技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種氮化鎵晶圓片邊緣處理方法，所述處理方法本為采用激光對所述氮化鎵晶圓片邊緣進(jìn)行全切(full?cut)和切邊(flat)或者切槽(notch)處理。首先在待處理的氮化鎵晶圓片邊緣設(shè)置預(yù)切割圖形，然后將所述氮化鎵晶圓片置于激光工作臺上，調(diào)整所述氮化鎵晶圓的位置，確定所述氮化鎵晶圓表面與激光束垂直，同時可以進(jìn)行同軸氣體吹掃；然后將所述激光束聚焦于所述預(yù)切割圖形位置進(jìn)行切割。本發(fā)明通過高能量激光對氮化鎵晶圓片進(jìn)行燒蝕，從而實現(xiàn)切割去除邊緣部分，該方法具有耗時短，耗材少，維護(hù)成本低，效率高，適用于對各種氮化鎵晶體進(jìn)行邊緣處理。

技術(shù)研發(fā)人員：謝宇
受保護(hù)的技術(shù)使用者：鎵特半導(dǎo)體科技（上海）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.06.26
技術(shù)公布日：2017.09.01