎn)軸314.支撐板

315.導(dǎo)軌316.氣缸317.對射光電開關(guān)

318.上部硅片319.下部硅片320.空氣氣墊

i.合格品接片工位ii.不合格品接片工位401.直線模組

402.導(dǎo)軌403.水平輸送機(jī)50.載板

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。

參考圖1，本發(fā)明提供的太陽能硅片二合一自動上下料設(shè)備，其安裝在主設(shè)備的進(jìn)料出料端以用于主設(shè)備的上下料，其包括：上料模塊10、移載模塊20、下料模塊30及升降臺40；上料模塊10與下料模塊30分別位于升降臺40的兩側(cè)，上料模塊10的出料口及下料模塊30的進(jìn)料口上方分別對應(yīng)設(shè)置有移載模塊20，升降臺40沿載板y向運(yùn)行方向?qū)又髟O(shè)備的進(jìn)料出料端以用于載板50在升降臺40與主設(shè)備之間的循環(huán)輸送，上料模塊10的出料口與下料模塊30的進(jìn)料口分別對應(yīng)主設(shè)備進(jìn)料出料端的x向兩側(cè)，位于上料模塊10出料口上方的移載模塊20用于將硅片移載至主設(shè)備進(jìn)料出料端空置的載板50上，位于下料模塊30進(jìn)料口上方的移載模塊20用于將硅片從主設(shè)備進(jìn)料出料端的載板50上移載至下料模塊30；升降臺40包括上部出料工位及下部進(jìn)料工位，上部出料工位y向?qū)又髟O(shè)備進(jìn)料出料端上方的出料口，下部進(jìn)料工位y向?qū)又髟O(shè)備進(jìn)料出料端下方的進(jìn)料口。

參考圖2，上料模塊10包括：取片機(jī)構(gòu)101、輸送軌道102、擋片機(jī)構(gòu)103、硅片提升機(jī)構(gòu)104、花籃升降機(jī)構(gòu)105及花籃循環(huán)機(jī)構(gòu)106，取片機(jī)構(gòu)101對應(yīng)設(shè)置在花籃升降機(jī)構(gòu)105的下方，輸送軌道102對接取片機(jī)構(gòu)101，擋片機(jī)構(gòu)103對應(yīng)可升降設(shè)置在輸送軌道102下方，硅片提升機(jī)構(gòu)104設(shè)置在輸送軌道102的兩側(cè)以用于將硅片提升至對應(yīng)移載模塊20的取料位置，花籃循環(huán)機(jī)構(gòu)106對應(yīng)花籃升降機(jī)構(gòu)105以用于花籃108的循環(huán)。

參考圖3，取片機(jī)構(gòu)101包括氣缸和由氣缸驅(qū)動的伸縮輸送機(jī)107，伸縮輸送機(jī)107對應(yīng)設(shè)置在花籃升降機(jī)構(gòu)105的下方并對接輸送軌道102。

參考圖4，擋片機(jī)構(gòu)103包括氣缸和由氣缸驅(qū)動升降的擋片，氣缸驅(qū)動擋片處于縮回狀態(tài)并在需要對硅片進(jìn)行定位時(shí)驅(qū)動擋片伸出以使硅片一片片的在輸送軌道102上進(jìn)行定位。

參考圖5，兩套移載模塊20均包括：兩根平行設(shè)置的電動滑臺201，通過兩端的滑塊安裝在電動滑臺201上的橫梁202，驅(qū)動橫梁202沿電動滑臺201線性移動的驅(qū)動電機(jī)203，安裝在橫梁202上的升降氣缸204，由升降氣缸204驅(qū)動升降的多個吸嘴206，以及用于將壓縮空氣輸送至升降氣缸204及吸嘴206并將吸嘴206的傳感器信號輸送至總控電路的拖鏈207；還包括對中氣缸205；多個氣嘴206滑動安裝在由升降氣缸204驅(qū)動升降的滑軌上，且多個氣嘴206由對中氣缸205驅(qū)動沿滑軌線性移動以調(diào)節(jié)多個氣嘴206的間距。

參考圖6，下料模塊30包括：對應(yīng)移載模塊20的輸送軌道301，安裝在輸送軌道301上方的ccd檢測模塊302，安裝在輸送軌道301末端的剔除裝置303，設(shè)置在剔除裝置303兩側(cè)并分別對應(yīng)合格品接片工位i的疊片機(jī)構(gòu)304及對應(yīng)不合格品接片工位ii的疊片機(jī)構(gòu)304，對應(yīng)合格品接片工位i的疊片機(jī)構(gòu)304與料盒循環(huán)裝置305對應(yīng)設(shè)置；

參考圖7，剔除裝置303包括氣缸，以及由氣缸驅(qū)動的伸縮輸送機(jī)306；

參考圖8及9，疊片機(jī)構(gòu)304包括氣動夾爪307，由氣動夾爪307控制開合并對稱設(shè)置的兩個接片夾爪308，對應(yīng)兩個接片夾爪308中間位置設(shè)置的接近開關(guān)309，設(shè)置在兩個接片夾爪308下方并與硅片平行的支撐底板310，垂直設(shè)置在支撐底板310邊緣的硅片擋板311，連接在支撐底板310底部的升降氣缸312及轉(zhuǎn)軸313，疊片機(jī)構(gòu)304的接片夾爪308對應(yīng)伸縮輸送機(jī)306的兩端設(shè)置；還包括直線模組，支撐底板310通過支撐板314滑動安裝在直線模組的導(dǎo)軌315上并通過直線模組的氣缸316驅(qū)動升降；還包括對射光電開關(guān)317，對射光電開關(guān)317位于擋板311的兩側(cè)以對應(yīng)擋板310中最上層硅片高度，并使最上層硅片的上表面與接片夾爪308之間具有恒定間距h。

參考圖10，升降臺40包括具有上部出料工位及下部進(jìn)料工位的框架，垂直安裝在框架一側(cè)的直線模組401，垂直安裝在框架兩端的導(dǎo)軌402，以及通過滑塊安裝在兩端導(dǎo)軌402上的水平輸送機(jī)403，直線模組401驅(qū)動水平輸送機(jī)403沿導(dǎo)軌402升降，水平輸送機(jī)403運(yùn)行至上部出料工位時(shí)y向?qū)又髟O(shè)備進(jìn)料出料端上方的出料口，水平輸送機(jī)403運(yùn)行至下部進(jìn)料工位時(shí)y向?qū)又髟O(shè)備進(jìn)料出料端下方的進(jìn)料口。

本發(fā)明工作原理：

參考圖2-4，工作時(shí)，取片機(jī)構(gòu)101的伸縮輸送機(jī)107伸至花籃108中硅片的底部，然后花籃升降機(jī)構(gòu)105帶著花籃108往下降一格距離，從而通過伸縮輸送機(jī)107將花籃108中的硅片一片片取出并被取至輸送軌道102，硅片經(jīng)輸送軌道102輸送后，當(dāng)有需要對硅片進(jìn)行定位時(shí)，處于縮回狀態(tài)的擋片在氣缸驅(qū)動下伸出并使硅片一片片的在軌道上進(jìn)行定位，從而硅片在輸送軌道102的上規(guī)定的位置停下，然后由硅片提升機(jī)構(gòu)將到位的硅片提升至一定的高度，在硅片被硅片提升機(jī)構(gòu)104提起后，下方的輸送軌道102可以用來輸送下一批的硅片，然后提升后的硅片被移載模塊20的吸嘴取走并放在載板50上規(guī)定的位置上；花籃升降機(jī)構(gòu)105的作用就是在花籃108里的硅片被取走一片后下降一定的高度，讓第二片運(yùn)動至待取工位，方便取片機(jī)構(gòu)101進(jìn)行取片，在花籃108中的硅片被全部取片完成后，花籃升降機(jī)構(gòu)105運(yùn)動最低位置并啟動底部的花籃循環(huán)機(jī)構(gòu)106，將空花籃108輸送至人工取空花籃108的位置，空花籃108在此等待被取走；

參考圖5，移載模塊20一共有兩套，其中一套用來上料：將輸送軌道輸送過來的硅片抓取并放在載板50上；另外一套用來下料：將載板50上做完處理工藝的硅片抓取并放在輸送軌道之上；電動滑臺201的內(nèi)部由滑軌和同步傳動組成，在其端部輸入旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，電動滑臺201上的滑塊能夠做精確的直線運(yùn)動；電動滑臺201上的滑塊與橫梁202相連接，在驅(qū)動電機(jī)203的帶動下，橫梁202及其下部安裝的升降氣缸204、對中氣缸205、吸嘴206等能夠沿著電動滑臺201的滑軌方向做精確的移動與停止；為了防止吸嘴206在運(yùn)行過程中防止撞到機(jī)械的其他零件，吸嘴206等零件需要能夠上下運(yùn)動，在取片或者放片時(shí)在底部，在運(yùn)動過程中吸嘴206在上部，升降氣缸204的作用是帶著吸嘴206上下移動，保證吸嘴206不會撞到其余的零部件；為了節(jié)省硅片在載板50上所占面積，硅片在載板50上的中心距離非常近，硅片邊緣間的距離只有1mm，上料時(shí)想讓硅片在輸送軌道保證此尺寸有很大的難度，由于硅片在載板50上的中心距與硅片在輸送軌道上的距離不一致，所以需要吸嘴206間的中心距能夠調(diào)整，該功能由對中氣缸205實(shí)現(xiàn)；拖鏈207的作用就是將壓縮空氣輸送至升降氣缸204、對中氣缸205、吸嘴206等用氣點(diǎn)，并且將吸嘴206等處的傳感器信號輸送至總控電路；

參考圖6及7，下料模塊30的作用是將做完處理工藝的硅片經(jīng)由移載模塊20取片后放置在輸送軌道301上，對經(jīng)過ccd檢測模塊302檢測合格后的硅片進(jìn)行疊片；工作時(shí)，移載模塊20將做完處理工藝的硅片從載板50上取下并放置在輸送軌道301上，硅片在輸送皮帶的帶動下往前移動；架設(shè)在輸送軌道301上方的ccd相機(jī)實(shí)時(shí)對軌道上的硅片進(jìn)行拍照分析，對于經(jīng)過分析為不合格品的硅片會被剔除裝置303進(jìn)行剔除操作，對于檢測合格的硅片輸送至后端由疊片機(jī)構(gòu)304對其進(jìn)行疊片操作；按規(guī)定的數(shù)據(jù)疊到一定的量后，料盒和硅片一起輸送至尾端，由人工將硅片取走后放在指定的包裝中，空的料盒由料盒循環(huán)裝置305進(jìn)行循環(huán)；如果經(jīng)過ccd檢測的硅片被判定為合格品，剔除裝置303的伸縮輸送機(jī)306伸出并直接將硅片輸送至合格品接片工位由疊片機(jī)構(gòu)304進(jìn)行疊片；如果經(jīng)過ccd檢測的硅片被判定為不合格品，則剔除裝置303的伸縮輸送機(jī)306縮回并直接在第一個接片夾爪308處被夾住，并被疊片機(jī)構(gòu)304疊在不合格品區(qū)；

參考圖8及9，硅片在伸縮輸送機(jī)306的輸送作用下被往前輸送，并進(jìn)入由氣動夾爪307控制開合的接片夾爪308之間，此時(shí)接近開關(guān)309會發(fā)出控制信號，控制電磁換向閥，使氣動夾爪307張開，接片夾爪308在氣動夾爪307的帶動下也會張開，接片夾爪308張開后硅片會做自由落體運(yùn)動；硅片掉落在支撐底板310上之后，升降氣缸312會在電磁閥的控制下會縮回，帶動支撐底板310繞著轉(zhuǎn)軸313進(jìn)行一定程度的傾斜；由于剛掉落的上部硅片318和之前掉落的下部硅片319之間有一定的空氣而形成空氣氣墊320，空氣氣墊320的緩沖作用使上部硅片318和下部硅片319之間的摩擦力會很小而避免損傷硅片制絨面的絨毛，只要一個比較小的傾斜角度，上部硅片318就會往傾斜方向移動而自動朝著硅片擋板311移動，利用斜面自動定位的原理將掉落的硅片整齊疊放；硅片自動經(jīng)過對齊后升降氣缸312的活塞上升，帶著支撐底板310恢復(fù)水平狀態(tài)；由于硅片有一定的厚度，因而數(shù)量疊多了會導(dǎo)致最上層的硅片太高，所以每疊一片硅片，直線模組的氣缸316都會驅(qū)動支撐板314沿導(dǎo)軌315下降一定的距離（約2mm），支撐底板310及對應(yīng)的升降氣缸312同步下降一定距離，然后再往上升，由于上方布置著一對對射光電開關(guān)317，上升過程中最上層的硅片會將對射光電開關(guān)317射出的光擋住，此時(shí)直線模組就會停止向上運(yùn)動，這樣就能保證最上層的硅片與接片夾爪308保持恒定的高度，保證每片硅片掉下的距離h為恒定值，防止硅片掉落過程中硅片的損壞。

參考圖10，升降臺40的作用就是在上部出料工位接住主設(shè)備輸送過來的載板50然后下降至下部進(jìn)料工位并將載板50輸送至主設(shè)備的下傳輸機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)循環(huán)；工作時(shí)，直線模組401在電機(jī)的帶動下將水平輸送機(jī)403提升至至上部進(jìn)料工位并接住主設(shè)備輸送過來的載板50，然后直線模組401運(yùn)行并將載板50沿反向下降至下部出料工位后，通過水平輸送機(jī)403將載板50輸送至主設(shè)備的下傳輸機(jī)構(gòu)，以此實(shí)現(xiàn)載板50在主設(shè)備中的循環(huán)。

對所公開的實(shí)施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對這些實(shí)施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本發(fā)明將不會被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。